電気泳動表示パネルの製造方法及び電気泳動表示パネル
【課題】母材から可撓性のある電気泳動表示パネルを分割する際に加わる応力を抑制した
、電気泳動表示パネルの製造方法、及び、電気泳動表示パネルを提供すること。
【解決手段】レーザヘッド３９下面のレンズ４０の真下には、母材１３を位置させること
ができるようになっている。レンズ４０は、ＹＡＧレーザのレーザ光Ｌを、レンズ４０の
真下に位置された母材１３上の分割線Ｃ１上の加工点に照射させる。レーザ光Ｌが照射さ
れた加工点は、レーザ光Ｌの照射によって熔解するとともに、その一部が拡散して、該加
工点には、レーザ光Ｌによって貫通穴が形成される。レーザ光Ｌが母材１３上に連続する
加工点に順次照射されると、レーザ光Ｌは、それぞれの加工点を熔解及び拡散させて貫通
穴を形成して、最終的に母材１３を分割線Ｃ１に沿って切断する。そして、母材１３から
複数の電気泳動表示パネルを切り出すことができる。
、電気泳動表示パネルの製造方法、及び、電気泳動表示パネルを提供すること。
【解決手段】レーザヘッド３９下面のレンズ４０の真下には、母材１３を位置させること
ができるようになっている。レンズ４０は、ＹＡＧレーザのレーザ光Ｌを、レンズ４０の
真下に位置された母材１３上の分割線Ｃ１上の加工点に照射させる。レーザ光Ｌが照射さ
れた加工点は、レーザ光Ｌの照射によって熔解するとともに、その一部が拡散して、該加
工点には、レーザ光Ｌによって貫通穴が形成される。レーザ光Ｌが母材１３上に連続する
加工点に順次照射されると、レーザ光Ｌは、それぞれの加工点を熔解及び拡散させて貫通
穴を形成して、最終的に母材１３を分割線Ｃ１に沿って切断する。そして、母材１３から
複数の電気泳動表示パネルを切り出すことができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示パネルの製造方法、及び、電気泳動表示パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子ペーパなどのフレキシブル性を要求される機器に用いられる表示デバイスと
して、フレキシブルな構造の非発光型の表示デバイスが用いられるようになってきている
。このような非発光型の表示デバイスの一つとして、電気泳動現象を利用した電気泳動表
示パネルがある。ここで、電気泳動現象とは、液体中（分散媒）に微粒子（電気泳動粒子
）を分散させた分散系に、電界を印加したときに微粒子がクーロン力により泳動する現象
である。
【０００３】
この電気泳動表示パネルの駆動は、電気泳動粒子を挟んで対向する電極間の電位を薄膜
トランジスタの駆動によって変化させ、該電極間に電界を生じさせることにより行なわれ
る。そして、電気泳動表示装置としてフレキシブル性が要求される用途にあっては、薄膜
トランジスタとしてもフレキシブル性を有する有機薄膜トランジスタ（有機ＴＦＴ）が用
いられることが多い。
【０００４】
ところで、電気泳動表示パネルの形成方法のひとつに、基板上に多数の素子基板を区画
形成した大判のマザー基板と、同じく基板上に多数の対向基板を区画形成した大判のマザ
ー基板とを貼り合わせた後、区画ごとにカットして多数の電気泳動表示パネルを製造する
（多面取り）方法がある。
【０００５】
フレキシブル性を有する電気泳動表示パネルを構成する材料は、基板も含めて比較的や
わらかいため切断することは難しくないものの、裁断機やはさみによる切断では、切断個
所やその周辺部に応力がかかる問題があった。切断時に、電気泳動表示パネルのように複
数の材料を積層して形成された基板等に応力かかると、その応力によって、積層された材
料が剥離することやデバイスを損傷するおそれがあった。例えば、図１１に示すように、
素子基板１１に張り合わせた可撓性を有する表示シート１２を切断するために矢印ｆ１の
方向からせん断力を加えると、その周辺部には矢印ｆ２，ｆ３の方向に応力が発生して、
素子基板１１と表示シート１２が剥離する場合があった。
【０００６】
従来から、電気・電子回路を構成するための基板を好適に分割するための切断方法が提
案されている（特許文献１）。特許文献１に記載の基板の分割方法は、マザー基板に予め
格子状に複数設けたＶ溝の端部にＶ溝を中心とした角形孔設けて、該角形孔に挿入した拡
開金具を基板に水平かつＶ溝鉛直方向に拡開するようにした。該拡開金具を拡開してＶ溝
に沿って基板を分割することで、基板に部品を実装した後であっても、基板面を押さえて
切断する方法のように基板表面に実装された部品（デバイス）を損傷することなく好適に
基板を分割できるようにした。
【０００７】
また、マザー基板に形成したＶ溝に沿って折ることにより基板を分割する方法も提案さ
れている（特許文献２）。特許文献２に記載のマザー基板の分割方法は、マザー基板に格
子形状にＶ溝を形成するとともに、該格子形状から凸状に張り出した部分にはプレス打ち
抜きやルータにより穴を開けておくことで、マザー基板から凸部を有する基板を折り曲げ
により個別に分割することができた。
【特許文献１】特開平１−１７８４０８
【特許文献２】特開平５−１５２７１２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１の方法には、基板にある程度の剛性が必要なことから、フレキシブ
ル性を有する材料を多数積層して形成された電気泳動表示パネルの切断に用いるには難し
かった。また、特許文献２の方法には、基板には折れる程度の硬さが必要なことから、フ
レキシブル性を有する電気泳動表示パネルの分割に用いることは難しかった。また、プレ
ス打ち抜きやルータによる穴あけ加工には、電気泳動表示パネルに応力がかる問題があっ
た。
【０００９】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、母材から可撓
性のある電気泳動表示パネルを分割する際に加わる応力を抑制した、電気泳動表示パネル
の製造方法、及び、電気泳動表示パネルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の電気泳動表示パネルの製造方法は、電気泳動表示セルを形成した母材を熔解さ
せ切断することで、前記母材を複数の電気泳動表示パネルに分割することを特徴とする。
上記の電気泳動表示パネルの製造方法において、前記電気泳動表示セルは、共通電極を
有する透明である対向基板と、前記対向基板と対向する複数の画素電極を有する素子基板
と、前記共通電極と前記素子基板の間に備えられた分散系と、前記共通電極と前記画素電
極が作る電界に基づいて前記分散系を泳動する電気泳動粒子とを備えることが好ましい。
【００１１】
本発明の電気泳動表示パネルの製造方法によれば、母材を熔解させることによって電気
泳動表示パネルを切り離して取り出せる。従って、母材から電気泳動表示パネルを分割（
切断）する際に、母材に大きな応力が加わらない。そのため、部材を積層して形成された
電気泳動表示パネルにおいて部材が剥離することが抑制されるとともに、電気泳動表示パ
ネルに形成されたデバイスの損傷等が抑制される。
【００１２】
さらに、熔解によって電気泳動表示パネルを形成する部材が溶着されて、電気泳動表示
パネルを形成する部材同士の接着をより強固にすることができる。
この電気泳動表示パネルの製造方法は、前記熔解は、ＹＡＧレーザにてさせてもよい。
【００１３】
この電気泳動表示パネルの製造方法によれば、母材をＹＡＧレーザにて熔解させて、母
材から電気泳動表示パネルを切り離して取り出せる。従って、電気泳動表示パネルに応力
を加えることなく切断することができる。
【００１４】
この電気泳動表示パネルの製造方法は、前記熔解は、赤外線レーザにてさせることが好
適である。
この電気泳動表示パネルの製造方法によれば、母材を赤外線レーザにて熔解させて、母
材から電気泳動表示パネルを切り離して取り出せる。すなわち、熔解能力の高い赤外線レ
ーザによって、電気泳動表示パネルを形成する部材を、より熔解させながら切断すること
ができる。また、より熔解するので、電気泳動表示パネルを形成する部材を強固に接着す
ることができる。
【００１５】
この電気泳動表示パネルの製造方法は、前記熔解は、超音波振動子で振動されるカッタ
ーにてさせてもよい。
この電気泳動表示パネルの製造方法によれば、母材を超音波振動子で振動されるカッタ
ーにて熔解させて、母材から電気泳動表示パネルを切り離して取り出せる。従って、簡単
な構造によって、電気泳動表示パネルを形成する部材を熔解させながら切断することがで
きる。
【００１６】
この電気泳動表示パネルの製造方法は、前記熔解は、高温のコテにてさせることも好ま
しい。
この電気泳動表示パネルの製造方法によれば、母材を高温のコテにて熔解させて、母材
から電気泳動表示パネルを切り離して取り出せる。従って、極めて簡単な構造によって、
電気泳動表示パネルを形成する部材を熔解させながら切断することができる。
【００１７】
本発明の電気泳動表示パネルは、切り離して電気泳動表示パネルとなる電気泳動表示セ
ルを複数形成した母材を、前記に記載の電気泳動表示パネルの製造方法によって切り離し
て形成されたことを特徴とする。
【００１８】
本発明の電気泳動表示パネルによれば、電気泳動表示パネルは、切断時に母材に応力を
加えずに分割（切断）される。従って、電気泳動表示パネルを形成する部材同士が剥離す
ることや、電気泳動表示パネルに形成されたデバイスの損傷が生じること等を抑制するこ
とができる。
【００１９】
さらに、熔解によって電気泳動表示パネルを形成する部材が溶融されて電気泳動表示パ
ネルをより強固にすることができる。
この本発明の電気泳動表示パネルは、前記電気泳動表示パネルは、共通電極を有する透
明である対向基板と、前記対向基板と対向する複数の画素電極を有する素子基板と、前記
共通電極と前記素子基板の間に備えられた分散系と、前記共通電極と前記画素電極が作る
電界に基づいて前記分散系を泳動する電子泳動粒子とを備えることが望ましい。
【００２０】
この電気泳動表示パネルによれば、多層構造からなる電気泳動表示パネルでも、切断時
に母材に応力を加えずに分割（切断）することができるので、構成部材同士が剥離するこ
とや、形成されたデバイスの損傷等が生じすることを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明にかかる電気泳動表示パネルの製造方法、及び電気泳動表示パネルを具体
化した第１の実施形態を図面に従って説明する。
図１は、電気泳動表示パネルの全体の平面図を示すものである。
【００２２】
図１に示すように、電気泳動表示セルを構成する電気泳動表示パネル（表示パネル）１
０は、素子基板１１と表示シート１２を有し、その中央部に区画された表示領域１２ａに
画像が表示される。また、表示パネル１０の左側、すなわち素子基板１１の上面には、外
部からの信号線が接続される外部接続端子２１と、その外部接続端子２１を通じて授受さ
れる外部信号等に基づいて表示パネル１０に画像を表示する信号等を生成する走査線駆動
回路２２、データ線駆動回路２３が設けられている。
【００２３】
図２は、６個の表示パネル１０をまとめて形成した母材１３の平面構造を示す平面図で
ある。
図２に示すように、母材１３は、６個の表示パネル１０からなり、各表示パネル１０は
、それぞれの表示領域１２ａが母材１３の中央部に集まるように、すなわち外部接続端子
２１が母材１３の端部に位置するように配置されている。また、それぞれの表示パネル１
０と表示パネル１０の間には、表示パネル１０を母材１３から分割する際の分割位置を示
す分割線Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３が設けられている。分割線Ｃ１は、母材１３を上下方向に分割
する線であり、分割線Ｃ２，Ｃ３は、母材１３を左右方向に分割する線である。そして、
母材１３をすべての分割線Ｃ１〜Ｃ３で分割することで、母材１３から６個の表示パネル
１０が分割されるようになっている。
【００２４】
図３は、母材１３の断面構造を示す、図２のＡ−Ａ線断面図である。
図３に示すように、素子基板１１は、可撓性を有する背面基板１５を備え、その一面（
図３における上面）には、形成層１６が形成されている。背面基板１５は、可撓性、弾性
等に優れた熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂材料、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リカーボネート、ポリイミド、ポリエチレン等により形成されている。また、形成層１６
には、有機ポリマーや絶縁性ポリマー等による複数の導電層、絶縁層が形成されており、
例えば、有機トランジスタ、画素電極、各種の配線が形成されている。そして、形成層１
６は、有機ポリマー材料としては、例えば、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、エステル
系樹脂を用いている。また、絶縁性ポリマーとしては、例えば、ポリメチルメタクリレー
ト、ポリビニルフェノール、ポリイミド、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリビ
ニールアセテート等の１種類又は２種類以上を組み合わせて用いている。
【００２５】
表示シート１２は、対向基板１４と電気泳動表示層１４ａから形成されている。
対向基板１４は、これも可撓性を有する透明基板１７を備え、その一面（図３における
下面）には、共通電極１８が形成されている。透明基板１７は、透明性、可撓性等に優れ
た熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂材料、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカー
ボネート、ポリイミド、ポリエチレン等により形成されている。共通電極１８は、透明性
を有する導電性の材料、例えば、インジウムスズ酸化物等、もしくはポリアニリン等の電
子導電性高分子等により形成されている。
【００２６】
電気泳動表示層１４ａは、バインダ１９によって一体化された多数のマイクロカプセル
２０によって構成されている。マイクロカプセル２０には、図４に示すように、分散系と
しての電気泳動分散媒２８と、電気泳動粒子２９とが封入されている。電気泳動粒子２９
は、正あるいは負に帯電した白色粒子２９ｗ、及び、その白色粒子２９ｗとは異なる極性
に帯電した黒色粒子２９ｂとからなり、それぞれマイクロカプセル２０に印加された電界
の向きに応じて電気泳動分散媒２８中を泳動する。
【００２７】
マイクロカプセル２０は、例えば、アラビアゴム・ゼラチン系化合物、ウレタン系化合
物等により形成されている。電気泳動分散媒２８は、例えば、水、メタノール、エタノー
ル等からなる。また、電気泳動粒子２９は、例えば、アニリンブラック、カーボンブラッ
ク、二酸化チタン等により形成されている。
【００２８】
次に、このように構成された母材１３から表示パネル１０を切断により分割するための
切断装置３０について図５を参照して説明する。
図５は、切断装置３０の斜視構造を示す斜視図である。
【００２９】
図５において、切断装置３０には、直方体形状に形成された基台３１が備えられるとと
もに、その基台３１の上面には、その左右方向（Ｘ矢印方向）に沿って延びる一対の案内
溝３２が形成されている。その基台３１の上方には、基台３１に設けられたＸ軸モータＭ
Ｘ（図６の左参照）の出力軸に駆動連結されるＸステージ３３が備えられるとともに、そ
のＸステージ３３が、前記案内溝３２に沿って、Ｘ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に往復動す
る（Ｘ矢印方向に沿って走査される）ようになっている。
【００３０】
Ｘステージ３３の上面には、その前後方向（Ｙ矢印方向）に沿って延びる一対の案内溝
３４が形成されている。そのＸステージ３３の上方には、Ｘステージ３３に設けられたＹ
軸モータＭＹ（図６の左参照）の出力軸に駆動連結されるＹステージ３５が備えられると
ともに、そのＹステージ３５が、前記案内溝３４に沿って、Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向
に往復動する（Ｙ矢印方向に沿ってフィードされる）ようになっている。
【００３１】
Ｙステージ３５の上面には、母材１３を載置可能にする載置面３６が形成されていて、
載置された状態の母材１３をＹステージ３５に対して位置決め固定するようになっている
。尚、本実施形態では、載置面３６には、表示パネル１０が６個形成された母材１３を載
置することとしたが、載置面３６には、種々のサイズの母材や基板等を位置決め固定する
ことができる。
【００３２】
基台３１のＸ矢印方向には、逆「Ｌ」字形に形成された支持部材３７が配設されている
。支持部材３７は、その先端部３８が基台３１の中央方向に延出するとともに、先端部３
８の側面には、レーザヘッド３９が備えられている。レーザヘッド３９は、レーザ発振回
路４６（図６参照）と図示しない光ファイバーケーブルによって接続されていて、レーザ
発振回路４６が発振したＹＡＧレーザ（波長１．０６マイクロメートル）を受けるととも
に、基台３１の方向に出力するようになっている。
【００３３】
レーザヘッド３９の下面にはレンズ４０が備えられている。レンズ４０は、基台３１の
中央部上方に位置されていて、レンズ４０の真下には、Ｘステージ３３とＹステージ３５
との協働によって載置面３６の任意の位置を位置させることができるようになっている。
すなわち、レンズ４０は、レーザヘッド３９が出力したＹＡＧレーザのレーザ光Ｌ（図７
参照）を、レンズ４０の真下に位置された母材１３上の分割線Ｃ１〜Ｃ３上の加工点に照
射させる。ここで、加工点とはレーザ光Ｌが照射されている点のことで、本実施形態では
、分割線Ｃ１〜Ｃ３上に仮想的に連続して設定されているものとする。
【００３４】
レーザ光Ｌが照射された加工点は、レーザ光Ｌの照射によって熔解するとともに、その
一部が拡散する。そして、母材１３の該加工点には、レーザ光Ｌによって貫通穴が形成さ
れる。すなわち、レーザ光Ｌが母材１３上に連続する加工点に順次照射されると、レーザ
光Ｌは、それぞれの加工点を熔解及び拡散させて貫通穴を形成して、最終的に母材１３を
分割線Ｃ１〜Ｃ３に沿って切断するようになっている。
【００３５】
次に、上記のように構成した切断装置３０の電気的構成を図６に従って説明する。
図６において、制御装置４１には、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭなどが備えられている。そ
して、制御装置４１は、ＲＡＭやＲＯＭなどに格納された各種データ及び各種プログラム
に従って、Ｘステージ３３を走査させて、Ｙステージ３５をフィードさせるとともに、レ
ーザ発振回路４６を制御するようになっている。
【００３６】
制御装置４１には、入力装置４２、Ｘ軸モータ駆動回路４３、Ｙ軸モータ駆動回路４４
及びレーザ発振回路４６が接続されている。
入力装置４２は、起動スイッチ、停止スイッチなどの操作スイッチを有して各種操作信
号を制御装置４１に入力する。また、入力装置４２は、母材１３に設定された分割線Ｃ１
，Ｃ２，Ｃ３の位置情報、及び母材１３を切断するためにレーザ光Ｌから与えるエネルギ
ー量Ｉａを制御装置４１に入力するようになっている。このエネルギー量Ｉａは、レーザ
光Ｌを母材１３の一点に所定時間照射した場合に母材１３に貫通穴を形成することができ
るだけのエネルギー量である。そして、各分割線Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３の位置情報及びエネル
ギー量Ｉａを入力装置４２から制御装置４１に入力する。
【００３７】
制御装置４１は、入力装置４２からのエネルギー量Ｉａを受けると、加工点に照射され
るレーザ光Ｌの出力エネルギー量及びビーム径に基づいて、レーザ光Ｌと母材１３の相対
速度を算出してＲＡＭに記憶する。すなわち、制御装置４１は、母材１３の加工点に照射
されるレーザ光Ｌのエネルギーの強度から、母材１３上の加工点にレーザ光Ｌからエネル
ギー量Ｉａが与えられるような母材１３とレーザ光Ｌとの相対速度を算出する。この相対
速度が速ければ、レーザ光Ｌから母材１３に与えられるエネルギー量を減少させることが
でき、相対速度が遅ければ、レーザ光Ｌから母材１３に与えられるエネルギー量を増加さ
せることができるようになる。
【００３８】
制御装置４１は、母材１３とレーザ光Ｌとの相対速度と、分割線Ｃ１の位置情報とから
、載置面３６に載置された母材１３の分割線Ｃ１の右端を、レーザ光Ｌが照射される加工
点に位置させてから、Ｘ方向にＸステージ３３を走査する駆動データＤ１を生成してＲＡ
Ｍに記憶する。
【００３９】
また、制御装置４１は、母材１３とレーザ光Ｌとの相対速度と、分割線Ｃ２の位置情報
とから、載置面３６に載置された母材１３の分割線Ｃ２の後端を、レーザ光Ｌが照射され
る加工点に位置させてから、Ｙ方向にＹステージ３５をフィードする駆動データＤ２を生
成してＲＡＭに記憶する。
【００４０】
さらに、制御装置４１は、母材１３とレーザ光Ｌとの相対速度と、分割線Ｃ３の位置情
報とから、載置面３６に載置された母材１３の分割線Ｃ３の前端を、レーザ光Ｌが照射さ
れる加工点に位置させてから、反Ｙ方向にＹステージ３５をフィードする駆動データＤ３
を生成してＲＡＭに記憶する。
【００４１】
Ｘ軸モータ駆動回路４３は、制御装置４１からのＸ軸モータ駆動回路４３に対応する駆
動制御信号に応答して、Ｘステージ３３を往復移動させるＸ軸モータＭＸを正転又は逆転
させるようになっている。そのＸ軸モータ駆動回路４３には、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥ
Ｘが接続されて、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号が入力されるようになって
いる。Ｘ軸モータ駆動回路４３は、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号に基づい
て、Ｘステージ３３の移動方向及び移動量を演算するとともに、Ｘステージ３３の現在位
置に関する情報をＸステージ位置情報ＸＰＩとして生成するようになっている。そして、
制御装置４１は、Ｘ軸モータ駆動回路４３からのＸステージ位置情報ＸＰＩを受けて、各
種信号を出力するようになっている。
【００４２】
Ｙ軸モータ駆動回路４４は、制御装置４１からのＹ軸モータ駆動回路４４に対応する駆
動制御信号に応答して、Ｙステージ３５を往復移動させるＹ軸モータＭＹを正転又は逆転
させるようになっている。そのＹ軸モータ駆動回路４４には、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥ
Ｙが接続されて、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号が入力されるようになって
いる。Ｙ軸モータ駆動回路４４は、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号に基づい
て、Ｙステージ３５の移動方向及び移動量を演算するとともに、Ｙステージ３５の現在位
置に関する情報をＹステージ位置情報ＹＰＩとして生成するようになっている。そして、
制御装置４１は、Ｙ軸モータ駆動回路４４からのＹステージ位置情報ＹＰＩを受けて、各
種信号を出力するようになっている。
【００４３】
レーザ発振回路４６は、制御装置４１からのレーザ発振回路４６に対応する駆動制御信
号ＣＯＭ１に応答して、ＹＡＧレーザを発振して該レーザをレーザヘッド３９に光ファイ
バーケーブルを通じて供給するようになっている。
【００４４】
次に、上記のように構成した切断装置３０を用いて母材１３から表示パネル１０を切り
出す（分割）する動作について図７に従って説明する。
図７は、切断装置３０のレーザヘッド３９からレンズ４０を介して出力されたレーザ光
Ｌが母材１３を分割線Ｃ１に沿って溶断している状態を示す模式図である。
【００４５】
ここでは、Ｙステージ３５を初期位置（図５に示す位置）に配置して、その載置面３６
に母材１３を載置固定しているものとする。
載置面３６に母材１３がセットされると、制御装置４１は、ＲＡＭに記憶された駆動デ
ータＤ１に基づいて、Ｘ軸モータＭＸ及びＹ軸モータＭＹを駆動制御して、Ｘステージ３
３とＹステージ３５を協働させて、母材１３の分割線Ｃ１の右端を、レンズ４０の直下、
すなわちレーザ光Ｌの加工点に位置するように移動させる。
【００４６】
分割線Ｃ１の右端が加工点に移動させられたら、制御装置４１は、レーザヘッド３９か
らレンズ４０を通じて所定の出力のレーザ光Ｌを照射させるとともに、Ｘステージ３３を
駆動データＤ１に基づいた所定の速度で右方向（Ｘ矢印方向）に移動させる。すなわち、
母材１３上のレーザ光Ｌの加工点には、所定の出力のレーザ光Ｌが所定時間照射されるこ
とにより、該レーザ光Ｌから切断するためのエネルギー量Ｉａが供給されるようになって
いる。
【００４７】
母材１３の分割線Ｃ１上の加工点では、レーザ光Ｌによって与えられるエネルギー量Ｉ
ａによって、表示シート１２及び素子基板１１（形成層１６及び背面基板１５）が加熱さ
れて熔解及び拡散するようになっている。そして、表示シート１２及び素子基板１１は、
レーザ光Ｌにより熔解及び拡散されることで、レーザ光Ｌの幅だけ除去されるようになっ
ている。また、レーザ光Ｌに除去された表示シート１２及び素子基板１１の少なくとも一
部が、分割線Ｃ１の左右におよそレーザ光Ｌの幅の間隔だけ離れて、溶着層Ｍ１，Ｍ２を
形成するようになっている。すなわち、溶着層Ｍ１，Ｍ２は、レーザ光Ｌにより溶融され
た表示シート１２及び素子基板１１を形成する材料から形成されていて、熔解時は流動性
を有するが、レーザ光Ｌから離間してほどなく固形化したものである。この固形化した溶
着層Ｍ１，Ｍ２は、母材１３の分割線Ｃ１の左右から表示シート１２及び素子基板１１を
溶着するようになっている。すなわち、表示シート１２及び素子基板１１はその分割面（
切断面）を溶着層Ｍ１，Ｍ２によって溶着されて、表示シート１２及び素子基板１１の接
着をより強固にすることができる。
【００４８】
母材１３が分割線Ｃ１で分割されたら、制御装置４１は、ＲＡＭに記憶された駆動デー
タＤ２に基づいて、Ｘ軸モータＭＸ及びＹ軸モータＭＹを駆動制御して、Ｘステージ３３
とＹステージ３５を協働させて、母材１３の分割線Ｃ２の後端を、レーザ光Ｌの加工点に
位置するように移動させる。
【００４９】
分割線Ｃ２の後端が加工点に移動させられたら、制御装置４１は、レーザヘッド３９か
らレンズ４０を通じて所定の出力のレーザ光Ｌを照射させるとともに、Ｙステージ３５を
駆動データＤ２に基づいた所定の速度で後方向（Ｙ矢印方向）に移動させる。すなわち、
母材１３上の分割線Ｃ２のレーザ光Ｌの加工点には、所定の出力のレーザ光Ｌが所定時間
照射されることにより、該レーザ光Ｌから切断するためのエネルギー量Ｉａが供給される
ようになっている。これにより、母材１３は、分割線Ｃ１で分割したのと同様に分割線Ｃ
２にて分割されることができる。
【００５０】
母材１３が分割線Ｃ２で分割されたら、制御装置４１は、ＲＡＭに記憶された駆動デー
タＤ３に基づいて、Ｘ軸モータＭＸ及びＹ軸モータＭＹを駆動制御して、Ｘステージ３３
とＹステージ３５を協働させて、母材１３の分割線Ｃ３の前端を、レーザ光Ｌの加工点に
位置するように移動させる。
【００５１】
分割線Ｃ３の前端が加工点に移動させられたら、制御装置４１は、レーザヘッド３９か
らレンズ４０を通じて所定の出力のレーザ光Ｌを照射させるとともに、Ｙステージ３５を
駆動データＤ３に基づいた所定の速度で前方向（反Ｙ矢印方向）に移動させる。すなわち
、母材１３上の分割線Ｃ３のレーザ光Ｌの加工点には、所定の出力のレーザ光Ｌが所定時
間照射されることにより、該レーザ光Ｌから切断するためのエネルギー量Ｉａが供給され
るようになっている。これにより、母材１３は、分割線Ｃ１で分割したのと同様に分割線
Ｃ３にて分割されることができる。
【００５２】
以上によって、母材１３に応力を加えずに、母材１３から表示パネル１０を分割（切断
）することができる。その結果、表示シート１２と素子基板１１との剥離や素子基板１１
上に形成されたデバイスの損傷等を抑制した電気泳動表示パネル１０を提供することがで
きる。
【００５３】
以上説明したように、本実施形態にかかる電気泳動表示パネルの製造方法、及び、電気
泳動表示パネルによれば、以下に列記するような効果が得られるようになる。
（１）上記実施形態によれば、母材１３にレーザ光Ｌを照射して熔解するとともに、そ
の一部を拡散させて母材１３に貫通穴を形成して、最終的に母材１３を分割線Ｃ１〜Ｃ３
に沿って切断した。その結果、母材１３に応力を加えずに、母材１３から表示パネル１０
を分割（切断）することができる。そして、表示シート１２と素子基板１１との剥離や素
子基板１１上に形成されたデバイスの損傷等を抑制した電気泳動表示パネル１０を提供す
ることができる。
【００５４】
（２）上記実施形態によれば、レーザ光Ｌによって表示シート１２及び素子基板１１の
少なくとも一部が、分割線Ｃ１の左右に溶着層Ｍ１，Ｍ２を形成した。従って、レーザ光
Ｌにより溶融された後に固形化した溶着層Ｍ１，Ｍ２によって、表示シート１２及び素子
基板１１をより強固に接着することができる。
【００５５】
（３）上記実施形態によれば、表示パネル１０は、いずれも可撓性を有したフレキシブ
ルな部材、例えば、樹脂系材料により構成された。従って、レーザ光Ｌによって、切断さ
れるとともに、熔解して切断された面を溶着することができる。また、樹脂系材料である
ので、熔解させる温度も金属やガラスなどと比較しても非常に低くすることができる。
【００５６】
（その他の実施形態）
なお、上記実施形態は、例えば以下のような態様にて実施することもできる。
・上記実施形態では、母材１３の切断をレーザ光で行なった。しかし、それに限らず、
母材１３の切断を超音波振動子で駆動されるカッターで行なってもよい。この場合、レー
ザヘッド３９に変えて、図８に示すように、超音波振動子５０の先端に超音波が伝達され
るように接続されたカッター５１を用いる。超音波振動子５０は、１０キロヘルツから１
５０キロヘルツの周期で振動してその振動をカッター５１に伝達するが、振動周期として
は特に２０キロヘルツから８０キロヘルツが望ましい。カッター５１によって、表示シー
ト１２及び素子基板１１は熔解されて、カッター５１の幅だけ除去されるようになる。ま
た、カッター５１に熔解された表示シート１２及び素子基板１１の少なくとも一部が、溶
着層Ｍ３，Ｍ４を形成して表示シート１２及び素子基板１１の接着をより強固にすること
ができる。
【００５７】
・上記実施形態では、母材１３の切断をレーザ光で行なった。しかし、それに限らず、
母材１３の切断を発熱体に接続されたコテで行なってもよい。この場合、レーザヘッド３
９に変えて、図９に示すように、発熱体５５の先端に伝熱するように接続されたコテ５６
を用いる。コテ５６は、その先端は１５マイクロメートル〜２ミリメートルの厚みを有し
て、発熱体により温度を１５０度〜３５０度にされることで、その先端に接触する樹脂製
の材料を熔解することにより切断するが、温度としては特に１９０度〜２６０度が望まし
い。そして、コテ５６によって、表示シート１２及び素子基板１１は熔解されて、コテ５
６の幅だけ除去されるようになる。また、コテ５６に熔解された表示シート１２及び素子
基板１１の少なくとも一部が、溶着層Ｍ５，Ｍ６を形成して表示シート１２及び素子基板
１１の接着をより強固にすることができる。
【００５８】
・上記実施形態では、母材１３は封止されていなかった。しかしこれに限らず、図１０
に示すように、母材１３の各外部接続端子２１にフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）
２１ａを接続してから、母材１３全体を封止材６０にて封止してもよい。そして、封止材
６０により封止された母材１３を分割線Ｃ１１〜Ｃ１３に沿って切断することで、切断面
においては表裏の封止材６０が溶着して封止を維持したままの表示パネル１０を母材１３
から分割することができる。このとき、封止材６０は、例えば外側に配置される高分子樹
脂フィルム層と、その内側に配置される無機材料バリア層とにより構成される。そして、
高分子樹脂フィルム層は、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリプ
ロピレン、エチレン−ビニルアルコール共重合体樹脂、液晶ポリマーフィルム等からなる
。無機材料バリア層は、例えば、層状ケイ酸塩（酸化珪素）、窒化珪素、酸化アルミニウ
ム、インジウムスズ酸化物、フッ素ドープ酸化スズ化合物等よりなる。
【００５９】
・上記実施形態では、母材１３をＹＡＧレーザによるレーザ光Ｌにて切断した。しかし
、これに限らず、レーザは、エキシマレーザ、アルゴンレーザ、赤外線レーザなどでもよ
い。特に、赤外線レーザは、電気泳動表示パネル１０を構成する材料、例えば樹脂材料を
熔解させる能力が高いので好適な切断及び溶着ができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明にかかる電気泳動粒子を備えた表示パネルの実施形態についてその全体の平面図。
【図２】同実施形態の表示パネルを複数含む母材の平面構造を示す平面図。
【図３】同実施形態の表示パネルの断面構造を示す図２のＡ−Ａ線断面図。
【図４】同実施形態の表示パネルの断面構造を示す断面図。
【図５】同実施形態の切断装置の斜視構造を示す斜視図。
【図６】同実施形態の切断装置の電気構成を示すブロック図。
【図７】同実施形態の表示パネルをレーザにて切断する態様を示す模式図。
【図８】別例における表示パネルを超音波振動子で駆動されるカッターにて切断する態様を示す模式図。
【図９】別例における表示パネルを高温のコテにて切断する態様を示す模式図。
【図１０】別例における封止材で封止された表示パネルの切断を説明する際の封止された母材の平面構造を示す平面図。
【図１１】従来の方法にて表示パネルを切断する態様を示す模式図。
【符号の説明】
【００６１】
Ｌ…レーザ光、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３…分割線、Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３…駆動データ、Ｉａ…エ
ネルギー量、Ｍ１〜Ｍ６…溶着層、ＭＸ…Ｘ軸モータ、ＭＹ…Ｙ軸モータ、ＭＥＸ…Ｘ軸
モータ回転検出器、ＭＥＹ…Ｙ軸モータ回転検出器、ＸＰＩ…Ｘステージ位置情報、ＹＰ
Ｉ…Ｙステージ位置情報、ＣＯＭ１…駆動制御信号、Ｃ１〜Ｃ３，Ｃ１１〜Ｃ１３…分割
線、１０…電気泳動表示パネル、１１…素子基板、１２…表示シート、１２ａ…表示領域
、１３…母材、１４…対向基板、１４ａ…電気泳動表示層、１５…背面基板、１６…形成
層、１７…透明基板、１８…共通電極、１９…バインダ、２０…マイクロカプセル、２１
…外部接続端子、２１ａ…フレキシブルプリント配線板、２２…走査線駆動回路、２３…
データ線駆動回路、２８…電気泳動分散媒、２９…電気泳動粒子、２９ｂ…黒色粒子、２
９ｗ…白色粒子、３０…切断装置、３１…基台、３２，３４…案内溝、３３…Ｘステージ
、３５…Ｙステージ、３６…載置面、３７…支持部材、３８…先端部、３９…レーザヘッ
ド、４０…レンズ、４１…制御装置、４２…入力装置、４３…Ｘ軸モータ駆動回路、４４
…Ｙ軸モータ駆動回路、４６…レーザ発振回路、５０…超音波振動子、５１…カッター、
５５…発熱体、５６…コテ、６０…封止材。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示パネルの製造方法、及び、電気泳動表示パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子ペーパなどのフレキシブル性を要求される機器に用いられる表示デバイスと
して、フレキシブルな構造の非発光型の表示デバイスが用いられるようになってきている
。このような非発光型の表示デバイスの一つとして、電気泳動現象を利用した電気泳動表
示パネルがある。ここで、電気泳動現象とは、液体中（分散媒）に微粒子（電気泳動粒子
）を分散させた分散系に、電界を印加したときに微粒子がクーロン力により泳動する現象
である。
【０００３】
この電気泳動表示パネルの駆動は、電気泳動粒子を挟んで対向する電極間の電位を薄膜
トランジスタの駆動によって変化させ、該電極間に電界を生じさせることにより行なわれ
る。そして、電気泳動表示装置としてフレキシブル性が要求される用途にあっては、薄膜
トランジスタとしてもフレキシブル性を有する有機薄膜トランジスタ（有機ＴＦＴ）が用
いられることが多い。
【０００４】
ところで、電気泳動表示パネルの形成方法のひとつに、基板上に多数の素子基板を区画
形成した大判のマザー基板と、同じく基板上に多数の対向基板を区画形成した大判のマザ
ー基板とを貼り合わせた後、区画ごとにカットして多数の電気泳動表示パネルを製造する
（多面取り）方法がある。
【０００５】
フレキシブル性を有する電気泳動表示パネルを構成する材料は、基板も含めて比較的や
わらかいため切断することは難しくないものの、裁断機やはさみによる切断では、切断個
所やその周辺部に応力がかかる問題があった。切断時に、電気泳動表示パネルのように複
数の材料を積層して形成された基板等に応力かかると、その応力によって、積層された材
料が剥離することやデバイスを損傷するおそれがあった。例えば、図１１に示すように、
素子基板１１に張り合わせた可撓性を有する表示シート１２を切断するために矢印ｆ１の
方向からせん断力を加えると、その周辺部には矢印ｆ２，ｆ３の方向に応力が発生して、
素子基板１１と表示シート１２が剥離する場合があった。
【０００６】
従来から、電気・電子回路を構成するための基板を好適に分割するための切断方法が提
案されている（特許文献１）。特許文献１に記載の基板の分割方法は、マザー基板に予め
格子状に複数設けたＶ溝の端部にＶ溝を中心とした角形孔設けて、該角形孔に挿入した拡
開金具を基板に水平かつＶ溝鉛直方向に拡開するようにした。該拡開金具を拡開してＶ溝
に沿って基板を分割することで、基板に部品を実装した後であっても、基板面を押さえて
切断する方法のように基板表面に実装された部品（デバイス）を損傷することなく好適に
基板を分割できるようにした。
【０００７】
また、マザー基板に形成したＶ溝に沿って折ることにより基板を分割する方法も提案さ
れている（特許文献２）。特許文献２に記載のマザー基板の分割方法は、マザー基板に格
子形状にＶ溝を形成するとともに、該格子形状から凸状に張り出した部分にはプレス打ち
抜きやルータにより穴を開けておくことで、マザー基板から凸部を有する基板を折り曲げ
により個別に分割することができた。
【特許文献１】特開平１−１７８４０８
【特許文献２】特開平５−１５２７１２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１の方法には、基板にある程度の剛性が必要なことから、フレキシブ
ル性を有する材料を多数積層して形成された電気泳動表示パネルの切断に用いるには難し
かった。また、特許文献２の方法には、基板には折れる程度の硬さが必要なことから、フ
レキシブル性を有する電気泳動表示パネルの分割に用いることは難しかった。また、プレ
ス打ち抜きやルータによる穴あけ加工には、電気泳動表示パネルに応力がかる問題があっ
た。
【０００９】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、母材から可撓
性のある電気泳動表示パネルを分割する際に加わる応力を抑制した、電気泳動表示パネル
の製造方法、及び、電気泳動表示パネルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の電気泳動表示パネルの製造方法は、電気泳動表示セルを形成した母材を熔解さ
せ切断することで、前記母材を複数の電気泳動表示パネルに分割することを特徴とする。
上記の電気泳動表示パネルの製造方法において、前記電気泳動表示セルは、共通電極を
有する透明である対向基板と、前記対向基板と対向する複数の画素電極を有する素子基板
と、前記共通電極と前記素子基板の間に備えられた分散系と、前記共通電極と前記画素電
極が作る電界に基づいて前記分散系を泳動する電気泳動粒子とを備えることが好ましい。
【００１１】
本発明の電気泳動表示パネルの製造方法によれば、母材を熔解させることによって電気
泳動表示パネルを切り離して取り出せる。従って、母材から電気泳動表示パネルを分割（
切断）する際に、母材に大きな応力が加わらない。そのため、部材を積層して形成された
電気泳動表示パネルにおいて部材が剥離することが抑制されるとともに、電気泳動表示パ
ネルに形成されたデバイスの損傷等が抑制される。
【００１２】
さらに、熔解によって電気泳動表示パネルを形成する部材が溶着されて、電気泳動表示
パネルを形成する部材同士の接着をより強固にすることができる。
この電気泳動表示パネルの製造方法は、前記熔解は、ＹＡＧレーザにてさせてもよい。
【００１３】
この電気泳動表示パネルの製造方法によれば、母材をＹＡＧレーザにて熔解させて、母
材から電気泳動表示パネルを切り離して取り出せる。従って、電気泳動表示パネルに応力
を加えることなく切断することができる。
【００１４】
この電気泳動表示パネルの製造方法は、前記熔解は、赤外線レーザにてさせることが好
適である。
この電気泳動表示パネルの製造方法によれば、母材を赤外線レーザにて熔解させて、母
材から電気泳動表示パネルを切り離して取り出せる。すなわち、熔解能力の高い赤外線レ
ーザによって、電気泳動表示パネルを形成する部材を、より熔解させながら切断すること
ができる。また、より熔解するので、電気泳動表示パネルを形成する部材を強固に接着す
ることができる。
【００１５】
この電気泳動表示パネルの製造方法は、前記熔解は、超音波振動子で振動されるカッタ
ーにてさせてもよい。
この電気泳動表示パネルの製造方法によれば、母材を超音波振動子で振動されるカッタ
ーにて熔解させて、母材から電気泳動表示パネルを切り離して取り出せる。従って、簡単
な構造によって、電気泳動表示パネルを形成する部材を熔解させながら切断することがで
きる。
【００１６】
この電気泳動表示パネルの製造方法は、前記熔解は、高温のコテにてさせることも好ま
しい。
この電気泳動表示パネルの製造方法によれば、母材を高温のコテにて熔解させて、母材
から電気泳動表示パネルを切り離して取り出せる。従って、極めて簡単な構造によって、
電気泳動表示パネルを形成する部材を熔解させながら切断することができる。
【００１７】
本発明の電気泳動表示パネルは、切り離して電気泳動表示パネルとなる電気泳動表示セ
ルを複数形成した母材を、前記に記載の電気泳動表示パネルの製造方法によって切り離し
て形成されたことを特徴とする。
【００１８】
本発明の電気泳動表示パネルによれば、電気泳動表示パネルは、切断時に母材に応力を
加えずに分割（切断）される。従って、電気泳動表示パネルを形成する部材同士が剥離す
ることや、電気泳動表示パネルに形成されたデバイスの損傷が生じること等を抑制するこ
とができる。
【００１９】
さらに、熔解によって電気泳動表示パネルを形成する部材が溶融されて電気泳動表示パ
ネルをより強固にすることができる。
この本発明の電気泳動表示パネルは、前記電気泳動表示パネルは、共通電極を有する透
明である対向基板と、前記対向基板と対向する複数の画素電極を有する素子基板と、前記
共通電極と前記素子基板の間に備えられた分散系と、前記共通電極と前記画素電極が作る
電界に基づいて前記分散系を泳動する電子泳動粒子とを備えることが望ましい。
【００２０】
この電気泳動表示パネルによれば、多層構造からなる電気泳動表示パネルでも、切断時
に母材に応力を加えずに分割（切断）することができるので、構成部材同士が剥離するこ
とや、形成されたデバイスの損傷等が生じすることを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明にかかる電気泳動表示パネルの製造方法、及び電気泳動表示パネルを具体
化した第１の実施形態を図面に従って説明する。
図１は、電気泳動表示パネルの全体の平面図を示すものである。
【００２２】
図１に示すように、電気泳動表示セルを構成する電気泳動表示パネル（表示パネル）１
０は、素子基板１１と表示シート１２を有し、その中央部に区画された表示領域１２ａに
画像が表示される。また、表示パネル１０の左側、すなわち素子基板１１の上面には、外
部からの信号線が接続される外部接続端子２１と、その外部接続端子２１を通じて授受さ
れる外部信号等に基づいて表示パネル１０に画像を表示する信号等を生成する走査線駆動
回路２２、データ線駆動回路２３が設けられている。
【００２３】
図２は、６個の表示パネル１０をまとめて形成した母材１３の平面構造を示す平面図で
ある。
図２に示すように、母材１３は、６個の表示パネル１０からなり、各表示パネル１０は
、それぞれの表示領域１２ａが母材１３の中央部に集まるように、すなわち外部接続端子
２１が母材１３の端部に位置するように配置されている。また、それぞれの表示パネル１
０と表示パネル１０の間には、表示パネル１０を母材１３から分割する際の分割位置を示
す分割線Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３が設けられている。分割線Ｃ１は、母材１３を上下方向に分割
する線であり、分割線Ｃ２，Ｃ３は、母材１３を左右方向に分割する線である。そして、
母材１３をすべての分割線Ｃ１〜Ｃ３で分割することで、母材１３から６個の表示パネル
１０が分割されるようになっている。
【００２４】
図３は、母材１３の断面構造を示す、図２のＡ−Ａ線断面図である。
図３に示すように、素子基板１１は、可撓性を有する背面基板１５を備え、その一面（
図３における上面）には、形成層１６が形成されている。背面基板１５は、可撓性、弾性
等に優れた熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂材料、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リカーボネート、ポリイミド、ポリエチレン等により形成されている。また、形成層１６
には、有機ポリマーや絶縁性ポリマー等による複数の導電層、絶縁層が形成されており、
例えば、有機トランジスタ、画素電極、各種の配線が形成されている。そして、形成層１
６は、有機ポリマー材料としては、例えば、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、エステル
系樹脂を用いている。また、絶縁性ポリマーとしては、例えば、ポリメチルメタクリレー
ト、ポリビニルフェノール、ポリイミド、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリビ
ニールアセテート等の１種類又は２種類以上を組み合わせて用いている。
【００２５】
表示シート１２は、対向基板１４と電気泳動表示層１４ａから形成されている。
対向基板１４は、これも可撓性を有する透明基板１７を備え、その一面（図３における
下面）には、共通電極１８が形成されている。透明基板１７は、透明性、可撓性等に優れ
た熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂材料、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカー
ボネート、ポリイミド、ポリエチレン等により形成されている。共通電極１８は、透明性
を有する導電性の材料、例えば、インジウムスズ酸化物等、もしくはポリアニリン等の電
子導電性高分子等により形成されている。
【００２６】
電気泳動表示層１４ａは、バインダ１９によって一体化された多数のマイクロカプセル
２０によって構成されている。マイクロカプセル２０には、図４に示すように、分散系と
しての電気泳動分散媒２８と、電気泳動粒子２９とが封入されている。電気泳動粒子２９
は、正あるいは負に帯電した白色粒子２９ｗ、及び、その白色粒子２９ｗとは異なる極性
に帯電した黒色粒子２９ｂとからなり、それぞれマイクロカプセル２０に印加された電界
の向きに応じて電気泳動分散媒２８中を泳動する。
【００２７】
マイクロカプセル２０は、例えば、アラビアゴム・ゼラチン系化合物、ウレタン系化合
物等により形成されている。電気泳動分散媒２８は、例えば、水、メタノール、エタノー
ル等からなる。また、電気泳動粒子２９は、例えば、アニリンブラック、カーボンブラッ
ク、二酸化チタン等により形成されている。
【００２８】
次に、このように構成された母材１３から表示パネル１０を切断により分割するための
切断装置３０について図５を参照して説明する。
図５は、切断装置３０の斜視構造を示す斜視図である。
【００２９】
図５において、切断装置３０には、直方体形状に形成された基台３１が備えられるとと
もに、その基台３１の上面には、その左右方向（Ｘ矢印方向）に沿って延びる一対の案内
溝３２が形成されている。その基台３１の上方には、基台３１に設けられたＸ軸モータＭ
Ｘ（図６の左参照）の出力軸に駆動連結されるＸステージ３３が備えられるとともに、そ
のＸステージ３３が、前記案内溝３２に沿って、Ｘ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に往復動す
る（Ｘ矢印方向に沿って走査される）ようになっている。
【００３０】
Ｘステージ３３の上面には、その前後方向（Ｙ矢印方向）に沿って延びる一対の案内溝
３４が形成されている。そのＸステージ３３の上方には、Ｘステージ３３に設けられたＹ
軸モータＭＹ（図６の左参照）の出力軸に駆動連結されるＹステージ３５が備えられると
ともに、そのＹステージ３５が、前記案内溝３４に沿って、Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向
に往復動する（Ｙ矢印方向に沿ってフィードされる）ようになっている。
【００３１】
Ｙステージ３５の上面には、母材１３を載置可能にする載置面３６が形成されていて、
載置された状態の母材１３をＹステージ３５に対して位置決め固定するようになっている
。尚、本実施形態では、載置面３６には、表示パネル１０が６個形成された母材１３を載
置することとしたが、載置面３６には、種々のサイズの母材や基板等を位置決め固定する
ことができる。
【００３２】
基台３１のＸ矢印方向には、逆「Ｌ」字形に形成された支持部材３７が配設されている
。支持部材３７は、その先端部３８が基台３１の中央方向に延出するとともに、先端部３
８の側面には、レーザヘッド３９が備えられている。レーザヘッド３９は、レーザ発振回
路４６（図６参照）と図示しない光ファイバーケーブルによって接続されていて、レーザ
発振回路４６が発振したＹＡＧレーザ（波長１．０６マイクロメートル）を受けるととも
に、基台３１の方向に出力するようになっている。
【００３３】
レーザヘッド３９の下面にはレンズ４０が備えられている。レンズ４０は、基台３１の
中央部上方に位置されていて、レンズ４０の真下には、Ｘステージ３３とＹステージ３５
との協働によって載置面３６の任意の位置を位置させることができるようになっている。
すなわち、レンズ４０は、レーザヘッド３９が出力したＹＡＧレーザのレーザ光Ｌ（図７
参照）を、レンズ４０の真下に位置された母材１３上の分割線Ｃ１〜Ｃ３上の加工点に照
射させる。ここで、加工点とはレーザ光Ｌが照射されている点のことで、本実施形態では
、分割線Ｃ１〜Ｃ３上に仮想的に連続して設定されているものとする。
【００３４】
レーザ光Ｌが照射された加工点は、レーザ光Ｌの照射によって熔解するとともに、その
一部が拡散する。そして、母材１３の該加工点には、レーザ光Ｌによって貫通穴が形成さ
れる。すなわち、レーザ光Ｌが母材１３上に連続する加工点に順次照射されると、レーザ
光Ｌは、それぞれの加工点を熔解及び拡散させて貫通穴を形成して、最終的に母材１３を
分割線Ｃ１〜Ｃ３に沿って切断するようになっている。
【００３５】
次に、上記のように構成した切断装置３０の電気的構成を図６に従って説明する。
図６において、制御装置４１には、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭなどが備えられている。そ
して、制御装置４１は、ＲＡＭやＲＯＭなどに格納された各種データ及び各種プログラム
に従って、Ｘステージ３３を走査させて、Ｙステージ３５をフィードさせるとともに、レ
ーザ発振回路４６を制御するようになっている。
【００３６】
制御装置４１には、入力装置４２、Ｘ軸モータ駆動回路４３、Ｙ軸モータ駆動回路４４
及びレーザ発振回路４６が接続されている。
入力装置４２は、起動スイッチ、停止スイッチなどの操作スイッチを有して各種操作信
号を制御装置４１に入力する。また、入力装置４２は、母材１３に設定された分割線Ｃ１
，Ｃ２，Ｃ３の位置情報、及び母材１３を切断するためにレーザ光Ｌから与えるエネルギ
ー量Ｉａを制御装置４１に入力するようになっている。このエネルギー量Ｉａは、レーザ
光Ｌを母材１３の一点に所定時間照射した場合に母材１３に貫通穴を形成することができ
るだけのエネルギー量である。そして、各分割線Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３の位置情報及びエネル
ギー量Ｉａを入力装置４２から制御装置４１に入力する。
【００３７】
制御装置４１は、入力装置４２からのエネルギー量Ｉａを受けると、加工点に照射され
るレーザ光Ｌの出力エネルギー量及びビーム径に基づいて、レーザ光Ｌと母材１３の相対
速度を算出してＲＡＭに記憶する。すなわち、制御装置４１は、母材１３の加工点に照射
されるレーザ光Ｌのエネルギーの強度から、母材１３上の加工点にレーザ光Ｌからエネル
ギー量Ｉａが与えられるような母材１３とレーザ光Ｌとの相対速度を算出する。この相対
速度が速ければ、レーザ光Ｌから母材１３に与えられるエネルギー量を減少させることが
でき、相対速度が遅ければ、レーザ光Ｌから母材１３に与えられるエネルギー量を増加さ
せることができるようになる。
【００３８】
制御装置４１は、母材１３とレーザ光Ｌとの相対速度と、分割線Ｃ１の位置情報とから
、載置面３６に載置された母材１３の分割線Ｃ１の右端を、レーザ光Ｌが照射される加工
点に位置させてから、Ｘ方向にＸステージ３３を走査する駆動データＤ１を生成してＲＡ
Ｍに記憶する。
【００３９】
また、制御装置４１は、母材１３とレーザ光Ｌとの相対速度と、分割線Ｃ２の位置情報
とから、載置面３６に載置された母材１３の分割線Ｃ２の後端を、レーザ光Ｌが照射され
る加工点に位置させてから、Ｙ方向にＹステージ３５をフィードする駆動データＤ２を生
成してＲＡＭに記憶する。
【００４０】
さらに、制御装置４１は、母材１３とレーザ光Ｌとの相対速度と、分割線Ｃ３の位置情
報とから、載置面３６に載置された母材１３の分割線Ｃ３の前端を、レーザ光Ｌが照射さ
れる加工点に位置させてから、反Ｙ方向にＹステージ３５をフィードする駆動データＤ３
を生成してＲＡＭに記憶する。
【００４１】
Ｘ軸モータ駆動回路４３は、制御装置４１からのＸ軸モータ駆動回路４３に対応する駆
動制御信号に応答して、Ｘステージ３３を往復移動させるＸ軸モータＭＸを正転又は逆転
させるようになっている。そのＸ軸モータ駆動回路４３には、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥ
Ｘが接続されて、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号が入力されるようになって
いる。Ｘ軸モータ駆動回路４３は、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号に基づい
て、Ｘステージ３３の移動方向及び移動量を演算するとともに、Ｘステージ３３の現在位
置に関する情報をＸステージ位置情報ＸＰＩとして生成するようになっている。そして、
制御装置４１は、Ｘ軸モータ駆動回路４３からのＸステージ位置情報ＸＰＩを受けて、各
種信号を出力するようになっている。
【００４２】
Ｙ軸モータ駆動回路４４は、制御装置４１からのＹ軸モータ駆動回路４４に対応する駆
動制御信号に応答して、Ｙステージ３５を往復移動させるＹ軸モータＭＹを正転又は逆転
させるようになっている。そのＹ軸モータ駆動回路４４には、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥ
Ｙが接続されて、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号が入力されるようになって
いる。Ｙ軸モータ駆動回路４４は、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号に基づい
て、Ｙステージ３５の移動方向及び移動量を演算するとともに、Ｙステージ３５の現在位
置に関する情報をＹステージ位置情報ＹＰＩとして生成するようになっている。そして、
制御装置４１は、Ｙ軸モータ駆動回路４４からのＹステージ位置情報ＹＰＩを受けて、各
種信号を出力するようになっている。
【００４３】
レーザ発振回路４６は、制御装置４１からのレーザ発振回路４６に対応する駆動制御信
号ＣＯＭ１に応答して、ＹＡＧレーザを発振して該レーザをレーザヘッド３９に光ファイ
バーケーブルを通じて供給するようになっている。
【００４４】
次に、上記のように構成した切断装置３０を用いて母材１３から表示パネル１０を切り
出す（分割）する動作について図７に従って説明する。
図７は、切断装置３０のレーザヘッド３９からレンズ４０を介して出力されたレーザ光
Ｌが母材１３を分割線Ｃ１に沿って溶断している状態を示す模式図である。
【００４５】
ここでは、Ｙステージ３５を初期位置（図５に示す位置）に配置して、その載置面３６
に母材１３を載置固定しているものとする。
載置面３６に母材１３がセットされると、制御装置４１は、ＲＡＭに記憶された駆動デ
ータＤ１に基づいて、Ｘ軸モータＭＸ及びＹ軸モータＭＹを駆動制御して、Ｘステージ３
３とＹステージ３５を協働させて、母材１３の分割線Ｃ１の右端を、レンズ４０の直下、
すなわちレーザ光Ｌの加工点に位置するように移動させる。
【００４６】
分割線Ｃ１の右端が加工点に移動させられたら、制御装置４１は、レーザヘッド３９か
らレンズ４０を通じて所定の出力のレーザ光Ｌを照射させるとともに、Ｘステージ３３を
駆動データＤ１に基づいた所定の速度で右方向（Ｘ矢印方向）に移動させる。すなわち、
母材１３上のレーザ光Ｌの加工点には、所定の出力のレーザ光Ｌが所定時間照射されるこ
とにより、該レーザ光Ｌから切断するためのエネルギー量Ｉａが供給されるようになって
いる。
【００４７】
母材１３の分割線Ｃ１上の加工点では、レーザ光Ｌによって与えられるエネルギー量Ｉ
ａによって、表示シート１２及び素子基板１１（形成層１６及び背面基板１５）が加熱さ
れて熔解及び拡散するようになっている。そして、表示シート１２及び素子基板１１は、
レーザ光Ｌにより熔解及び拡散されることで、レーザ光Ｌの幅だけ除去されるようになっ
ている。また、レーザ光Ｌに除去された表示シート１２及び素子基板１１の少なくとも一
部が、分割線Ｃ１の左右におよそレーザ光Ｌの幅の間隔だけ離れて、溶着層Ｍ１，Ｍ２を
形成するようになっている。すなわち、溶着層Ｍ１，Ｍ２は、レーザ光Ｌにより溶融され
た表示シート１２及び素子基板１１を形成する材料から形成されていて、熔解時は流動性
を有するが、レーザ光Ｌから離間してほどなく固形化したものである。この固形化した溶
着層Ｍ１，Ｍ２は、母材１３の分割線Ｃ１の左右から表示シート１２及び素子基板１１を
溶着するようになっている。すなわち、表示シート１２及び素子基板１１はその分割面（
切断面）を溶着層Ｍ１，Ｍ２によって溶着されて、表示シート１２及び素子基板１１の接
着をより強固にすることができる。
【００４８】
母材１３が分割線Ｃ１で分割されたら、制御装置４１は、ＲＡＭに記憶された駆動デー
タＤ２に基づいて、Ｘ軸モータＭＸ及びＹ軸モータＭＹを駆動制御して、Ｘステージ３３
とＹステージ３５を協働させて、母材１３の分割線Ｃ２の後端を、レーザ光Ｌの加工点に
位置するように移動させる。
【００４９】
分割線Ｃ２の後端が加工点に移動させられたら、制御装置４１は、レーザヘッド３９か
らレンズ４０を通じて所定の出力のレーザ光Ｌを照射させるとともに、Ｙステージ３５を
駆動データＤ２に基づいた所定の速度で後方向（Ｙ矢印方向）に移動させる。すなわち、
母材１３上の分割線Ｃ２のレーザ光Ｌの加工点には、所定の出力のレーザ光Ｌが所定時間
照射されることにより、該レーザ光Ｌから切断するためのエネルギー量Ｉａが供給される
ようになっている。これにより、母材１３は、分割線Ｃ１で分割したのと同様に分割線Ｃ
２にて分割されることができる。
【００５０】
母材１３が分割線Ｃ２で分割されたら、制御装置４１は、ＲＡＭに記憶された駆動デー
タＤ３に基づいて、Ｘ軸モータＭＸ及びＹ軸モータＭＹを駆動制御して、Ｘステージ３３
とＹステージ３５を協働させて、母材１３の分割線Ｃ３の前端を、レーザ光Ｌの加工点に
位置するように移動させる。
【００５１】
分割線Ｃ３の前端が加工点に移動させられたら、制御装置４１は、レーザヘッド３９か
らレンズ４０を通じて所定の出力のレーザ光Ｌを照射させるとともに、Ｙステージ３５を
駆動データＤ３に基づいた所定の速度で前方向（反Ｙ矢印方向）に移動させる。すなわち
、母材１３上の分割線Ｃ３のレーザ光Ｌの加工点には、所定の出力のレーザ光Ｌが所定時
間照射されることにより、該レーザ光Ｌから切断するためのエネルギー量Ｉａが供給され
るようになっている。これにより、母材１３は、分割線Ｃ１で分割したのと同様に分割線
Ｃ３にて分割されることができる。
【００５２】
以上によって、母材１３に応力を加えずに、母材１３から表示パネル１０を分割（切断
）することができる。その結果、表示シート１２と素子基板１１との剥離や素子基板１１
上に形成されたデバイスの損傷等を抑制した電気泳動表示パネル１０を提供することがで
きる。
【００５３】
以上説明したように、本実施形態にかかる電気泳動表示パネルの製造方法、及び、電気
泳動表示パネルによれば、以下に列記するような効果が得られるようになる。
（１）上記実施形態によれば、母材１３にレーザ光Ｌを照射して熔解するとともに、そ
の一部を拡散させて母材１３に貫通穴を形成して、最終的に母材１３を分割線Ｃ１〜Ｃ３
に沿って切断した。その結果、母材１３に応力を加えずに、母材１３から表示パネル１０
を分割（切断）することができる。そして、表示シート１２と素子基板１１との剥離や素
子基板１１上に形成されたデバイスの損傷等を抑制した電気泳動表示パネル１０を提供す
ることができる。
【００５４】
（２）上記実施形態によれば、レーザ光Ｌによって表示シート１２及び素子基板１１の
少なくとも一部が、分割線Ｃ１の左右に溶着層Ｍ１，Ｍ２を形成した。従って、レーザ光
Ｌにより溶融された後に固形化した溶着層Ｍ１，Ｍ２によって、表示シート１２及び素子
基板１１をより強固に接着することができる。
【００５５】
（３）上記実施形態によれば、表示パネル１０は、いずれも可撓性を有したフレキシブ
ルな部材、例えば、樹脂系材料により構成された。従って、レーザ光Ｌによって、切断さ
れるとともに、熔解して切断された面を溶着することができる。また、樹脂系材料である
ので、熔解させる温度も金属やガラスなどと比較しても非常に低くすることができる。
【００５６】
（その他の実施形態）
なお、上記実施形態は、例えば以下のような態様にて実施することもできる。
・上記実施形態では、母材１３の切断をレーザ光で行なった。しかし、それに限らず、
母材１３の切断を超音波振動子で駆動されるカッターで行なってもよい。この場合、レー
ザヘッド３９に変えて、図８に示すように、超音波振動子５０の先端に超音波が伝達され
るように接続されたカッター５１を用いる。超音波振動子５０は、１０キロヘルツから１
５０キロヘルツの周期で振動してその振動をカッター５１に伝達するが、振動周期として
は特に２０キロヘルツから８０キロヘルツが望ましい。カッター５１によって、表示シー
ト１２及び素子基板１１は熔解されて、カッター５１の幅だけ除去されるようになる。ま
た、カッター５１に熔解された表示シート１２及び素子基板１１の少なくとも一部が、溶
着層Ｍ３，Ｍ４を形成して表示シート１２及び素子基板１１の接着をより強固にすること
ができる。
【００５７】
・上記実施形態では、母材１３の切断をレーザ光で行なった。しかし、それに限らず、
母材１３の切断を発熱体に接続されたコテで行なってもよい。この場合、レーザヘッド３
９に変えて、図９に示すように、発熱体５５の先端に伝熱するように接続されたコテ５６
を用いる。コテ５６は、その先端は１５マイクロメートル〜２ミリメートルの厚みを有し
て、発熱体により温度を１５０度〜３５０度にされることで、その先端に接触する樹脂製
の材料を熔解することにより切断するが、温度としては特に１９０度〜２６０度が望まし
い。そして、コテ５６によって、表示シート１２及び素子基板１１は熔解されて、コテ５
６の幅だけ除去されるようになる。また、コテ５６に熔解された表示シート１２及び素子
基板１１の少なくとも一部が、溶着層Ｍ５，Ｍ６を形成して表示シート１２及び素子基板
１１の接着をより強固にすることができる。
【００５８】
・上記実施形態では、母材１３は封止されていなかった。しかしこれに限らず、図１０
に示すように、母材１３の各外部接続端子２１にフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）
２１ａを接続してから、母材１３全体を封止材６０にて封止してもよい。そして、封止材
６０により封止された母材１３を分割線Ｃ１１〜Ｃ１３に沿って切断することで、切断面
においては表裏の封止材６０が溶着して封止を維持したままの表示パネル１０を母材１３
から分割することができる。このとき、封止材６０は、例えば外側に配置される高分子樹
脂フィルム層と、その内側に配置される無機材料バリア層とにより構成される。そして、
高分子樹脂フィルム層は、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリプ
ロピレン、エチレン−ビニルアルコール共重合体樹脂、液晶ポリマーフィルム等からなる
。無機材料バリア層は、例えば、層状ケイ酸塩（酸化珪素）、窒化珪素、酸化アルミニウ
ム、インジウムスズ酸化物、フッ素ドープ酸化スズ化合物等よりなる。
【００５９】
・上記実施形態では、母材１３をＹＡＧレーザによるレーザ光Ｌにて切断した。しかし
、これに限らず、レーザは、エキシマレーザ、アルゴンレーザ、赤外線レーザなどでもよ
い。特に、赤外線レーザは、電気泳動表示パネル１０を構成する材料、例えば樹脂材料を
熔解させる能力が高いので好適な切断及び溶着ができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明にかかる電気泳動粒子を備えた表示パネルの実施形態についてその全体の平面図。
【図２】同実施形態の表示パネルを複数含む母材の平面構造を示す平面図。
【図３】同実施形態の表示パネルの断面構造を示す図２のＡ−Ａ線断面図。
【図４】同実施形態の表示パネルの断面構造を示す断面図。
【図５】同実施形態の切断装置の斜視構造を示す斜視図。
【図６】同実施形態の切断装置の電気構成を示すブロック図。
【図７】同実施形態の表示パネルをレーザにて切断する態様を示す模式図。
【図８】別例における表示パネルを超音波振動子で駆動されるカッターにて切断する態様を示す模式図。
【図９】別例における表示パネルを高温のコテにて切断する態様を示す模式図。
【図１０】別例における封止材で封止された表示パネルの切断を説明する際の封止された母材の平面構造を示す平面図。
【図１１】従来の方法にて表示パネルを切断する態様を示す模式図。
【符号の説明】
【００６１】
Ｌ…レーザ光、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３…分割線、Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３…駆動データ、Ｉａ…エ
ネルギー量、Ｍ１〜Ｍ６…溶着層、ＭＸ…Ｘ軸モータ、ＭＹ…Ｙ軸モータ、ＭＥＸ…Ｘ軸
モータ回転検出器、ＭＥＹ…Ｙ軸モータ回転検出器、ＸＰＩ…Ｘステージ位置情報、ＹＰ
Ｉ…Ｙステージ位置情報、ＣＯＭ１…駆動制御信号、Ｃ１〜Ｃ３，Ｃ１１〜Ｃ１３…分割
線、１０…電気泳動表示パネル、１１…素子基板、１２…表示シート、１２ａ…表示領域
、１３…母材、１４…対向基板、１４ａ…電気泳動表示層、１５…背面基板、１６…形成
層、１７…透明基板、１８…共通電極、１９…バインダ、２０…マイクロカプセル、２１
…外部接続端子、２１ａ…フレキシブルプリント配線板、２２…走査線駆動回路、２３…
データ線駆動回路、２８…電気泳動分散媒、２９…電気泳動粒子、２９ｂ…黒色粒子、２
９ｗ…白色粒子、３０…切断装置、３１…基台、３２，３４…案内溝、３３…Ｘステージ
、３５…Ｙステージ、３６…載置面、３７…支持部材、３８…先端部、３９…レーザヘッ
ド、４０…レンズ、４１…制御装置、４２…入力装置、４３…Ｘ軸モータ駆動回路、４４
…Ｙ軸モータ駆動回路、４６…レーザ発振回路、５０…超音波振動子、５１…カッター、
５５…発熱体、５６…コテ、６０…封止材。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気泳動表示セルを形成した母材を熔解させ切断することで、前記母材を複数の電気泳
動表示パネルに分割する電気泳動表示パネルの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、前記電気泳動表示セルは、
共通電極を有する透明である対向基板と、
前記対向基板と対向する複数の画素電極を有する素子基板と、
前記共通電極と前記素子基板の間に備えられた分散系と、
前記共通電極と前記画素電極が作る電界に基づいて前記分散系を泳動する電気泳動粒子
とを備えることを特徴とする電気泳動表示パネルの製造方法。
【請求項３】
請求項１乃至請求項２のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、
前記熔解は、ＹＡＧレーザにてさせることを特徴とする電気泳動表示パネルの製造方法
。
【請求項４】
請求項１乃至請求項２のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、
前記熔解は、赤外線レーザにてさせることを特徴とする電気泳動表示パネルの製造方法
。
【請求項５】
請求項１乃至請求項２のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、
前記熔解は、超音波振動子で振動されるカッターにてさせることを特徴とする電気泳動
表示パネルの製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項２のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、
前記熔解は、高温のコテにてさせることを特徴とする電気泳動表示パネルの製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの製造方法によって切り
離して形成されたことを特徴とする電気泳動表示パネル。
【請求項１】
電気泳動表示セルを形成した母材を熔解させ切断することで、前記母材を複数の電気泳
動表示パネルに分割する電気泳動表示パネルの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、前記電気泳動表示セルは、
共通電極を有する透明である対向基板と、
前記対向基板と対向する複数の画素電極を有する素子基板と、
前記共通電極と前記素子基板の間に備えられた分散系と、
前記共通電極と前記画素電極が作る電界に基づいて前記分散系を泳動する電気泳動粒子
とを備えることを特徴とする電気泳動表示パネルの製造方法。
【請求項３】
請求項１乃至請求項２のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、
前記熔解は、ＹＡＧレーザにてさせることを特徴とする電気泳動表示パネルの製造方法
。
【請求項４】
請求項１乃至請求項２のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、
前記熔解は、赤外線レーザにてさせることを特徴とする電気泳動表示パネルの製造方法
。
【請求項５】
請求項１乃至請求項２のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、
前記熔解は、超音波振動子で振動されるカッターにてさせることを特徴とする電気泳動
表示パネルの製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項２のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、
前記熔解は、高温のコテにてさせることを特徴とする電気泳動表示パネルの製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの製造方法によって切り
離して形成されたことを特徴とする電気泳動表示パネル。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２００８−２４２３８４（Ｐ２００８−２４２３８４Ａ）
【公開日】平成２０年１０月９日（２００８．１０．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−８６７８４（Ｐ２００７−８６７８４）
【出願日】平成１９年３月２９日（２００７．３．２９）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１０月９日（２００８．１０．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年３月２９日（２００７．３．２９）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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