高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法、高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート、高周波共振器及び高周波伝送線路
【目的】 高周波電磁界結合型薄膜積層電極をシート状に、かつ安価に製造することができる薄膜積層電極シートの製造方法と、この薄膜積層電極を用いた高周波共振器及び高周波伝送線路を提供する。
【構成】 製造工程は複数の薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３の各下面に薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３を形成する第１の工程と、各薄膜誘電体シートと各薄膜導体とが交互に積層されるように、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が形成された複数の薄膜誘電体シートを重ねて固定する第２の工程と、互いに接する固定された各薄膜誘電体シートと各薄膜導体とをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程とを含む。製造装置は真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３と、固定機４０と、熱圧着装置Ｈ１を備える。
【構成】 製造工程は複数の薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３の各下面に薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３を形成する第１の工程と、各薄膜誘電体シートと各薄膜導体とが交互に積層されるように、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が形成された複数の薄膜誘電体シートを重ねて固定する第２の工程と、互いに接する固定された各薄膜誘電体シートと各薄膜導体とをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程とを含む。製造装置は真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３と、固定機４０と、熱圧着装置Ｈ１を備える。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波、準ミリ波又はミリ波の高周波帯において用いられる高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法、高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート、高周波共振器及び高周波伝送線路に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子部品の小型化が進む中、マイクロ波、準ミリ波又はミリ波などの高周波帯においても高い誘電率を有する材料を用いることによって、デバイスの小型化がなされてきた。デバイスの小型化を行う場合、誘電率を大きくする一方、相似形として形状を縮小させると、原理的には体積の立方根に反比例してエネルギー損失が増大するという問題点があった。
【０００３】高周波デバイスのエネルギー損失は、表皮効果による導体損失と、誘電体材料による誘電体損失とに大きく分類することができる。近年の誘電体材料は、高誘電率なものでも低損失な特性を有する材料が実用化されており、従って、誘電体損失よりも導体損失の方が回路の無負荷Ｑにおいて支配的である。また、高周波帯においては、表皮効果によって、導体表面において高周波電流が集中するために、導体表面に近づくほど表面抵抗（表皮抵抗ともいう。）が大きくなり、導体損失（ジュール損失）が大きくなる。
【０００４】本出願人は、高周波帯における表面抵抗を低減できる高周波電磁界結合型薄膜積層電極を特願平５−２１２６３０で提案した。当該高周波電磁界結合型薄膜積層電極は、所定の膜厚を有する薄膜導体と所定の膜厚を有する薄膜誘電体とを交互に積層することによって、少なくとも１つのＴＥＭ伝送線路が積層されてなる。そして、各薄膜誘電体の膜厚と誘電率を所定の値に設定し、かつ各薄膜導体の膜厚を、使用周波数の表皮深さδ０よりも薄い所定の膜厚に設定することによって、各薄膜導体にそれぞれ高周波電流が流れるように構成して、高周波帯における表皮効果を大幅に抑圧することにより、高周波帯における表面抵抗を低減するものである。
【０００５】上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極は、誘電体基板の上面に、例えばスパッタリング装置等の薄膜形成装置を用いて上記薄膜導体と上記薄膜誘電体を交互に形成することにより作成される。ここで、上記誘電体基板は、例えばアルミナの単結晶であるサファイアにてなり、上記薄膜導体は、例えばＣｕ、Ａｇ、Ａｌ又はＡｕなどの電気的導電性を有する導体にてなり、上記薄膜誘電体は、例えばＳｉＯ２にてなる。上述の方法によって上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極を上記誘電体基板上に所定の形状になるように形成する場合は、各薄膜導体と各薄膜誘電体を形成する毎にエッチング等の方法を用いて、各薄膜導体と各薄膜誘電体を所定の形状にした後、上層の薄膜導体又は薄膜誘電体を形成して、さらにエッチング方法を用いて当該薄膜導体又は薄膜誘電体を所定の形状に形成する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の製造方法では、誘電体基板の上面に薄膜導体を直接形成しているので、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極をシート状にして製造することはできなかった。また、従来のスパッタリング装置等を用いて上記薄膜導体と薄膜誘電体を１層毎に形成する方法では、各層を順次形成しているので、製造工程数が多くなって製造コストが高くなるという問題点があった。またさらに、上記電磁界結合型薄膜積層電極を所定の形状になるように形成しようとすると、薄膜導体又は薄膜誘電体を１層形成する毎に、エッチング工程が必要になり、製造工程数はさらに多くなって、製造コストがさらに高くなるという問題点があった。
【０００７】本発明の第１の目的は、高周波電磁界結合型薄膜積層電極をシート状に製造でき、かつ安価に製造することができる高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法を提供することにある。
【０００８】本発明の第２の目的は、切断したときに切断面において薄膜導体間での短絡を防ぐことができる高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法を提供することにある。
【０００９】本発明の第３の目的は、高周波電磁界結合型薄膜積層電極をシート状に形成した高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを提供することにある。
【００１０】本発明の第４の目的は、無負荷Ｑが高くできる高周波共振器と安価でかつ伝送損失の小さい高周波伝送線路を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明に係る請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、複数の薄膜誘電体シートの各下面に薄膜導体を形成する第１の工程と、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が形成された上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて固定する第２の工程と、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程とを含むことを特徴とする。
【００１２】請求項２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法においてさらに、上記各薄膜誘電体シートを所定のより薄い膜厚になるように厚さ方向に所定の圧力で押圧して上記第１の工程に先立って予め形成する工程をさらに含むことを特徴とする。
【００１３】請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第３の工程は、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに熱圧着することにより接合する工程であることを特徴とする。
【００１４】請求項４記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第３の工程は、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに焼成することにより接合する工程であることを特徴とする。
【００１５】請求項５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートは、可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする。
【００１６】請求項６記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項１乃至５のうちの１つに記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第１の工程は、上記各薄膜導体を上記薄膜誘電体シートの幅方向の両側から所定の距離だけ内側の幅方向の中央部に形成することを特徴とする。
【００１７】本発明に係る請求項７記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、複数の薄膜誘電体シートの各下面に薄膜導体を形成する第１の工程と、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に別の誘電体上に積層されるように、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が形成された上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて上記別の誘電体上に固定する第２の工程と、上記固定された別の誘電体と上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とを同時に焼成することによって、上記別の誘電体と上記薄膜導体と上記薄膜誘電体シートとをともに接合して上記別の誘電体上に高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程とを含むことを特徴とする。
【００１８】本発明に係る請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有しかつ薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとを、上記誘電体フィルムの薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するように交互に繰り返し重ねて固定する第１の工程と、上記各誘電体フィルムの薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第２の工程とを含むことを特徴とする。
【００１９】請求項９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートを所定のより薄い膜厚になるように厚さ方向に所定の圧力で押圧して上記第１の工程に先立って予め形成する工程をさらに含むことを特徴とする。
【００２０】請求項１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項８又は９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第２の工程は、上記固定された上記薄膜誘電体シートと上記誘電体フィルムと上記薄膜導体とをともに熱圧着することにより接合する工程であることを特徴とする。
【００２１】請求項１１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項８、９又は１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートは可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする。
【００２２】本発明に係る請求項１２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、複数の薄膜誘電体シートの各一方の面に、上記各薄膜誘電体シートの長手方向の所定の幅だけ上記各薄膜誘電体シートの表面が露出した切り取り線部と上記各薄膜誘電体シートの長手方向に所定の長さを有する薄膜導体とを上記各薄膜誘電体シートの長手方向に交互に形成する第１の工程と、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように、かつ上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、上記切り取り線部と上記薄膜導体とがそれぞれ形成された複数の薄膜誘電体シートを重ねて固定する第２の工程と、上記第２の工程の後に、互いに接する上記各薄膜導体と上記各薄膜誘電体シートの他方の面とを接合することにより、上記薄膜導体と上記切り取り線部とがそれぞれ形成された複数の薄膜誘電体シートをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程と、上記第２の工程と上記第３の工程との間又は上記第３の工程の後に、表面に露出した上記薄膜誘電体シートの他方の面上であって、上記切り取り線部と対向する面の幅方向の略中央部に切り取り線を印刷する第４の工程とを含むことを特徴とする。
【００２３】本発明に係る請求項１３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有する誘電体フィルムの長手方向に所定の長さを有する薄膜導体と上記誘電体フィルムの一方の面の長手方向の所定の幅だけ上記誘電体フィルムの一方の面の表面が露出した切り取り線部とが上記誘電体フィルムの一方の面の長手方向に交互に予め形成された複数の誘電体フィルムとを、上記誘電体フィルムの一方の面に形成された薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するようにかつ上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、交互に繰り返し重ねて固定する第１の工程と、上記第１の工程の後に、上記各誘電体フィルムの一方の面に形成された薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜導体と上記切り取り線部とがそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムと上記薄膜誘電体シートとをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第２の工程と、上記第１の工程と上記第２の工程との間又は上記第２の工程の後に、表面に露出した上記誘電体フィルムの他方の面上であって、上記切り取り線部と対向する面の幅方向の略中央部に切り取り線を印刷する第３の工程とを含むことを特徴とする。
【００２４】本発明に係る請求項１４記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートは、複数の薄膜誘電体シートの各下面に薄膜導体を設け、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が設けられた上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて接合することにより、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とを交互に積層してなることを特徴とする。
【００２５】本発明に係る請求項１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートは、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有しかつ薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとを、上記誘電体フィルムの薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するように交互に繰り返し重ねて、上記各誘電体フィルムの薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとをともに接合してなることを特徴とする。
【００２６】本発明に係る請求項１６記載の高周波共振器は、所定の形状を有する電極を備えた高周波共振器において、上記電極は請求項１４又は１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなることを特徴とする。
【００２７】本発明に係る請求項１７記載の高周波伝送線路は、所定の形状を有する電極を備えた高周波伝送線路において、上記電極は請求項１４又は１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなることを特徴とする。
【００２８】本発明に係る請求項１８記載の高周波伝送線路は、互いに平行な上面と下面を有する誘電体と、上記誘電体の上面に所定の幅と所定の長さに形成され、かつ薄膜導体と薄膜誘電体シートが最下層が薄膜導体になるように交互に積層されて構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる第１の電極と、上記誘電体の下面に上記第１の電極と対向するように上記所定の幅と上記所定の長さに形成され、かつ薄膜導体と薄膜誘電体シートが最上層が薄膜導体になるように交互に積層されて構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる第２の電極とからなることを特徴とする。
【００２９】請求項１９記載の高周波伝送線路は、請求項１８に記載の高周波伝送線路において、上記第２の電極が形成された上記誘電体の下面に形成された誘電体膜と、上記誘電体膜の下面に形成されたアース導体膜とをさらに備えたことを特徴とする。
【００３０】請求項２０記載の高周波伝送線路は、請求項１８記載の高周波伝送線路において、上記誘電体と上記薄膜誘電体シートはともに可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする。
【００３１】請求項２１記載の高周波伝送線路は、請求項１９記載の高周波伝送線路において、上記誘電体と上記薄膜誘電体シートと上記誘電体膜とはともに可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする。
【００３２】
【作用】本発明に係る請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、上記第１の工程で各下面に薄膜導体が形成された複数の薄膜誘電体シートは、上記第２の工程で上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように重ねられて固定される。そして、上記第３の工程で、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと各薄膜導体とがともに接合されて、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。
【００３３】請求項２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法においてさらに、上記第１の工程に先立って上記各薄膜誘電体シートは厚さ方向に所定の圧力で押圧される。これによって、上記各薄膜誘電体シートの厚さは所定のより薄い膜厚になるように予め形成される。
【００３４】請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第３の工程で、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とがともに熱圧着されることにより接合される。これによって、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。
【００３５】請求項４記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第３の工程で、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とがともに焼成されることにより接合される。これによって、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。
【００３６】請求項５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートは可とう性を有する誘電体からなる。
【００３７】請求項６記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、請求項１乃至５のうちの１つに記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第１の工程で、上記各薄膜導体は上記薄膜誘電体シートの幅方向の両側から所定の距離だけ内側の幅方向の中央部に形成される。
【００３８】本発明に係る請求項７記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法においては、第１の工程で各下面に薄膜導体が形成された複数の薄膜誘電体シートは、第２の工程で上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に別の誘電体上に積層されるように重ねられて上記別の誘電体上に固定される。そして、第３の工程で、上記固定された別の誘電体と上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とは同時に焼成することによって、上記別の誘電体と上記薄膜導体と上記薄膜誘電体シートとがともに接合されて上記別の誘電体上に高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。
【００３９】本発明に係る請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法においては、第１の工程で、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有しかつ薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとが、上記誘電体フィルムの薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するように交互に繰り返し重ねられて固定される。第２の工程で、上記各誘電体フィルムの薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とはそれぞれ接合されかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とはそれぞれ接合されることにより、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとがともに接合されて高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。
【００４０】請求項９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第１の工程に先立って、上記薄膜誘電体シートは厚さ方向に所定の圧力で押圧されて所定のより薄い膜厚になるように形成される。
【００４１】請求項１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、請求項８又は９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第２の工程で、上記固定された上記薄膜誘電体シートと上記誘電体フィルムと上記薄膜導体とがともに熱圧着されることにより接合される。
【００４２】請求項１１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項８、９又は１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートは可とう性を有する誘電体からなる。
【００４３】本発明に係る請求項１２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法においては、第１の工程で、複数の薄膜誘電体シートの各一方の面に、上記各薄膜誘電体シートの長手方向の所定の幅だけ上記各薄膜誘電体シートの表面が露出した切り取り線部と上記各薄膜誘電体シートの長手方向に所定の長さを有する薄膜導体とが上記各薄膜誘電体シートの長手方向に交互に形成される。第２の工程で、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように、かつ上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、上記切り取り線部と上記薄膜導体とがそれぞれ形成された複数の薄膜誘電体シートは重ねられて固定される。上記第２の工程の後に、第３の工程で、互いに接する上記各薄膜導体と上記各薄膜誘電体シートの他方の面とが接合されることにより、上記薄膜導体と上記切り取り線部とがそれぞれ形成された複数の薄膜誘電体シートはともに接合されて高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。上記第２の工程と上記第３の工程との間又は上記第３の工程の後に、第４の工程で、表面に露出した上記薄膜誘電体シートの他方の面上であって、上記切り取り線部と対向する面の幅方向の略中央部に切り取り線が印刷される。
【００４４】本発明に係る請求項１３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法においては、第１の工程で、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有する誘電体フィルムの長手方向に所定の長さを有する薄膜導体と上記誘電体フィルムの一方の面の長手方向の所定の幅だけ上記誘電体フィルムの一方の面の表面が露出した切り取り線部とが上記誘電体フィルムの一方の面の長手方向に交互に予め形成された複数の誘電体フィルムとは、上記誘電体フィルムの一方の面に形成された薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するようにかつ上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、交互に繰り返し重ねられて固定される。上記第１の工程の後に、第２の工程で、上記各誘電体フィルムの一方の面に形成された薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜導体と上記切り取り線部とがそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムと上記薄膜誘電体シートとがともに接合されて高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。上記第１の工程と上記第２の工程との間又は上記第２の工程の後に、第３の工程で、表面に露出した上記誘電体フィルムの他方の面上であって、上記切り取り線部と対向する面の幅方向の略中央部に切り取り線が印刷される。
【００４５】本発明に係る請求項１４記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートは、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が設けられた上記複数の薄膜誘電体シートが重ねて接合されて、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されて形成される。
【００４６】本発明に係る請求項１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートは、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有しかつ薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとが、上記誘電体フィルムの薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するように交互に繰り返し重ねられて、上記各誘電体フィルムの薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とがそれぞれ接合されかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とがそれぞれ接合されることにより、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとがともに接合されて形成される。
【００４７】請求項１６記載の高周波共振器は、所定の形状を有する電極を備えた高周波共振器において、上記電極は請求項１４又は１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる。
【００４８】請求項１７記載の高周波伝送線路は、所定の形状を有する電極を備えた高周波伝送線路において、上記電極は請求項１４又は１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる。
【００４９】本発明に係る請求項１８記載の高周波伝送線路は、互いに平行な上面と下面を有する誘電体が、上記誘電体の上面に所定の幅と所定の長さに形成され、かつ薄膜導体と薄膜誘電体シートが最下層が薄膜導体になるように交互に積層されて構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる第１の電極と、上記誘電体の下面に上記第１の電極と対向するように上記所定の幅と上記所定の長さに形成されかつ薄膜導体と薄膜誘電体シートが最上層が薄膜導体になるように交互に積層されて構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる第２の電極とによって挟設されて構成される。
【００５０】請求項１９記載の高周波伝送線路は、請求項１８に記載の高周波伝送線路において、上記第２の電極が形成された上記誘電体の下面に形成された誘電体膜と、上記誘電体膜の下面に形成されたアース導体膜とをさらに備える。
【００５１】請求項２０記載の高周波伝送線路は、請求項１８記載の高周波伝送線路において、上記誘電体と上記薄膜誘電体シートはともに可とう性を有する誘電体からなる。
【００５２】請求項２１記載の高周波伝送線路は、請求項１９記載の高周波伝送線路において、上記誘電体と上記薄膜誘電体シートと上記誘電体膜とはともに可とう性を有する誘電体からなる。
【００５３】
【実施例】以下図面を用いて本発明に係る実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１，１ａ，２，２ａの製造装置について説明する。
＜第１の実施例＞図１は、本発明に係る第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置を示す斜視図である。当該製造装置は、薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３と薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３とが交互に積層されることによって構成される高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置であって、真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３と固定機４０と熱圧着装置Ｈ１を備えて構成され、以下の特徴を有する。当該製造装置において、真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３は、それぞれ薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３を長手方向に一定の走行速度ｖで走行させながら、真空蒸着方法によって薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３の各下面にそれぞれ薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３を形成する。固定機４０は、薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３と薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３とが交互に積層されるようにそれぞれ薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３が下面に形成された薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａを、上記走行速度ｖで走行させながらともに重ね合わせて所定の温度で所定の圧力を厚さ方向に印加することによって固定する。そして、熱圧着機Ｈ１は、互いに接する上記固定した薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３と薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３とを上記走行速度ｖで走行させながらともに熱圧着方法によって接合して、高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を形成する。
【００５４】以下図面を用いて第１の実施例の製造装置について詳細に説明する。図１の製造装置において、可とう性を有する誘電体からなる薄膜誘電体シートＤ１は、所定の比誘電率と所定の膜厚を有しかつ幅方向の長さに比べて長手方向に十分長いシート状に形成され、シート供給装置Ｋ１のドラム（図示せず。）に巻かれた状態で格納される。シート供給装置Ｋ１は、上記薄膜誘電体シートＤ１を一定の走行速度ｖで真空蒸着装置Ｓ１に供給する。上記真空蒸着装置Ｓ１は、上記薄膜誘電体シートＤ１を一定の走行速度ｖで走行させながら薄膜誘電体シートＤ１の下面に所定の膜厚を有する薄膜導体Ｅ１を真空蒸着方法を用いて形成して、薄膜誘電体シートＤ１と薄膜導体Ｅ１とからなる薄膜誘電体シートＤ１ａをシート走行機１０へ供給する。上記シート走行機１０は、互いに対向する円周面で上記薄膜誘電体シートＤ１ａを挟んで走行させるローラＲ１１とローラＲ１２とからなる。上記ローラＲ１１と上記ローラＲ１２は、同じ直径を有しかつ軸方向の長さが上記薄膜誘電体シートＤ１の幅より長い互いに等しい長さを有する円柱形状にてなり、それぞれの軸方向が上記薄膜誘電体シートＤ１ａの幅方向と平行になるように、かつ上記ローラＲ１１の円周面が上記薄膜誘電体シートＤ１ａの上面に接し上記ローラＲ１２の円周面が上記薄膜誘電体シートＤ１ａの下面に接するように設けられる。そして、ローラＲ１１とローラＲ１２は、互いに逆方向に一定の角速度で回転することによって間に挟んだ薄膜誘電体シートＤ１ａを一定の走行速度ｖで固定機４０に向けて走行させる。
【００５５】また同様に、可とう性を有する誘電体からなる薄膜誘電体シートＤ２は、上記薄膜誘電体シートＤ１と同じ幅と同じ長さを有しかつ所定の膜厚を有するシート状に形成され、シート供給装置Ｋ２のドラム（図示せず。）に巻かれた状態で格納される。ここで、上記薄膜誘電体シートＤ２は、上記薄膜誘電体シートＤ１と同じ材料からなる。シート供給装置Ｋ２は、上記薄膜誘電体シートＤ２を一定の走行速度ｖで真空蒸着装置Ｓ２に供給する。上記真空蒸着装置Ｓ２は、上記薄膜誘電体シートＤ２を一定の走行速度ｖで走行させながら薄膜誘電体シートＤ２の下面に所定の膜厚を有する薄膜導体Ｅ２を真空蒸着方法を用いて形成して、薄膜誘電体シートＤ２と薄膜導体Ｅ２とからなる薄膜誘電体シートＤ２ａをシート走行機２０へ供給する。上記シート走行機２０は、シート走行機１０と同様に、互いに対向する円周面で上記薄膜誘電体シートＤ２ａを挟んで走行させるローラＲ２１とローラＲ２２とからなり、ローラＲ２１とローラＲ２２は、互いに逆方向に一定の角速度で回転することによって間に挟んだ薄膜誘電体シートＤ２ａを一定の走行速度ｖで固定機４０に向けて走行させる。
【００５６】さらに、可とう性を有する誘電体からなる薄膜誘電体シートＤ３は、上記薄膜誘電体シートＤ１と同じ幅と同じ長さを有しかつ所定の膜厚を有するシート状に形成され、シート供給装置Ｋ３のドラム（図示せず。）に巻かれた状態で格納される。ここで、上記薄膜誘電体シートＤ３は、上記薄膜誘電体シートＤ１と同じ材料からなる。シート供給装置Ｋ３は、上記薄膜誘電体シートＤ３を一定の走行速度ｖで真空蒸着装置Ｓ３に供給する。上記真空蒸着装置Ｓ３は、上記薄膜誘電体シートＤ３を一定の走行速度ｖで走行させながら薄膜誘電体シートＤ３の下面に所定の膜厚を有する薄膜導体Ｅ３を真空蒸着方法を用いて形成して、薄膜誘電体シートＤ３と薄膜導体Ｅ３とからなる薄膜誘電体シートＤ３ａをシート走行機３０へ供給する。上記シート走行機３０は、上記シート走行機１０と同様に、互いに対向する円周面で上記薄膜誘電体シートＤ２ａを挟んで走行させるローラＲ３１とローラＲ３２とからなり、ローラＲ３１とローラＲ３２は、互いに逆方向に一定の角速度で回転することによって間に挟んだ薄膜誘電体シートＤ３ａを一定の走行速度ｖで固定機４０に向けて走行させる。
【００５７】固定機４０は、ローラＲ４１とローラＲ４２とからなり、それぞれの対向する円周面で薄膜誘電体シートＤ１ａと薄膜誘電体シートＤ２ａと薄膜誘電体シートＤ３ａとを重ね合わせて固定して熱圧着機Ｈ１に供給する。ローラＲ４１，Ｒ４２は、同じ直径を有しかつ軸方向の長さが上記薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａの幅より長い等しい長さを有する円柱形状にてなり、それぞれの軸が上記薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａの幅方向と平行になるように、かつ上記ローラＲ４１の円周面が上記薄膜誘電体シートＤ１ａの上面に接し上記ローラＲ４２の円周面が上記薄膜誘電体シートＤ３ａの下面に接するように設けられる。そして、ローラＲ４１とローラＲ４２は、それぞれの対向する円周面で薄膜誘電体シートＤ１ａと薄膜誘電体シートＤ２ａと薄膜誘電体シートＤ３ａとを、所定の温度でかつ厚さ方向に所定の圧力で押さえるように挟んで互いに逆方向に回転して、上記薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａをともに重ね合わせて固定して上記所定の走行速度ｖで熱圧着機Ｈ１に供給する。上記熱圧着機Ｈ１は、上記固定された薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａをともに所定の走行速度ｖで走行させながら所定の圧力と温度で押さえる熱圧着方法によって接合して、高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を形成する。
【００５８】以上のように構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置において、シート状の薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３は、一定の走行速度ｖでそれぞれシート供給装置Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３からそれぞれ真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３に供給される。上記真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３に供給された薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３の各下面の全面には、それぞれ上記真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ１，Ｓ３によって真空蒸着方法を用いて所定の膜厚の薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３が形成され、それぞれ上記薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３が形成された薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａは、それぞれ上記シート走行機１０，２０，３０を介して固定機４０に供給される。
【００５９】上記固定機４０に供給された誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａは、ともに上記固定機４０によって重ね合わされて固定され熱圧着機Ｈ１に供給される。そして、上記重ね合わされた誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａは、上記熱圧着機Ｈ１によって、熱圧着方法により所定の圧力と温度でともに接合されて、薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４と誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３とが交互に積層された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１が形成される。
【００６０】以上のように形成された上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１は、上記薄膜誘電体シートＤ２が上記薄膜導体Ｅ１と上記薄膜導体Ｅ２とによって挟設されて構成されたＴＥＭモード伝送線路と、上記薄膜誘電体シートＤ３が上記薄膜導体Ｅ２と上記薄膜導体Ｅ３とによって挟設されて構成されたＴＥＭモード伝送線路とが積層されてなる。そして、上記薄膜誘電体シートＤ２，Ｄ３の膜厚は、上記積層された２つのＴＥＭ伝送線路を伝搬する各ＴＥＭ波の位相速度が互いに実質的に一致するように設定され、上記薄膜導体Ｅ２，Ｅ３の膜厚は、上記２つのＴＥＭモード伝送線路の電磁界が互いに結合するように使用周波数の表皮深さδ0よりも薄く設定される。ここで、好ましくは薄膜導体Ｅ１の膜厚は薄膜導体Ｅ２の膜厚より厚くなるようにかつ薄膜導体Ｅ２の膜厚は薄膜導体Ｅ３の膜厚より厚くなるように設定される。
【００６１】以上のように構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１においては、上記２つのＴＥＭモード伝送線路を高周波で励振したとき、薄膜導体Ｅ２は、隣接する薄膜誘電体Ｄ２，Ｄ３を介して入射した高周波電力の一部を、それぞれ薄膜導体Ｅ３と薄膜導体Ｅ１に透過するとともに、当該高周波電力の一部を薄膜誘電体Ｄ２，Ｄ３を介してそれぞれ薄膜導体Ｅ１と薄膜導体Ｅ３に反射している。そして、各薄膜誘電体シートＤ２，Ｄ３内ではそれぞれ、反射波と透過波とが共振しており、上記導体薄膜Ｅ２の上側表面近傍と下側表面近傍では互いに逆方向の対面する２つの高周波電流が流れている。すなわち、薄膜導体Ｅ２の膜厚が表皮深さδ0よりも薄いために、対面する上記互いに逆方向の２つの高周波電流は干渉し、一部を残して互いに相殺される。このように、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１では、隣接する薄膜誘電体Ｄ２，Ｄ３の共振エネルギー又は伝送エネルギーが薄膜導体Ｅ２を介して互いに結合する。一方、薄膜誘電体Ｄ２，Ｄ３には、電磁界によって変位電流が生じ、隣接する薄膜導体Ｅ１，Ｅ３の表面に高周波電流を生じさせる。
【００６２】さらに、上記２つのＴＥＭモード伝送線路を伝搬する各ＴＥＭ波の位相速度を互いに実質的に一致させているので、各薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３に流れる高周波電流は実質的に互いに同位相となる。これによって、各薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３において同位相で流れる高周波電流は、実効的に表皮深さδ0を増大させる。言い換えれば、高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１は、より小さい表面抵抗Ｒsを有することになる。
【００６３】また、高周波電磁界結合型薄膜積層電極１において、上層の薄膜導体ほど、膜厚が厚くなるように構成すると、表皮深さδ0をより増大させるように、言い換えればより小さい表面抵抗になるように動作する。
【００６４】以上のように、第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置では、薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３の下面に直接薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３を形成した後、熱圧着しているので、高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１をシート状にして製造することができる。また、上記熱圧着機Ｈ１を用いて構成しているので、樹脂の誘電体からなる薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３を用いて高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を製造することができる。
【００６５】以上のように、第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置では、下面にそれぞれ薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３が形成された薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａをともに重ね合わせて固定してともに熱圧着しているので、薄膜導体と薄膜誘電体とを交互に繰り返し形成して重ねる従来例に比較して少ない工程数で高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を製造することができる。また、上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３及び薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａを、長手方向に一定の走行速度ｖで走行させながら、蒸着、固定、熱圧着の各工程を行っているので、長手方向に長い高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を製造することができる。
【００６６】以上の第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置では、上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３に可とう性を有する誘電体を使用しかつ薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３が薄いので、可とう性を有する高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を製造することができる。
【００６７】以上の第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置では、それぞれ予め傷やピンホールのないように製造及び検査された薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３を用い、かつ薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３を各層ごとに欠陥のないように形成することにより薄膜導体間における短絡のない信頼性の高い高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を製造することができる。
【００６８】以上の第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置を用いて作成される高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１は、所定の比誘電率と所定の膜厚を有する薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３と所定の膜厚に形成された薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３とが交互に形成されることによって、各薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３にそれぞれ高周波電流が流れるように構成され、実質的に表皮深さδ0を深くすることができるので、表面抵抗を大幅に低減することができる。
【００６９】以上の第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置を用いて作成される高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１は、可とう性を有する薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３と薄い薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３とによって構成されるので、所定の形状に容易に切断したり打ち抜いたりすることができる。
【００７０】図２は、図１の製造装置によって作成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を用いて構成したＴＭ110二重モード誘電体共振器５０を示す斜視図である。ＴＭ110二重モード誘電体共振器５０は、誘電体の共振器ケース５２の外表面に、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１からなる外導体５４を備えた正方筒形状の共振器ケース５２内の中央部に、共振器ケース５２と一体成型された十字形状の誘電体５１が設けられて構成されている。
【００７１】上記ＴＭ110二重モード誘電体共振器５０の外導体５４は、所定の幅と長さに切断された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を上記共振器ケース５２の外表面に沿って巻いて接着剤などで接着することにより形成される。ここで、スリット５３は、上記共振器ケース５２の外表面が所定の幅で露出した高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の継ぎ目であって、電磁界的にオープン、すなわち上記誘電体共振器５０が共振したときに磁界が存在しない部分に設けられる。以上のように、図２のＴＭ110二重モード誘電体共振器５０は、高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を用いて上記外導体５４が形成され、上記外導体５４の高周波帯における表皮深さδ0を実質的に深くすることができ、表面抵抗を大幅に低減することができるので、当該誘電体共振器の損失を低下させ無負荷Ｑを増大させることができる。さらに、本発明に係る第１の実施例の製造方法を用いて製造された可とう性を有する高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を、上記共振器ケース５２の外表面に沿って巻いて接着することにより形成できるので、スパッタリング方法等を用いた従来例の形成方法に比較して安価に形成することができる。
【００７２】図３は、図１の製造装置を用いて作成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を用いて構成した高周波フレキシブルケーブル６０を示す斜視図である。図４は、図３の高周波フレキシブルケーブル６０のＡ−Ａ’線における断面図である。以下、図３と図４を参照して上記高周波フレキシブルケーブル６０の構成を説明する。
【００７３】まず、幅方向に比べて十分長い長手方向の長さを有し、例えばポリイミドフィルムなどからなる可とう性を有する誘電体シート６５の上面に、誘電体シート６５の長手方向の一端から他端までホット電極６１ａ乃至６４ａが等間隔でかつ互いに平行になるように形成される一方、上記誘電体シート６５の下面に、誘電体シート６５の長手方向の一端から他端まで上記ホット電極６１ａ乃至６４ａに対向して、それぞれアース電極６１ｂ乃至６４ｂが形成される。ここで、上記ホット電極６１ａ乃至６４ａは、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を上記誘電体シート６５の幅より十分小さい所定の幅に切断したものを用いて、互いに所定の間隔でかつ互いに平行になるように接着剤などを用いて上記誘電体シート６５の上面に接着されて形成される。また、上記アース電極６１ｂ乃至６４ｂは、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を上記ホット電極６１ａ乃至６４ａと同じ幅に切断したものを用いて、接着剤などを用いて上記誘電体シート６５の下面に接着されて形成される。以上のようにして、誘電体シート６５をホット電極６１ａとアース電極６１ｂとによって挟設することによって信号伝送線路Ｌ６１が構成され、同様に誘電体シート６５をホット電極６２ａとアース電極６２ｂとによって挟設することにより信号伝送線路Ｌ６２が構成され、誘電体シート６５をホット電極６３ａとアース電極６３ｂとによって挟設することによって信号伝送線路Ｌ６３が構成され、誘電体シート６５をホット電極６４ａとアース電極６４ｂとによって挟設することによって信号伝送線路Ｌ６４が構成される。
【００７４】また、上記誘電体シート６５の下面と上記アース電極６１ｂ乃至６４ｂの下面と側面とには、誘電体膜６９が形成され、さらに上記誘電体膜６９の下面にアース導体膜６８が形成される。さらに、上記誘電体シート６５の一端と他端には、それぞれ上記信号伝送線路Ｌ６１乃至Ｌ６４を外部装置を接続するためのコネクタ６６が接続される。
【００７５】以上のように構成された上記高周波フレキシブルケーブル６０は、上記誘電体シート６５の上面と下面に上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１が所定の幅に切断されたものを用いて、互いに所定の間隔でかつ互いに平行になるように接着剤などを用いて接着されて形成される。従って、上記高周波フレキシブルケーブル６０は、各信号伝送線路Ｌ６１乃至Ｌ６４毎に薄膜導体と薄膜誘電体とを交互に繰り返し積層することによって構成される場合に比較して簡単な工程で安価に製造することができる。
【００７６】また、以上のように構成された上記高周波フレキシブルケーブル６０は、高周波帯における表面抵抗が小さい上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を用いて上記ホット電極６１ａ乃至６４ａと上記アース電極６１ｂ乃至６４ｂが形成され、上記ホット電極６１ａ乃至６４ａと上記アース電極６１ｂ乃至６４ｂの高周波帯における表皮深さを実質的に深くすることができ、表面抵抗を大幅に低減することができるので、上記信号伝送線路Ｌ６１乃至Ｌ６４の伝送損失を小さくすることができる。
【００７７】さらに、以上のように構成された上記高周波フレキシブルケーブル６０は、上記誘電体膜６９と上記アース導体膜６８を備えているので、上記信号伝送線路Ｌ６１乃至Ｌ６４を通過する高周波信号が、上記信号伝送線路Ｌ６１乃至Ｌ６４から漏洩することを防ぐことができる。
【００７８】＜第２の実施例＞図５は本発明に係る第２の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２の製造装置を示す斜視図である。図５において、図１の第１の実施例と同じ物は同じ符号を付している。第２の実施例の製造装置は、第１の実施例の製造装置の中の固定機４０と熱圧着機Ｈ１を備えて構成され、第１の実施例と異なるところは、第１の実施例の真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を備えずに、誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３の下面に予めそれぞれ薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３が形成された誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３を用いて高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２を製造することである。
【００７９】第２の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極２の製造装置において、固定機４０は、薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２と、誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３の下面に予めそれぞれ所定の膜厚の薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３が形成された誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３とを、上記薄膜導体Ｅ１１が上記薄膜誘電体シートＤ１１の上面に接するようにかつ上記薄膜導体Ｅ１２が上記薄膜誘電体シートＤ１２の上面に接するように交互に繰り返し重ねて固定して、上記熱圧着機Ｈ１に供給する。熱圧着機Ｈ１は、互いに接する上記薄膜導体Ｅ１１と上記薄膜誘電体シートＤ１１の上面、互いに接する上記薄膜誘電体シート１１の下面と上記誘電体フィルムＰ１２の上面、互いに接する上記薄膜導体Ｅ１２と上記誘電体シートＤ１２の上面、及び上記薄膜誘電体シートＤ１２の下面と上記誘電体フィルムＰ１３の上面とをそれぞれ所定の温度と所定の圧力で接合する熱圧着方法によって接合することにより高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２を形成する。
【００８０】ここで、上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２は、所定の膜厚を有しかつ所定の幅と上記幅より十分長い所定の長さを有する。また、上記誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３は、上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２より小さい比誘電率を有しかつ上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２より薄く形成された例えばポリエチレンテレフタレートのフィルムなどからなり、上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２と同じ幅と同じ長さを有する。
【００８１】以上の第２の実施例の製造装置によって製造された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２は、上記誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３の誘電率が、上記薄膜誘電体Ｄ１１，Ｄ１２に比べて小さくかつ上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２より薄いので、実質的に上記薄膜誘電体Ｄ１１，Ｄ１２と上記薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３とが交互に積層された高周波電磁界結合型薄膜積層電極と同様の動作をする。また、上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２の膜厚と上記薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３の膜厚は、それぞれ第１の実施例における薄膜誘電体シートＤ２，Ｄ３の膜厚と薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の膜厚と同様に設定される。従って、第２の実施例の製造装置によれば、表面抵抗の小さい高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２を製造することができ、第１の実施例の製造装置と同様の作用効果を有する。
【００８２】また、以上の第２の実施例の製造装置においては、第１の実施例の真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３に代えて、薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３がそれぞれ予め形成された誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３を用いているので、工程数を少なくすることができる。
【００８３】＜第３の実施例＞図６は、本発明に係る第３の実施例の製造方法を用いて作成した同軸ケーブルの斜視図である。本発明に係る第３の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極の製造方法は、芯材２２や誘電体樹脂２３の外周面に薄膜導体Ｅ２１，Ｅ２２，Ｅ２３，Ｅ２１ａ，Ｅ２２ａ，Ｅ２３ａと薄膜誘電体シートＤ２１，Ｄ２２，Ｄ２１ａ，Ｄ２２ａとを交互に巻いて形成して固定することを特徴とする。
【００８４】図６に示すように、円柱形状の導体又は誘電体などからなる芯材２２の外周面に上記電磁界結合型薄膜積層電極を形成する方法であって、上記円柱形状の芯材２２の外周面に薄膜導体Ｅ２１，Ｅ２２，Ｅ２３と薄膜誘電体シートＤ２１，Ｄ２２とを交互に巻き付けることにより積層して形成した後、上記薄膜導体と薄膜誘電体シートのうちの最上層の薄膜導体Ｅ２３の外周面上に所定の誘電率を有しかつ誘電体損失の小さい円筒形状の誘電体樹脂２３を形成した後、上記誘電体樹脂２３の外周面上から熱圧着することにより交互に巻き付けた薄膜導体Ｅ２１，Ｅ２２，Ｅ２３と薄膜誘電体シートＤ２１，Ｄ２２とを固定する。ここで、上記誘電体樹脂２３は径方向の厚さが均一になるように形成される。図６の同軸ケーブルでは、さらに誘電体樹脂２３の円周面に薄膜導体Ｅ２１ａ，Ｅ２２ａ，Ｅ２３ａと薄膜誘電体シートＤ２１ａ，Ｄ２２ａとを交互に巻き付けることにより積層して形成した後、絶縁体である被覆材２４を形成して熱圧着することにより交互に巻き付けた薄膜導体Ｅ２１ａ，Ｅ２２ａ，Ｅ２３ａと薄膜誘電体シートＤ２１ａ，Ｄ２２ａとを固定する。ここで、薄膜誘電体シートＤ２１，２２，Ｄ２１ａ，Ｄ２２ａの膜厚と薄膜導体Ｅ２１，Ｅ２２，Ｅ２３，Ｅ２１ａ，Ｅ２２ａ，Ｅ２３ａの膜厚は、それぞれ第１の実施例の薄膜誘電体シートＤ２，Ｄ３の膜厚と薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の膜厚と同様に設定される。
【００８５】以上の第３の実施例の製造方法によると、例えば円柱状の導体又は誘電体などからなる芯材２２の外周面に、上記電磁界結合型薄膜積層電極を形成することができる。
【００８６】以上のように構成された図６の同軸ケーブルは、中心導体７０と外導体８０とを高周波電磁界結合型薄膜積層電極を用いて構成し、中心導体７０と外導体８０の高周波帯における表皮深さを実質的に大きくすることができ表面抵抗を小さくすることができるので、従来の同軸ケーブルに比較して伝送損失を小さくすることができる。
【００８７】＜変形例＞以下、変形例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造装置（図示せず。）について説明する。第１の変形例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１ａの製造装置は、第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置に比較して以下の点が異なる。
（１）真空蒸着装置Ｓ１は、図７（ａ）に示すように、薄膜誘電体シートＤ１の下面に上記薄膜誘電体シートＤ１の長手方向の所定の幅だけ上記薄膜誘電体シートＤ１の表面が露出した切り取り線部４ａと、上記薄膜誘電体シートＤ１の長手方向に所定の長さを有する薄膜導体Ｅ１とを、上記薄膜誘電体シートＤ１の長手方向に交互に形成する。同様に真空蒸着装置Ｓ２は、図７（ｂ）に示すように薄膜誘電体シートＤ２の下面に切り取り線部４ｂと薄膜導体Ｅ２とを交互に形成し、真空蒸着装置Ｓ３は、図７（ｃ）に示すように薄膜誘電体シートＤ３の下面に切り取り線部４ｃと薄膜導体Ｅ３とを交互に形成する。ここで、各薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の長手方向の長さは互いに等しくなるように、かつ上記切り取り線部４ａ，４ｂ，４ｃの（薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３の長手方向に平行な）幅は、互いに等しくなるように形成される。
（２）固定機４０は、図８に示すように上記切り取り線部４ａ，４ｂ，４ｃが厚さ方向に互いに対向するように、薄膜誘電体シートＤ１の下面に薄膜導体Ｅ１と切り取り線部４ａが形成された薄膜誘電体シートＤ１０ａと、薄膜誘電体シートＤ２の下面に薄膜導体Ｅ２と切り取り線部４ｂが形成された薄膜誘電体シートＤ２０ａと、薄膜誘電体シートＤ３の下面に薄膜導体Ｅ３と切り取り線部４ｃが形成された薄膜誘電体シートＤ３０ａとを固定する。
（３）上記固定機４０と上記熱圧着器Ｈ１の間又は上記熱圧着器Ｈ１の後に、表面に露出した上記薄膜誘電体シートＤ１の上面であって、上記切り取り線部４ａに対向する切り取り線部表面４の幅方向の略中央部に、上記薄膜誘電体シートＤ１の幅方向に対して平行に所望の切断位置を示す切り取り線３を印刷する印刷機（図示せず。）を備える。
【００８８】以上のように構成された第１の変形例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１ａの製造装置によって製造された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１ａでは、図８に示すように、上記切り取り線３の下方には切り取り線部４ａ，４ｂ，４ｃが形成され薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の形成されていないので、上記切り取り線３に沿って上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１ａを切断したとき、切断面において隣接する薄膜導体Ｅ１と薄膜導体Ｅ２間又は薄膜導体Ｅ２と薄膜導体Ｅ３間が短絡することを防ぐことができる。また、切り取り線３に沿って切断することにより所望の切断位置で切断することができる。
【００８９】また、第２の変形例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａの製造装置（図示せず。）は、第２の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２の製造装置に比較して、以下の点が異なる。
（１）誘電体フィルムＰ１１の下面には、図９（ａ）に示すように上記誘電体フィルムＰ１１の長手方向に所定の長さを有する薄膜導体Ｅ１１と、上記誘電体フィルムの下面の長手方向の所定の幅だけ上記誘電体フィルムＰ１１の下面が表面に露出した切り取り線部５ａとが、上記誘電体フィルムＰ１１の下面の長手方向に交互に形成されている。同様に、誘電体フィルムＰ１２の下面には、図９（ｃ）に示すように、薄膜導体Ｅ１２と切り取り線部５ｂとが交互に形成され、誘電体フィルムＰ１３の下面には、図９（ｅ）に示すように、薄膜導体Ｅ１３と切り取り線部５ｃが交互に形成されている。
（２）上記固定機４０は、上記誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３と薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２とを、上記薄膜導体Ｅ１１、Ｅ１２がそれぞれ上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２の上面に接するように、かつ上記切り取り線部５ａ，５ｂ，５ｃが厚さ方向に互いに対向するように交互に繰り返し重ねて固定する。
（３）上記固定機４０と上記熱圧着器Ｈ１の間又は上記熱圧着器Ｈ１の後に、表面に露出した上記誘電体フィルムの他方の面上であって、上記切り取り線部５ａに対向する切り取り線部表面５の幅方向の略中央部に所望の切断位置を示す切り取り線３を印刷する印刷機（図示せず。）を備える。以上のように構成された第２の変形例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａの製造装置（図示せず。）は、第１の変形例の真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を備えずに、予め誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３の各下面に薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３と切り取り線部５ａ，５ｂ，５ｃとが交互に形成された誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３を用いて高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａを製造することを特徴とする。
【００９０】以上のように構成された第２の変形例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａの製造装置によって製造された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａでは、図１０に示すように、上記切り取り線３の下方には切り取り線部５ａ，５ｂ，５ｃが形成され薄膜導体Ｅ１１，Ｅ２，Ｅ３が形成されていないので、上記切り取り線３に沿って上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａを切断したとき、切断面において隣接する薄膜導体Ｅ１１と薄膜導体Ｅ１２間又は薄膜導体Ｅ１２と薄膜導体Ｅ１３間が短絡することを防ぐことができる。また、切り取り線３に沿って切断することにより所望の切断位置で切断することができる。
【００９１】以上の第１と第２の実施例の製造装置では、熱圧着機Ｈ１を用いて熱圧着をすることによって薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａ又は薄膜誘電体シートＤ１１ａ，Ｄ１２ａ，Ｄ１３ａを接合したが、本発明はこれに限らず、焼成炉を用いて焼成することにより接合してもよい。以上のように構成することにより、薄膜誘電体シートにＳｉＯ2などのセラミックス材料を用いた高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを製造することができる。この場合、薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ１１，Ｄ１２は、粉末のＳｉＯ2などのセラミックス材料を所定の樹脂の中に分散させてシート状に形成したグリーンシートからなる。
【００９２】また、上記電磁界結合型薄膜積層電極シートを、例えば誘電体基板上に直接、薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａを重ねて形成して上記誘電体基板とともに焼成するようにしてもよい。以上のように構成することにより焼成前の基板と同時に焼成することができ製造工程数を少なくすることができる。
【００９３】以上の第１と第２の実施例の製造装置及び第１と第２の変形例の製造装置では、予め所定の膜厚になるように形成された薄膜誘電体シートを用いたが、本発明はこれに限らず、予め所定の膜厚より厚く形成した薄膜誘電体シートを用い、上記固定機４０に供給される前に又は上記固定機４０によって重ね合わせるときに厚さ方向に所定の圧力で押さえることにより、上記薄膜誘電体シートを薄くして、上記薄膜誘電体シートが所定の膜厚になるようしてもよい。以上のように構成することによって、所望の膜厚より厚い薄膜誘電体シートを使用できるので、上記製造装置における上記薄膜誘電体シートの取り扱いを容易にすることができる。
【００９４】以上の第１と第２の実施例の製造装置では、上記薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３と上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ１１，Ｄ１２とが同じ幅になるように形成したが、本発明はこれに限らず、上記薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３の幅をそれぞれ上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ１１，Ｄ１２の幅より狭くなるように、上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ１１，Ｄ１２の略中央部に形成して、上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ１１，Ｄ１２の両側から所定の幅だけ上記薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３が形成されない部分を設けるようにしてもよい。以上のように構成することにより、例えば上記薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａが幅方向にずれて重ねられた場合、又は上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２と上記誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３とが幅方向にずれて重ねられた場合に発生することがある上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１，２の両側面での薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３間の導通を防ぐことができる。以上の第２の実施例の製造装置では、上記薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３を上記誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３とともに積層したが、本発明はこれに限らず、上記固定機４０によって固定する前に、上記薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３をそれぞれ上記誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３からはがして、上記薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３と上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２とを交互に積層するようにしてもよい。
【００９５】以上の第３の実施例の製造方法では、上記誘電体樹脂２３及び上記被覆材２４を形成した後、熱圧着することにより固定するようにしたが、本発明はこれに限らず、誘電体樹脂２３又は上記被覆材２４として樹脂を封入する方法、若しくは、樹脂２３又は被覆材２４を形成した後、樹脂２３又は被覆材２４によって囲まれた部分を減圧することにより固定する方法を用いてもよい。またこのとき減圧した後に熱圧着するようにしてもよい。
【００９６】以上の第３の実施例の製造方法では、上記誘電体樹脂２３及び上記被覆材２４を形成した後、熱圧着することにより固定するようにしたが、本発明はこれに限らず、上記誘電体樹脂２３及び上記被覆材２４に、室温より高い所定の温度で非可逆的に収縮する熱収縮性を有する樹脂をさらに被覆して、当該樹脂に上記所定の温度になるように熱を加えて、当該樹脂を収縮させることにより、上記交互に形成された薄膜導体Ｅ２１，Ｅ２２，Ｅ２３，Ｅ２１ａ，Ｅ２２ａ，Ｅ２３ａと薄膜誘電体シートＤ２１，Ｄ２２，Ｄ２１ａ，Ｄ２２ａとを上記樹脂によって固定するようにしてもよい。また、上記誘電体樹脂２３及び上記被覆材２４そのものに熱収縮性を有する樹脂を用いてもよい。
【００９７】以上の第３の実施例の製造方法では、例えば円柱状の芯材２２の外周面に、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極を形成したが、本発明はこれに限らず、四角柱、六角柱などの他の形状の芯材の外表面に形成してもよい。
【００９８】
【発明の効果】本発明に係る請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、上記第１の工程で各下面に薄膜導体が形成された複数の薄膜誘電体シートを、第２の工程で上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように重ねて固定し、第３の工程で接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成するので、高周波電磁界結合型薄膜積層電極をシート状に製造することができ、かつ各下面に薄膜導体が形成された複数の薄膜誘電体シートを重ねてともに接合しているので薄膜導体と薄膜誘電体とを交互に繰り返し形成して積層する従来例に比較して安価に製造することができる。
【００９９】請求項２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記各薄膜誘電体シートを所定のより薄い膜厚になるように厚さ方向に所定の圧力で押圧して上記第１の工程に先立って予め形成する工程を含んでいるので、所望の膜厚より厚い薄膜誘電体シートを使用でき薄膜誘電体シートの取り扱いを容易にすることができる。
【０１００】請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第３の工程は、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに熱圧着することにより接合するので、上記薄膜誘電体シートに樹脂からなる誘電体を用いることができる。
【０１０１】請求項４記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第３の工程は、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに焼成することにより接合するので、上記薄膜誘電体シートにセラミック材料を用いることができる。
【０１０２】請求項５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートは、可とう性を有する誘電体からなるので、可とう性を有する高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを製造することができる。
【０１０３】請求項６記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項１乃至５のうちの１つに記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第１の工程は、上記各薄膜導体を上記薄膜誘電体シートの幅方向の両側から所定の距離だけ内側の幅方向の中央部に形成するので、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの側面における上記薄膜導体間の導通を防ぐことができる。
【０１０４】本発明に係る請求項７記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に別の誘電体上に積層されるように、第１の工程で下面に薄膜導体が形成された上記複数の薄膜誘電体シートを、第２の工程で重ねて上記別の誘電体上に固定して、第３の工程で同時に焼成することによって、上記別の誘電体と上記薄膜導体と上記薄膜誘電体シートとをともに接合する。これによって、上記別の誘電体上に直接高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成することができる。
【０１０５】本発明に係る請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、第１の工程で、上記薄膜誘電体シートと、薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとを、交互に繰り返し重ねて固定し、第２の工程で、ともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する。これによって、高周波電磁界結合型薄膜積層電極をシート状に製造することができ、かつ各下面に薄膜導体が形成された複数の薄膜誘電体シートを重ねてともに接合しているので薄膜導体と薄膜誘電体とを交互に繰り返し形成して積層する従来例に比較して安価に製造することができる。
【０１０６】請求項９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートを所定のより薄い膜厚になるように厚さ方向に所定の圧力で押圧して上記第１の工程に先立って予め形成する工程をさらに含むので、所望の膜厚より厚い薄膜誘電体シートを使用でき薄膜誘電体シートの取り扱いを容易にすることができる。
【０１０７】請求項１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項８又は９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第２の工程は、上記固定された上記薄膜誘電体シートと上記誘電体フィルムと上記薄膜導体とをともに熱圧着することにより接合するので、上記薄膜誘電体シートに樹脂からなる誘電体を用いることができる。
【０１０８】請求項１１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項８、９又は１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートは可とう性を有する誘電体からなるので、可とう性を有する高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを製造することができる。
【０１０９】本発明に係る請求項１２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、第１の工程で形成された上記切り取り線部が、第２の工程で、厚さ方向に互いに対向するように重ねて固定され、第３の工程で接合される。そして、第４の工程で、上記切り取り線を印刷しているので、上記切り取り線に沿って切断することにより薄膜導体が形成されていない部分で切断することができ、切断面において薄膜導体間の短絡を防ぐことができる高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを製造することができる。
【０１１０】本発明に係る請求項１３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、第１の工程で、上記薄膜誘電体シートと、上記切り取り線部が一方の面に予め形成された複数の誘電体フィルムとが、上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、交互に繰り返し重ねられて固定され、第２の工程で接合されて、第４の工程で切り取り線が印刷される。従って、上記切り取り線に沿って切断することにより薄膜導体が形成されていない部分で切断することができ、切断面において薄膜導体間の短絡を防ぐことができる高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを製造することができる。
【０１１１】本発明に係る請求項１４記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートによれば、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が設けられた上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて接合することにより、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されて形成されるので、シート状の高周波電磁界結合型薄膜積層電極を提供することができる。
【０１１２】本発明に係る請求項１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートによれば、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとを、交互に繰り返し重ねて、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとをともに接合することにより形成されるので、シート状の高周波電磁界結合型薄膜積層電極を提供することができる。
【０１１３】本発明に係る請求項１６記載の高周波共振器によれば、表面抵抗の小さい高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる電極を備えているので、一層の導体層からなる電極を備えた高周波共振器に比較して無負荷Ｑを高くすることができる。
【０１１４】本発明に係る請求項１７及び１８記載の高周波伝送線路によれば、表面抵抗の小さい高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる電極を備えているので、一層の導体層からなる電極を備えた高周波伝送線路に比較して伝送損失を小さくすることができる。
【０１１５】請求項１９記載の高周波伝送線路によれば、請求項１８に記載の高周波伝送線路において、上記第２の電極が形成された上記誘電体の下面に形成された誘電体膜と、上記誘電体膜の下面に形成されたアース導体膜とをさらに備えているので、上記高周波伝送線路を通過する高周波信号が上記高周波伝送線路から漏洩することを防ぐことができる。
【０１１６】請求項２０記載の高周波伝送線路は、請求項１８記載の高周波伝送線路において、上記誘電体と上記薄膜誘電体シートはともに可とう性を有する誘電体からなるので、上記高周波伝送線路は可とう性を有する。
【０１１７】請求項２１記載の高周波伝送線路は、請求項１９記載の高周波伝送線路において、上記誘電体と上記薄膜誘電体シートと上記誘電体膜とはともに可とう性を有する誘電体からなるので、上記高周波伝送線路は可とう性を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置を示す斜視図である。
【図２】 図１の製造装置を用いて製造した高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を用いて共振器ケース５２の外導体５４を形成したＴＭ110二重モード型誘電体共振器５０を示す斜視図である。
【図３】 図１の製造装置を用いて製造した高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を用いて構成した高周波フレキシブルケーブル６０の斜視図である。
【図４】 図３の高周波フレキシブルケーブル６０のＡ−Ａ’における断面図である。
【図５】 本発明に係る第２の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２の製造装置を示す斜視図である。
【図６】 本発明に係る第３の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法を用いて製造した同軸線路の斜視図である。
【図７】 （ａ）は第１の変形例における薄膜誘電体シートＤ１０ａの断面図であり、（ｂ）は第１の変形例における薄膜誘電体シートＤ２０ａの断面図であり、（ｃ）は第１の変形例における薄膜誘電体シートＤ３０ａの断面図である。
【図８】 第１の変形例の製造装置によって製造された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１ａの斜視図である。
【図９】 （ａ）は第２の変形例における薄膜導体Ｅ１１が形成された誘電体フィルムＰ１１の断面図であり、（ｂ）は第２の変形例における薄膜誘電体シートＤ１１の断面図であり、（ｃ）は第２の変形例における薄膜導体Ｅ１２が形成された誘電体フィルムＰ１２の断面図であり、（ｄ）は第２の変形例における薄膜誘電体シートＤ１２の断面図であり、（ｅ）は第２の変形例における薄膜導体Ｅ１３が形成された誘電体フィルムＰ１３の断面図である。
【図１０】 第２の変形例の製造装置よって製造された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａの斜視図である。
【符号の説明】
１，２…高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート、
Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａ，Ｄ１０ａ，Ｄ１１，Ｄ１２，Ｄ２０ａ，Ｄ２１，Ｄ２２，Ｄ２１ａ，Ｄ２２ａ，Ｄ３０ａ…薄膜誘電体シート、
Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３，Ｅ２１，Ｅ２２，Ｅ２３，Ｅ２１ａ，Ｅ２２ａ，Ｅ２３ａ…薄膜導体、
Ｈ１…熱圧着機、
Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３…シート供給装置、
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３…真空蒸着装置、
３…切り取り線、
４，５…切り取り線部表面、
４ａ，４ｂ，４ｃ，５ａ，５ｂ，５ｃ…切り取り線部、
１０，２０，３０…シート走行機、
Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ２１，Ｒ２２，Ｒ３１，Ｒ３２，Ｒ４１，Ｒ４２…ローラ、
Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３…誘電体フィルム、
２２…芯材、
２３…誘電体樹脂、
２４…被覆材、
４０…固定機、
５０…ＴＭ110二重モード型誘電体共振器、
５１…誘電体、
５２…共振器ケース、
５３…スリット、
５４，８０…外導体、
６０…高周波フレキシブルケーブル、
６１ａ，６２ａ，６３ａ，６４ａ…ホット電極、
６１ｂ，６２ｂ，６３ｂ，６４ｂ…アース電極、
Ｌ６１，Ｌ６２，Ｌ６３，Ｌ６４…信号伝送線路、
６５…誘電体シート、
６８…アース導体膜、
６９…誘電体膜、
７０…中心導体。
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波、準ミリ波又はミリ波の高周波帯において用いられる高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法、高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート、高周波共振器及び高周波伝送線路に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子部品の小型化が進む中、マイクロ波、準ミリ波又はミリ波などの高周波帯においても高い誘電率を有する材料を用いることによって、デバイスの小型化がなされてきた。デバイスの小型化を行う場合、誘電率を大きくする一方、相似形として形状を縮小させると、原理的には体積の立方根に反比例してエネルギー損失が増大するという問題点があった。
【０００３】高周波デバイスのエネルギー損失は、表皮効果による導体損失と、誘電体材料による誘電体損失とに大きく分類することができる。近年の誘電体材料は、高誘電率なものでも低損失な特性を有する材料が実用化されており、従って、誘電体損失よりも導体損失の方が回路の無負荷Ｑにおいて支配的である。また、高周波帯においては、表皮効果によって、導体表面において高周波電流が集中するために、導体表面に近づくほど表面抵抗（表皮抵抗ともいう。）が大きくなり、導体損失（ジュール損失）が大きくなる。
【０００４】本出願人は、高周波帯における表面抵抗を低減できる高周波電磁界結合型薄膜積層電極を特願平５−２１２６３０で提案した。当該高周波電磁界結合型薄膜積層電極は、所定の膜厚を有する薄膜導体と所定の膜厚を有する薄膜誘電体とを交互に積層することによって、少なくとも１つのＴＥＭ伝送線路が積層されてなる。そして、各薄膜誘電体の膜厚と誘電率を所定の値に設定し、かつ各薄膜導体の膜厚を、使用周波数の表皮深さδ０よりも薄い所定の膜厚に設定することによって、各薄膜導体にそれぞれ高周波電流が流れるように構成して、高周波帯における表皮効果を大幅に抑圧することにより、高周波帯における表面抵抗を低減するものである。
【０００５】上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極は、誘電体基板の上面に、例えばスパッタリング装置等の薄膜形成装置を用いて上記薄膜導体と上記薄膜誘電体を交互に形成することにより作成される。ここで、上記誘電体基板は、例えばアルミナの単結晶であるサファイアにてなり、上記薄膜導体は、例えばＣｕ、Ａｇ、Ａｌ又はＡｕなどの電気的導電性を有する導体にてなり、上記薄膜誘電体は、例えばＳｉＯ２にてなる。上述の方法によって上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極を上記誘電体基板上に所定の形状になるように形成する場合は、各薄膜導体と各薄膜誘電体を形成する毎にエッチング等の方法を用いて、各薄膜導体と各薄膜誘電体を所定の形状にした後、上層の薄膜導体又は薄膜誘電体を形成して、さらにエッチング方法を用いて当該薄膜導体又は薄膜誘電体を所定の形状に形成する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の製造方法では、誘電体基板の上面に薄膜導体を直接形成しているので、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極をシート状にして製造することはできなかった。また、従来のスパッタリング装置等を用いて上記薄膜導体と薄膜誘電体を１層毎に形成する方法では、各層を順次形成しているので、製造工程数が多くなって製造コストが高くなるという問題点があった。またさらに、上記電磁界結合型薄膜積層電極を所定の形状になるように形成しようとすると、薄膜導体又は薄膜誘電体を１層形成する毎に、エッチング工程が必要になり、製造工程数はさらに多くなって、製造コストがさらに高くなるという問題点があった。
【０００７】本発明の第１の目的は、高周波電磁界結合型薄膜積層電極をシート状に製造でき、かつ安価に製造することができる高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法を提供することにある。
【０００８】本発明の第２の目的は、切断したときに切断面において薄膜導体間での短絡を防ぐことができる高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法を提供することにある。
【０００９】本発明の第３の目的は、高周波電磁界結合型薄膜積層電極をシート状に形成した高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを提供することにある。
【００１０】本発明の第４の目的は、無負荷Ｑが高くできる高周波共振器と安価でかつ伝送損失の小さい高周波伝送線路を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明に係る請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、複数の薄膜誘電体シートの各下面に薄膜導体を形成する第１の工程と、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が形成された上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて固定する第２の工程と、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程とを含むことを特徴とする。
【００１２】請求項２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法においてさらに、上記各薄膜誘電体シートを所定のより薄い膜厚になるように厚さ方向に所定の圧力で押圧して上記第１の工程に先立って予め形成する工程をさらに含むことを特徴とする。
【００１３】請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第３の工程は、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに熱圧着することにより接合する工程であることを特徴とする。
【００１４】請求項４記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第３の工程は、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに焼成することにより接合する工程であることを特徴とする。
【００１５】請求項５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートは、可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする。
【００１６】請求項６記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項１乃至５のうちの１つに記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第１の工程は、上記各薄膜導体を上記薄膜誘電体シートの幅方向の両側から所定の距離だけ内側の幅方向の中央部に形成することを特徴とする。
【００１７】本発明に係る請求項７記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、複数の薄膜誘電体シートの各下面に薄膜導体を形成する第１の工程と、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に別の誘電体上に積層されるように、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が形成された上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて上記別の誘電体上に固定する第２の工程と、上記固定された別の誘電体と上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とを同時に焼成することによって、上記別の誘電体と上記薄膜導体と上記薄膜誘電体シートとをともに接合して上記別の誘電体上に高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程とを含むことを特徴とする。
【００１８】本発明に係る請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有しかつ薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとを、上記誘電体フィルムの薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するように交互に繰り返し重ねて固定する第１の工程と、上記各誘電体フィルムの薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第２の工程とを含むことを特徴とする。
【００１９】請求項９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートを所定のより薄い膜厚になるように厚さ方向に所定の圧力で押圧して上記第１の工程に先立って予め形成する工程をさらに含むことを特徴とする。
【００２０】請求項１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項８又は９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第２の工程は、上記固定された上記薄膜誘電体シートと上記誘電体フィルムと上記薄膜導体とをともに熱圧着することにより接合する工程であることを特徴とする。
【００２１】請求項１１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項８、９又は１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートは可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする。
【００２２】本発明に係る請求項１２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、複数の薄膜誘電体シートの各一方の面に、上記各薄膜誘電体シートの長手方向の所定の幅だけ上記各薄膜誘電体シートの表面が露出した切り取り線部と上記各薄膜誘電体シートの長手方向に所定の長さを有する薄膜導体とを上記各薄膜誘電体シートの長手方向に交互に形成する第１の工程と、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように、かつ上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、上記切り取り線部と上記薄膜導体とがそれぞれ形成された複数の薄膜誘電体シートを重ねて固定する第２の工程と、上記第２の工程の後に、互いに接する上記各薄膜導体と上記各薄膜誘電体シートの他方の面とを接合することにより、上記薄膜導体と上記切り取り線部とがそれぞれ形成された複数の薄膜誘電体シートをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程と、上記第２の工程と上記第３の工程との間又は上記第３の工程の後に、表面に露出した上記薄膜誘電体シートの他方の面上であって、上記切り取り線部と対向する面の幅方向の略中央部に切り取り線を印刷する第４の工程とを含むことを特徴とする。
【００２３】本発明に係る請求項１３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有する誘電体フィルムの長手方向に所定の長さを有する薄膜導体と上記誘電体フィルムの一方の面の長手方向の所定の幅だけ上記誘電体フィルムの一方の面の表面が露出した切り取り線部とが上記誘電体フィルムの一方の面の長手方向に交互に予め形成された複数の誘電体フィルムとを、上記誘電体フィルムの一方の面に形成された薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するようにかつ上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、交互に繰り返し重ねて固定する第１の工程と、上記第１の工程の後に、上記各誘電体フィルムの一方の面に形成された薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜導体と上記切り取り線部とがそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムと上記薄膜誘電体シートとをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第２の工程と、上記第１の工程と上記第２の工程との間又は上記第２の工程の後に、表面に露出した上記誘電体フィルムの他方の面上であって、上記切り取り線部と対向する面の幅方向の略中央部に切り取り線を印刷する第３の工程とを含むことを特徴とする。
【００２４】本発明に係る請求項１４記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートは、複数の薄膜誘電体シートの各下面に薄膜導体を設け、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が設けられた上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて接合することにより、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とを交互に積層してなることを特徴とする。
【００２５】本発明に係る請求項１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートは、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有しかつ薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとを、上記誘電体フィルムの薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するように交互に繰り返し重ねて、上記各誘電体フィルムの薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとをともに接合してなることを特徴とする。
【００２６】本発明に係る請求項１６記載の高周波共振器は、所定の形状を有する電極を備えた高周波共振器において、上記電極は請求項１４又は１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなることを特徴とする。
【００２７】本発明に係る請求項１７記載の高周波伝送線路は、所定の形状を有する電極を備えた高周波伝送線路において、上記電極は請求項１４又は１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなることを特徴とする。
【００２８】本発明に係る請求項１８記載の高周波伝送線路は、互いに平行な上面と下面を有する誘電体と、上記誘電体の上面に所定の幅と所定の長さに形成され、かつ薄膜導体と薄膜誘電体シートが最下層が薄膜導体になるように交互に積層されて構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる第１の電極と、上記誘電体の下面に上記第１の電極と対向するように上記所定の幅と上記所定の長さに形成され、かつ薄膜導体と薄膜誘電体シートが最上層が薄膜導体になるように交互に積層されて構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる第２の電極とからなることを特徴とする。
【００２９】請求項１９記載の高周波伝送線路は、請求項１８に記載の高周波伝送線路において、上記第２の電極が形成された上記誘電体の下面に形成された誘電体膜と、上記誘電体膜の下面に形成されたアース導体膜とをさらに備えたことを特徴とする。
【００３０】請求項２０記載の高周波伝送線路は、請求項１８記載の高周波伝送線路において、上記誘電体と上記薄膜誘電体シートはともに可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする。
【００３１】請求項２１記載の高周波伝送線路は、請求項１９記載の高周波伝送線路において、上記誘電体と上記薄膜誘電体シートと上記誘電体膜とはともに可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする。
【００３２】
【作用】本発明に係る請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、上記第１の工程で各下面に薄膜導体が形成された複数の薄膜誘電体シートは、上記第２の工程で上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように重ねられて固定される。そして、上記第３の工程で、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと各薄膜導体とがともに接合されて、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。
【００３３】請求項２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法においてさらに、上記第１の工程に先立って上記各薄膜誘電体シートは厚さ方向に所定の圧力で押圧される。これによって、上記各薄膜誘電体シートの厚さは所定のより薄い膜厚になるように予め形成される。
【００３４】請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第３の工程で、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とがともに熱圧着されることにより接合される。これによって、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。
【００３５】請求項４記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第３の工程で、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とがともに焼成されることにより接合される。これによって、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。
【００３６】請求項５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートは可とう性を有する誘電体からなる。
【００３７】請求項６記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、請求項１乃至５のうちの１つに記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第１の工程で、上記各薄膜導体は上記薄膜誘電体シートの幅方向の両側から所定の距離だけ内側の幅方向の中央部に形成される。
【００３８】本発明に係る請求項７記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法においては、第１の工程で各下面に薄膜導体が形成された複数の薄膜誘電体シートは、第２の工程で上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に別の誘電体上に積層されるように重ねられて上記別の誘電体上に固定される。そして、第３の工程で、上記固定された別の誘電体と上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とは同時に焼成することによって、上記別の誘電体と上記薄膜導体と上記薄膜誘電体シートとがともに接合されて上記別の誘電体上に高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。
【００３９】本発明に係る請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法においては、第１の工程で、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有しかつ薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとが、上記誘電体フィルムの薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するように交互に繰り返し重ねられて固定される。第２の工程で、上記各誘電体フィルムの薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とはそれぞれ接合されかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とはそれぞれ接合されることにより、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとがともに接合されて高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。
【００４０】請求項９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第１の工程に先立って、上記薄膜誘電体シートは厚さ方向に所定の圧力で押圧されて所定のより薄い膜厚になるように形成される。
【００４１】請求項１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法では、請求項８又は９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第２の工程で、上記固定された上記薄膜誘電体シートと上記誘電体フィルムと上記薄膜導体とがともに熱圧着されることにより接合される。
【００４２】請求項１１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、請求項８、９又は１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートは可とう性を有する誘電体からなる。
【００４３】本発明に係る請求項１２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法においては、第１の工程で、複数の薄膜誘電体シートの各一方の面に、上記各薄膜誘電体シートの長手方向の所定の幅だけ上記各薄膜誘電体シートの表面が露出した切り取り線部と上記各薄膜誘電体シートの長手方向に所定の長さを有する薄膜導体とが上記各薄膜誘電体シートの長手方向に交互に形成される。第２の工程で、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように、かつ上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、上記切り取り線部と上記薄膜導体とがそれぞれ形成された複数の薄膜誘電体シートは重ねられて固定される。上記第２の工程の後に、第３の工程で、互いに接する上記各薄膜導体と上記各薄膜誘電体シートの他方の面とが接合されることにより、上記薄膜導体と上記切り取り線部とがそれぞれ形成された複数の薄膜誘電体シートはともに接合されて高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。上記第２の工程と上記第３の工程との間又は上記第３の工程の後に、第４の工程で、表面に露出した上記薄膜誘電体シートの他方の面上であって、上記切り取り線部と対向する面の幅方向の略中央部に切り取り線が印刷される。
【００４４】本発明に係る請求項１３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法においては、第１の工程で、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有する誘電体フィルムの長手方向に所定の長さを有する薄膜導体と上記誘電体フィルムの一方の面の長手方向の所定の幅だけ上記誘電体フィルムの一方の面の表面が露出した切り取り線部とが上記誘電体フィルムの一方の面の長手方向に交互に予め形成された複数の誘電体フィルムとは、上記誘電体フィルムの一方の面に形成された薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するようにかつ上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、交互に繰り返し重ねられて固定される。上記第１の工程の後に、第２の工程で、上記各誘電体フィルムの一方の面に形成された薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜導体と上記切り取り線部とがそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムと上記薄膜誘電体シートとがともに接合されて高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートが形成される。上記第１の工程と上記第２の工程との間又は上記第２の工程の後に、第３の工程で、表面に露出した上記誘電体フィルムの他方の面上であって、上記切り取り線部と対向する面の幅方向の略中央部に切り取り線が印刷される。
【００４５】本発明に係る請求項１４記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートは、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が設けられた上記複数の薄膜誘電体シートが重ねて接合されて、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されて形成される。
【００４６】本発明に係る請求項１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートは、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有しかつ薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとが、上記誘電体フィルムの薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するように交互に繰り返し重ねられて、上記各誘電体フィルムの薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とがそれぞれ接合されかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とがそれぞれ接合されることにより、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとがともに接合されて形成される。
【００４７】請求項１６記載の高周波共振器は、所定の形状を有する電極を備えた高周波共振器において、上記電極は請求項１４又は１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる。
【００４８】請求項１７記載の高周波伝送線路は、所定の形状を有する電極を備えた高周波伝送線路において、上記電極は請求項１４又は１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる。
【００４９】本発明に係る請求項１８記載の高周波伝送線路は、互いに平行な上面と下面を有する誘電体が、上記誘電体の上面に所定の幅と所定の長さに形成され、かつ薄膜導体と薄膜誘電体シートが最下層が薄膜導体になるように交互に積層されて構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる第１の電極と、上記誘電体の下面に上記第１の電極と対向するように上記所定の幅と上記所定の長さに形成されかつ薄膜導体と薄膜誘電体シートが最上層が薄膜導体になるように交互に積層されて構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる第２の電極とによって挟設されて構成される。
【００５０】請求項１９記載の高周波伝送線路は、請求項１８に記載の高周波伝送線路において、上記第２の電極が形成された上記誘電体の下面に形成された誘電体膜と、上記誘電体膜の下面に形成されたアース導体膜とをさらに備える。
【００５１】請求項２０記載の高周波伝送線路は、請求項１８記載の高周波伝送線路において、上記誘電体と上記薄膜誘電体シートはともに可とう性を有する誘電体からなる。
【００５２】請求項２１記載の高周波伝送線路は、請求項１９記載の高周波伝送線路において、上記誘電体と上記薄膜誘電体シートと上記誘電体膜とはともに可とう性を有する誘電体からなる。
【００５３】
【実施例】以下図面を用いて本発明に係る実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１，１ａ，２，２ａの製造装置について説明する。
＜第１の実施例＞図１は、本発明に係る第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置を示す斜視図である。当該製造装置は、薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３と薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３とが交互に積層されることによって構成される高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置であって、真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３と固定機４０と熱圧着装置Ｈ１を備えて構成され、以下の特徴を有する。当該製造装置において、真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３は、それぞれ薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３を長手方向に一定の走行速度ｖで走行させながら、真空蒸着方法によって薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３の各下面にそれぞれ薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３を形成する。固定機４０は、薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３と薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３とが交互に積層されるようにそれぞれ薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３が下面に形成された薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａを、上記走行速度ｖで走行させながらともに重ね合わせて所定の温度で所定の圧力を厚さ方向に印加することによって固定する。そして、熱圧着機Ｈ１は、互いに接する上記固定した薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３と薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３とを上記走行速度ｖで走行させながらともに熱圧着方法によって接合して、高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を形成する。
【００５４】以下図面を用いて第１の実施例の製造装置について詳細に説明する。図１の製造装置において、可とう性を有する誘電体からなる薄膜誘電体シートＤ１は、所定の比誘電率と所定の膜厚を有しかつ幅方向の長さに比べて長手方向に十分長いシート状に形成され、シート供給装置Ｋ１のドラム（図示せず。）に巻かれた状態で格納される。シート供給装置Ｋ１は、上記薄膜誘電体シートＤ１を一定の走行速度ｖで真空蒸着装置Ｓ１に供給する。上記真空蒸着装置Ｓ１は、上記薄膜誘電体シートＤ１を一定の走行速度ｖで走行させながら薄膜誘電体シートＤ１の下面に所定の膜厚を有する薄膜導体Ｅ１を真空蒸着方法を用いて形成して、薄膜誘電体シートＤ１と薄膜導体Ｅ１とからなる薄膜誘電体シートＤ１ａをシート走行機１０へ供給する。上記シート走行機１０は、互いに対向する円周面で上記薄膜誘電体シートＤ１ａを挟んで走行させるローラＲ１１とローラＲ１２とからなる。上記ローラＲ１１と上記ローラＲ１２は、同じ直径を有しかつ軸方向の長さが上記薄膜誘電体シートＤ１の幅より長い互いに等しい長さを有する円柱形状にてなり、それぞれの軸方向が上記薄膜誘電体シートＤ１ａの幅方向と平行になるように、かつ上記ローラＲ１１の円周面が上記薄膜誘電体シートＤ１ａの上面に接し上記ローラＲ１２の円周面が上記薄膜誘電体シートＤ１ａの下面に接するように設けられる。そして、ローラＲ１１とローラＲ１２は、互いに逆方向に一定の角速度で回転することによって間に挟んだ薄膜誘電体シートＤ１ａを一定の走行速度ｖで固定機４０に向けて走行させる。
【００５５】また同様に、可とう性を有する誘電体からなる薄膜誘電体シートＤ２は、上記薄膜誘電体シートＤ１と同じ幅と同じ長さを有しかつ所定の膜厚を有するシート状に形成され、シート供給装置Ｋ２のドラム（図示せず。）に巻かれた状態で格納される。ここで、上記薄膜誘電体シートＤ２は、上記薄膜誘電体シートＤ１と同じ材料からなる。シート供給装置Ｋ２は、上記薄膜誘電体シートＤ２を一定の走行速度ｖで真空蒸着装置Ｓ２に供給する。上記真空蒸着装置Ｓ２は、上記薄膜誘電体シートＤ２を一定の走行速度ｖで走行させながら薄膜誘電体シートＤ２の下面に所定の膜厚を有する薄膜導体Ｅ２を真空蒸着方法を用いて形成して、薄膜誘電体シートＤ２と薄膜導体Ｅ２とからなる薄膜誘電体シートＤ２ａをシート走行機２０へ供給する。上記シート走行機２０は、シート走行機１０と同様に、互いに対向する円周面で上記薄膜誘電体シートＤ２ａを挟んで走行させるローラＲ２１とローラＲ２２とからなり、ローラＲ２１とローラＲ２２は、互いに逆方向に一定の角速度で回転することによって間に挟んだ薄膜誘電体シートＤ２ａを一定の走行速度ｖで固定機４０に向けて走行させる。
【００５６】さらに、可とう性を有する誘電体からなる薄膜誘電体シートＤ３は、上記薄膜誘電体シートＤ１と同じ幅と同じ長さを有しかつ所定の膜厚を有するシート状に形成され、シート供給装置Ｋ３のドラム（図示せず。）に巻かれた状態で格納される。ここで、上記薄膜誘電体シートＤ３は、上記薄膜誘電体シートＤ１と同じ材料からなる。シート供給装置Ｋ３は、上記薄膜誘電体シートＤ３を一定の走行速度ｖで真空蒸着装置Ｓ３に供給する。上記真空蒸着装置Ｓ３は、上記薄膜誘電体シートＤ３を一定の走行速度ｖで走行させながら薄膜誘電体シートＤ３の下面に所定の膜厚を有する薄膜導体Ｅ３を真空蒸着方法を用いて形成して、薄膜誘電体シートＤ３と薄膜導体Ｅ３とからなる薄膜誘電体シートＤ３ａをシート走行機３０へ供給する。上記シート走行機３０は、上記シート走行機１０と同様に、互いに対向する円周面で上記薄膜誘電体シートＤ２ａを挟んで走行させるローラＲ３１とローラＲ３２とからなり、ローラＲ３１とローラＲ３２は、互いに逆方向に一定の角速度で回転することによって間に挟んだ薄膜誘電体シートＤ３ａを一定の走行速度ｖで固定機４０に向けて走行させる。
【００５７】固定機４０は、ローラＲ４１とローラＲ４２とからなり、それぞれの対向する円周面で薄膜誘電体シートＤ１ａと薄膜誘電体シートＤ２ａと薄膜誘電体シートＤ３ａとを重ね合わせて固定して熱圧着機Ｈ１に供給する。ローラＲ４１，Ｒ４２は、同じ直径を有しかつ軸方向の長さが上記薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａの幅より長い等しい長さを有する円柱形状にてなり、それぞれの軸が上記薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａの幅方向と平行になるように、かつ上記ローラＲ４１の円周面が上記薄膜誘電体シートＤ１ａの上面に接し上記ローラＲ４２の円周面が上記薄膜誘電体シートＤ３ａの下面に接するように設けられる。そして、ローラＲ４１とローラＲ４２は、それぞれの対向する円周面で薄膜誘電体シートＤ１ａと薄膜誘電体シートＤ２ａと薄膜誘電体シートＤ３ａとを、所定の温度でかつ厚さ方向に所定の圧力で押さえるように挟んで互いに逆方向に回転して、上記薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａをともに重ね合わせて固定して上記所定の走行速度ｖで熱圧着機Ｈ１に供給する。上記熱圧着機Ｈ１は、上記固定された薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａをともに所定の走行速度ｖで走行させながら所定の圧力と温度で押さえる熱圧着方法によって接合して、高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を形成する。
【００５８】以上のように構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置において、シート状の薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３は、一定の走行速度ｖでそれぞれシート供給装置Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３からそれぞれ真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３に供給される。上記真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３に供給された薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３の各下面の全面には、それぞれ上記真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ１，Ｓ３によって真空蒸着方法を用いて所定の膜厚の薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３が形成され、それぞれ上記薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３が形成された薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａは、それぞれ上記シート走行機１０，２０，３０を介して固定機４０に供給される。
【００５９】上記固定機４０に供給された誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａは、ともに上記固定機４０によって重ね合わされて固定され熱圧着機Ｈ１に供給される。そして、上記重ね合わされた誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａは、上記熱圧着機Ｈ１によって、熱圧着方法により所定の圧力と温度でともに接合されて、薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４と誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３とが交互に積層された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１が形成される。
【００６０】以上のように形成された上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１は、上記薄膜誘電体シートＤ２が上記薄膜導体Ｅ１と上記薄膜導体Ｅ２とによって挟設されて構成されたＴＥＭモード伝送線路と、上記薄膜誘電体シートＤ３が上記薄膜導体Ｅ２と上記薄膜導体Ｅ３とによって挟設されて構成されたＴＥＭモード伝送線路とが積層されてなる。そして、上記薄膜誘電体シートＤ２，Ｄ３の膜厚は、上記積層された２つのＴＥＭ伝送線路を伝搬する各ＴＥＭ波の位相速度が互いに実質的に一致するように設定され、上記薄膜導体Ｅ２，Ｅ３の膜厚は、上記２つのＴＥＭモード伝送線路の電磁界が互いに結合するように使用周波数の表皮深さδ0よりも薄く設定される。ここで、好ましくは薄膜導体Ｅ１の膜厚は薄膜導体Ｅ２の膜厚より厚くなるようにかつ薄膜導体Ｅ２の膜厚は薄膜導体Ｅ３の膜厚より厚くなるように設定される。
【００６１】以上のように構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１においては、上記２つのＴＥＭモード伝送線路を高周波で励振したとき、薄膜導体Ｅ２は、隣接する薄膜誘電体Ｄ２，Ｄ３を介して入射した高周波電力の一部を、それぞれ薄膜導体Ｅ３と薄膜導体Ｅ１に透過するとともに、当該高周波電力の一部を薄膜誘電体Ｄ２，Ｄ３を介してそれぞれ薄膜導体Ｅ１と薄膜導体Ｅ３に反射している。そして、各薄膜誘電体シートＤ２，Ｄ３内ではそれぞれ、反射波と透過波とが共振しており、上記導体薄膜Ｅ２の上側表面近傍と下側表面近傍では互いに逆方向の対面する２つの高周波電流が流れている。すなわち、薄膜導体Ｅ２の膜厚が表皮深さδ0よりも薄いために、対面する上記互いに逆方向の２つの高周波電流は干渉し、一部を残して互いに相殺される。このように、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１では、隣接する薄膜誘電体Ｄ２，Ｄ３の共振エネルギー又は伝送エネルギーが薄膜導体Ｅ２を介して互いに結合する。一方、薄膜誘電体Ｄ２，Ｄ３には、電磁界によって変位電流が生じ、隣接する薄膜導体Ｅ１，Ｅ３の表面に高周波電流を生じさせる。
【００６２】さらに、上記２つのＴＥＭモード伝送線路を伝搬する各ＴＥＭ波の位相速度を互いに実質的に一致させているので、各薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３に流れる高周波電流は実質的に互いに同位相となる。これによって、各薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３において同位相で流れる高周波電流は、実効的に表皮深さδ0を増大させる。言い換えれば、高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１は、より小さい表面抵抗Ｒsを有することになる。
【００６３】また、高周波電磁界結合型薄膜積層電極１において、上層の薄膜導体ほど、膜厚が厚くなるように構成すると、表皮深さδ0をより増大させるように、言い換えればより小さい表面抵抗になるように動作する。
【００６４】以上のように、第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置では、薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３の下面に直接薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３を形成した後、熱圧着しているので、高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１をシート状にして製造することができる。また、上記熱圧着機Ｈ１を用いて構成しているので、樹脂の誘電体からなる薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３を用いて高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を製造することができる。
【００６５】以上のように、第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置では、下面にそれぞれ薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３が形成された薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａをともに重ね合わせて固定してともに熱圧着しているので、薄膜導体と薄膜誘電体とを交互に繰り返し形成して重ねる従来例に比較して少ない工程数で高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を製造することができる。また、上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３及び薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａを、長手方向に一定の走行速度ｖで走行させながら、蒸着、固定、熱圧着の各工程を行っているので、長手方向に長い高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を製造することができる。
【００６６】以上の第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置では、上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３に可とう性を有する誘電体を使用しかつ薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３が薄いので、可とう性を有する高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を製造することができる。
【００６７】以上の第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置では、それぞれ予め傷やピンホールのないように製造及び検査された薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３を用い、かつ薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３を各層ごとに欠陥のないように形成することにより薄膜導体間における短絡のない信頼性の高い高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を製造することができる。
【００６８】以上の第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置を用いて作成される高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１は、所定の比誘電率と所定の膜厚を有する薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３と所定の膜厚に形成された薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３とが交互に形成されることによって、各薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３にそれぞれ高周波電流が流れるように構成され、実質的に表皮深さδ0を深くすることができるので、表面抵抗を大幅に低減することができる。
【００６９】以上の第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置を用いて作成される高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１は、可とう性を有する薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３と薄い薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３とによって構成されるので、所定の形状に容易に切断したり打ち抜いたりすることができる。
【００７０】図２は、図１の製造装置によって作成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を用いて構成したＴＭ110二重モード誘電体共振器５０を示す斜視図である。ＴＭ110二重モード誘電体共振器５０は、誘電体の共振器ケース５２の外表面に、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１からなる外導体５４を備えた正方筒形状の共振器ケース５２内の中央部に、共振器ケース５２と一体成型された十字形状の誘電体５１が設けられて構成されている。
【００７１】上記ＴＭ110二重モード誘電体共振器５０の外導体５４は、所定の幅と長さに切断された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を上記共振器ケース５２の外表面に沿って巻いて接着剤などで接着することにより形成される。ここで、スリット５３は、上記共振器ケース５２の外表面が所定の幅で露出した高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の継ぎ目であって、電磁界的にオープン、すなわち上記誘電体共振器５０が共振したときに磁界が存在しない部分に設けられる。以上のように、図２のＴＭ110二重モード誘電体共振器５０は、高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を用いて上記外導体５４が形成され、上記外導体５４の高周波帯における表皮深さδ0を実質的に深くすることができ、表面抵抗を大幅に低減することができるので、当該誘電体共振器の損失を低下させ無負荷Ｑを増大させることができる。さらに、本発明に係る第１の実施例の製造方法を用いて製造された可とう性を有する高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を、上記共振器ケース５２の外表面に沿って巻いて接着することにより形成できるので、スパッタリング方法等を用いた従来例の形成方法に比較して安価に形成することができる。
【００７２】図３は、図１の製造装置を用いて作成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を用いて構成した高周波フレキシブルケーブル６０を示す斜視図である。図４は、図３の高周波フレキシブルケーブル６０のＡ−Ａ’線における断面図である。以下、図３と図４を参照して上記高周波フレキシブルケーブル６０の構成を説明する。
【００７３】まず、幅方向に比べて十分長い長手方向の長さを有し、例えばポリイミドフィルムなどからなる可とう性を有する誘電体シート６５の上面に、誘電体シート６５の長手方向の一端から他端までホット電極６１ａ乃至６４ａが等間隔でかつ互いに平行になるように形成される一方、上記誘電体シート６５の下面に、誘電体シート６５の長手方向の一端から他端まで上記ホット電極６１ａ乃至６４ａに対向して、それぞれアース電極６１ｂ乃至６４ｂが形成される。ここで、上記ホット電極６１ａ乃至６４ａは、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を上記誘電体シート６５の幅より十分小さい所定の幅に切断したものを用いて、互いに所定の間隔でかつ互いに平行になるように接着剤などを用いて上記誘電体シート６５の上面に接着されて形成される。また、上記アース電極６１ｂ乃至６４ｂは、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を上記ホット電極６１ａ乃至６４ａと同じ幅に切断したものを用いて、接着剤などを用いて上記誘電体シート６５の下面に接着されて形成される。以上のようにして、誘電体シート６５をホット電極６１ａとアース電極６１ｂとによって挟設することによって信号伝送線路Ｌ６１が構成され、同様に誘電体シート６５をホット電極６２ａとアース電極６２ｂとによって挟設することにより信号伝送線路Ｌ６２が構成され、誘電体シート６５をホット電極６３ａとアース電極６３ｂとによって挟設することによって信号伝送線路Ｌ６３が構成され、誘電体シート６５をホット電極６４ａとアース電極６４ｂとによって挟設することによって信号伝送線路Ｌ６４が構成される。
【００７４】また、上記誘電体シート６５の下面と上記アース電極６１ｂ乃至６４ｂの下面と側面とには、誘電体膜６９が形成され、さらに上記誘電体膜６９の下面にアース導体膜６８が形成される。さらに、上記誘電体シート６５の一端と他端には、それぞれ上記信号伝送線路Ｌ６１乃至Ｌ６４を外部装置を接続するためのコネクタ６６が接続される。
【００７５】以上のように構成された上記高周波フレキシブルケーブル６０は、上記誘電体シート６５の上面と下面に上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１が所定の幅に切断されたものを用いて、互いに所定の間隔でかつ互いに平行になるように接着剤などを用いて接着されて形成される。従って、上記高周波フレキシブルケーブル６０は、各信号伝送線路Ｌ６１乃至Ｌ６４毎に薄膜導体と薄膜誘電体とを交互に繰り返し積層することによって構成される場合に比較して簡単な工程で安価に製造することができる。
【００７６】また、以上のように構成された上記高周波フレキシブルケーブル６０は、高周波帯における表面抵抗が小さい上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を用いて上記ホット電極６１ａ乃至６４ａと上記アース電極６１ｂ乃至６４ｂが形成され、上記ホット電極６１ａ乃至６４ａと上記アース電極６１ｂ乃至６４ｂの高周波帯における表皮深さを実質的に深くすることができ、表面抵抗を大幅に低減することができるので、上記信号伝送線路Ｌ６１乃至Ｌ６４の伝送損失を小さくすることができる。
【００７７】さらに、以上のように構成された上記高周波フレキシブルケーブル６０は、上記誘電体膜６９と上記アース導体膜６８を備えているので、上記信号伝送線路Ｌ６１乃至Ｌ６４を通過する高周波信号が、上記信号伝送線路Ｌ６１乃至Ｌ６４から漏洩することを防ぐことができる。
【００７８】＜第２の実施例＞図５は本発明に係る第２の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２の製造装置を示す斜視図である。図５において、図１の第１の実施例と同じ物は同じ符号を付している。第２の実施例の製造装置は、第１の実施例の製造装置の中の固定機４０と熱圧着機Ｈ１を備えて構成され、第１の実施例と異なるところは、第１の実施例の真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を備えずに、誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３の下面に予めそれぞれ薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３が形成された誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３を用いて高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２を製造することである。
【００７９】第２の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極２の製造装置において、固定機４０は、薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２と、誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３の下面に予めそれぞれ所定の膜厚の薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３が形成された誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３とを、上記薄膜導体Ｅ１１が上記薄膜誘電体シートＤ１１の上面に接するようにかつ上記薄膜導体Ｅ１２が上記薄膜誘電体シートＤ１２の上面に接するように交互に繰り返し重ねて固定して、上記熱圧着機Ｈ１に供給する。熱圧着機Ｈ１は、互いに接する上記薄膜導体Ｅ１１と上記薄膜誘電体シートＤ１１の上面、互いに接する上記薄膜誘電体シート１１の下面と上記誘電体フィルムＰ１２の上面、互いに接する上記薄膜導体Ｅ１２と上記誘電体シートＤ１２の上面、及び上記薄膜誘電体シートＤ１２の下面と上記誘電体フィルムＰ１３の上面とをそれぞれ所定の温度と所定の圧力で接合する熱圧着方法によって接合することにより高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２を形成する。
【００８０】ここで、上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２は、所定の膜厚を有しかつ所定の幅と上記幅より十分長い所定の長さを有する。また、上記誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３は、上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２より小さい比誘電率を有しかつ上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２より薄く形成された例えばポリエチレンテレフタレートのフィルムなどからなり、上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２と同じ幅と同じ長さを有する。
【００８１】以上の第２の実施例の製造装置によって製造された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２は、上記誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３の誘電率が、上記薄膜誘電体Ｄ１１，Ｄ１２に比べて小さくかつ上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２より薄いので、実質的に上記薄膜誘電体Ｄ１１，Ｄ１２と上記薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３とが交互に積層された高周波電磁界結合型薄膜積層電極と同様の動作をする。また、上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２の膜厚と上記薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３の膜厚は、それぞれ第１の実施例における薄膜誘電体シートＤ２，Ｄ３の膜厚と薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の膜厚と同様に設定される。従って、第２の実施例の製造装置によれば、表面抵抗の小さい高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２を製造することができ、第１の実施例の製造装置と同様の作用効果を有する。
【００８２】また、以上の第２の実施例の製造装置においては、第１の実施例の真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３に代えて、薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３がそれぞれ予め形成された誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３を用いているので、工程数を少なくすることができる。
【００８３】＜第３の実施例＞図６は、本発明に係る第３の実施例の製造方法を用いて作成した同軸ケーブルの斜視図である。本発明に係る第３の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極の製造方法は、芯材２２や誘電体樹脂２３の外周面に薄膜導体Ｅ２１，Ｅ２２，Ｅ２３，Ｅ２１ａ，Ｅ２２ａ，Ｅ２３ａと薄膜誘電体シートＤ２１，Ｄ２２，Ｄ２１ａ，Ｄ２２ａとを交互に巻いて形成して固定することを特徴とする。
【００８４】図６に示すように、円柱形状の導体又は誘電体などからなる芯材２２の外周面に上記電磁界結合型薄膜積層電極を形成する方法であって、上記円柱形状の芯材２２の外周面に薄膜導体Ｅ２１，Ｅ２２，Ｅ２３と薄膜誘電体シートＤ２１，Ｄ２２とを交互に巻き付けることにより積層して形成した後、上記薄膜導体と薄膜誘電体シートのうちの最上層の薄膜導体Ｅ２３の外周面上に所定の誘電率を有しかつ誘電体損失の小さい円筒形状の誘電体樹脂２３を形成した後、上記誘電体樹脂２３の外周面上から熱圧着することにより交互に巻き付けた薄膜導体Ｅ２１，Ｅ２２，Ｅ２３と薄膜誘電体シートＤ２１，Ｄ２２とを固定する。ここで、上記誘電体樹脂２３は径方向の厚さが均一になるように形成される。図６の同軸ケーブルでは、さらに誘電体樹脂２３の円周面に薄膜導体Ｅ２１ａ，Ｅ２２ａ，Ｅ２３ａと薄膜誘電体シートＤ２１ａ，Ｄ２２ａとを交互に巻き付けることにより積層して形成した後、絶縁体である被覆材２４を形成して熱圧着することにより交互に巻き付けた薄膜導体Ｅ２１ａ，Ｅ２２ａ，Ｅ２３ａと薄膜誘電体シートＤ２１ａ，Ｄ２２ａとを固定する。ここで、薄膜誘電体シートＤ２１，２２，Ｄ２１ａ，Ｄ２２ａの膜厚と薄膜導体Ｅ２１，Ｅ２２，Ｅ２３，Ｅ２１ａ，Ｅ２２ａ，Ｅ２３ａの膜厚は、それぞれ第１の実施例の薄膜誘電体シートＤ２，Ｄ３の膜厚と薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の膜厚と同様に設定される。
【００８５】以上の第３の実施例の製造方法によると、例えば円柱状の導体又は誘電体などからなる芯材２２の外周面に、上記電磁界結合型薄膜積層電極を形成することができる。
【００８６】以上のように構成された図６の同軸ケーブルは、中心導体７０と外導体８０とを高周波電磁界結合型薄膜積層電極を用いて構成し、中心導体７０と外導体８０の高周波帯における表皮深さを実質的に大きくすることができ表面抵抗を小さくすることができるので、従来の同軸ケーブルに比較して伝送損失を小さくすることができる。
【００８７】＜変形例＞以下、変形例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造装置（図示せず。）について説明する。第１の変形例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１ａの製造装置は、第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置に比較して以下の点が異なる。
（１）真空蒸着装置Ｓ１は、図７（ａ）に示すように、薄膜誘電体シートＤ１の下面に上記薄膜誘電体シートＤ１の長手方向の所定の幅だけ上記薄膜誘電体シートＤ１の表面が露出した切り取り線部４ａと、上記薄膜誘電体シートＤ１の長手方向に所定の長さを有する薄膜導体Ｅ１とを、上記薄膜誘電体シートＤ１の長手方向に交互に形成する。同様に真空蒸着装置Ｓ２は、図７（ｂ）に示すように薄膜誘電体シートＤ２の下面に切り取り線部４ｂと薄膜導体Ｅ２とを交互に形成し、真空蒸着装置Ｓ３は、図７（ｃ）に示すように薄膜誘電体シートＤ３の下面に切り取り線部４ｃと薄膜導体Ｅ３とを交互に形成する。ここで、各薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の長手方向の長さは互いに等しくなるように、かつ上記切り取り線部４ａ，４ｂ，４ｃの（薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３の長手方向に平行な）幅は、互いに等しくなるように形成される。
（２）固定機４０は、図８に示すように上記切り取り線部４ａ，４ｂ，４ｃが厚さ方向に互いに対向するように、薄膜誘電体シートＤ１の下面に薄膜導体Ｅ１と切り取り線部４ａが形成された薄膜誘電体シートＤ１０ａと、薄膜誘電体シートＤ２の下面に薄膜導体Ｅ２と切り取り線部４ｂが形成された薄膜誘電体シートＤ２０ａと、薄膜誘電体シートＤ３の下面に薄膜導体Ｅ３と切り取り線部４ｃが形成された薄膜誘電体シートＤ３０ａとを固定する。
（３）上記固定機４０と上記熱圧着器Ｈ１の間又は上記熱圧着器Ｈ１の後に、表面に露出した上記薄膜誘電体シートＤ１の上面であって、上記切り取り線部４ａに対向する切り取り線部表面４の幅方向の略中央部に、上記薄膜誘電体シートＤ１の幅方向に対して平行に所望の切断位置を示す切り取り線３を印刷する印刷機（図示せず。）を備える。
【００８８】以上のように構成された第１の変形例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１ａの製造装置によって製造された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１ａでは、図８に示すように、上記切り取り線３の下方には切り取り線部４ａ，４ｂ，４ｃが形成され薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の形成されていないので、上記切り取り線３に沿って上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１ａを切断したとき、切断面において隣接する薄膜導体Ｅ１と薄膜導体Ｅ２間又は薄膜導体Ｅ２と薄膜導体Ｅ３間が短絡することを防ぐことができる。また、切り取り線３に沿って切断することにより所望の切断位置で切断することができる。
【００８９】また、第２の変形例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａの製造装置（図示せず。）は、第２の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２の製造装置に比較して、以下の点が異なる。
（１）誘電体フィルムＰ１１の下面には、図９（ａ）に示すように上記誘電体フィルムＰ１１の長手方向に所定の長さを有する薄膜導体Ｅ１１と、上記誘電体フィルムの下面の長手方向の所定の幅だけ上記誘電体フィルムＰ１１の下面が表面に露出した切り取り線部５ａとが、上記誘電体フィルムＰ１１の下面の長手方向に交互に形成されている。同様に、誘電体フィルムＰ１２の下面には、図９（ｃ）に示すように、薄膜導体Ｅ１２と切り取り線部５ｂとが交互に形成され、誘電体フィルムＰ１３の下面には、図９（ｅ）に示すように、薄膜導体Ｅ１３と切り取り線部５ｃが交互に形成されている。
（２）上記固定機４０は、上記誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３と薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２とを、上記薄膜導体Ｅ１１、Ｅ１２がそれぞれ上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２の上面に接するように、かつ上記切り取り線部５ａ，５ｂ，５ｃが厚さ方向に互いに対向するように交互に繰り返し重ねて固定する。
（３）上記固定機４０と上記熱圧着器Ｈ１の間又は上記熱圧着器Ｈ１の後に、表面に露出した上記誘電体フィルムの他方の面上であって、上記切り取り線部５ａに対向する切り取り線部表面５の幅方向の略中央部に所望の切断位置を示す切り取り線３を印刷する印刷機（図示せず。）を備える。以上のように構成された第２の変形例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａの製造装置（図示せず。）は、第１の変形例の真空蒸着装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を備えずに、予め誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３の各下面に薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３と切り取り線部５ａ，５ｂ，５ｃとが交互に形成された誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３を用いて高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａを製造することを特徴とする。
【００９０】以上のように構成された第２の変形例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａの製造装置によって製造された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａでは、図１０に示すように、上記切り取り線３の下方には切り取り線部５ａ，５ｂ，５ｃが形成され薄膜導体Ｅ１１，Ｅ２，Ｅ３が形成されていないので、上記切り取り線３に沿って上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａを切断したとき、切断面において隣接する薄膜導体Ｅ１１と薄膜導体Ｅ１２間又は薄膜導体Ｅ１２と薄膜導体Ｅ１３間が短絡することを防ぐことができる。また、切り取り線３に沿って切断することにより所望の切断位置で切断することができる。
【００９１】以上の第１と第２の実施例の製造装置では、熱圧着機Ｈ１を用いて熱圧着をすることによって薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａ又は薄膜誘電体シートＤ１１ａ，Ｄ１２ａ，Ｄ１３ａを接合したが、本発明はこれに限らず、焼成炉を用いて焼成することにより接合してもよい。以上のように構成することにより、薄膜誘電体シートにＳｉＯ2などのセラミックス材料を用いた高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを製造することができる。この場合、薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ１１，Ｄ１２は、粉末のＳｉＯ2などのセラミックス材料を所定の樹脂の中に分散させてシート状に形成したグリーンシートからなる。
【００９２】また、上記電磁界結合型薄膜積層電極シートを、例えば誘電体基板上に直接、薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａを重ねて形成して上記誘電体基板とともに焼成するようにしてもよい。以上のように構成することにより焼成前の基板と同時に焼成することができ製造工程数を少なくすることができる。
【００９３】以上の第１と第２の実施例の製造装置及び第１と第２の変形例の製造装置では、予め所定の膜厚になるように形成された薄膜誘電体シートを用いたが、本発明はこれに限らず、予め所定の膜厚より厚く形成した薄膜誘電体シートを用い、上記固定機４０に供給される前に又は上記固定機４０によって重ね合わせるときに厚さ方向に所定の圧力で押さえることにより、上記薄膜誘電体シートを薄くして、上記薄膜誘電体シートが所定の膜厚になるようしてもよい。以上のように構成することによって、所望の膜厚より厚い薄膜誘電体シートを使用できるので、上記製造装置における上記薄膜誘電体シートの取り扱いを容易にすることができる。
【００９４】以上の第１と第２の実施例の製造装置では、上記薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３と上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ１１，Ｄ１２とが同じ幅になるように形成したが、本発明はこれに限らず、上記薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３の幅をそれぞれ上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ１１，Ｄ１２の幅より狭くなるように、上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ１１，Ｄ１２の略中央部に形成して、上記薄膜誘電体シートＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ１１，Ｄ１２の両側から所定の幅だけ上記薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３が形成されない部分を設けるようにしてもよい。以上のように構成することにより、例えば上記薄膜誘電体シートＤ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａが幅方向にずれて重ねられた場合、又は上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２と上記誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３とが幅方向にずれて重ねられた場合に発生することがある上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１，２の両側面での薄膜導体Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３間の導通を防ぐことができる。以上の第２の実施例の製造装置では、上記薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３を上記誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３とともに積層したが、本発明はこれに限らず、上記固定機４０によって固定する前に、上記薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３をそれぞれ上記誘電体フィルムＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３からはがして、上記薄膜導体Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３と上記薄膜誘電体シートＤ１１，Ｄ１２とを交互に積層するようにしてもよい。
【００９５】以上の第３の実施例の製造方法では、上記誘電体樹脂２３及び上記被覆材２４を形成した後、熱圧着することにより固定するようにしたが、本発明はこれに限らず、誘電体樹脂２３又は上記被覆材２４として樹脂を封入する方法、若しくは、樹脂２３又は被覆材２４を形成した後、樹脂２３又は被覆材２４によって囲まれた部分を減圧することにより固定する方法を用いてもよい。またこのとき減圧した後に熱圧着するようにしてもよい。
【００９６】以上の第３の実施例の製造方法では、上記誘電体樹脂２３及び上記被覆材２４を形成した後、熱圧着することにより固定するようにしたが、本発明はこれに限らず、上記誘電体樹脂２３及び上記被覆材２４に、室温より高い所定の温度で非可逆的に収縮する熱収縮性を有する樹脂をさらに被覆して、当該樹脂に上記所定の温度になるように熱を加えて、当該樹脂を収縮させることにより、上記交互に形成された薄膜導体Ｅ２１，Ｅ２２，Ｅ２３，Ｅ２１ａ，Ｅ２２ａ，Ｅ２３ａと薄膜誘電体シートＤ２１，Ｄ２２，Ｄ２１ａ，Ｄ２２ａとを上記樹脂によって固定するようにしてもよい。また、上記誘電体樹脂２３及び上記被覆材２４そのものに熱収縮性を有する樹脂を用いてもよい。
【００９７】以上の第３の実施例の製造方法では、例えば円柱状の芯材２２の外周面に、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極を形成したが、本発明はこれに限らず、四角柱、六角柱などの他の形状の芯材の外表面に形成してもよい。
【００９８】
【発明の効果】本発明に係る請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、上記第１の工程で各下面に薄膜導体が形成された複数の薄膜誘電体シートを、第２の工程で上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように重ねて固定し、第３の工程で接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成するので、高周波電磁界結合型薄膜積層電極をシート状に製造することができ、かつ各下面に薄膜導体が形成された複数の薄膜誘電体シートを重ねてともに接合しているので薄膜導体と薄膜誘電体とを交互に繰り返し形成して積層する従来例に比較して安価に製造することができる。
【００９９】請求項２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記各薄膜誘電体シートを所定のより薄い膜厚になるように厚さ方向に所定の圧力で押圧して上記第１の工程に先立って予め形成する工程を含んでいるので、所望の膜厚より厚い薄膜誘電体シートを使用でき薄膜誘電体シートの取り扱いを容易にすることができる。
【０１００】請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第３の工程は、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに熱圧着することにより接合するので、上記薄膜誘電体シートに樹脂からなる誘電体を用いることができる。
【０１０１】請求項４記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第３の工程は、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに焼成することにより接合するので、上記薄膜誘電体シートにセラミック材料を用いることができる。
【０１０２】請求項５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートは、可とう性を有する誘電体からなるので、可とう性を有する高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを製造することができる。
【０１０３】請求項６記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項１乃至５のうちの１つに記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第１の工程は、上記各薄膜導体を上記薄膜誘電体シートの幅方向の両側から所定の距離だけ内側の幅方向の中央部に形成するので、上記高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの側面における上記薄膜導体間の導通を防ぐことができる。
【０１０４】本発明に係る請求項７記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に別の誘電体上に積層されるように、第１の工程で下面に薄膜導体が形成された上記複数の薄膜誘電体シートを、第２の工程で重ねて上記別の誘電体上に固定して、第３の工程で同時に焼成することによって、上記別の誘電体と上記薄膜導体と上記薄膜誘電体シートとをともに接合する。これによって、上記別の誘電体上に直接高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成することができる。
【０１０５】本発明に係る請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、第１の工程で、上記薄膜誘電体シートと、薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとを、交互に繰り返し重ねて固定し、第２の工程で、ともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する。これによって、高周波電磁界結合型薄膜積層電極をシート状に製造することができ、かつ各下面に薄膜導体が形成された複数の薄膜誘電体シートを重ねてともに接合しているので薄膜導体と薄膜誘電体とを交互に繰り返し形成して積層する従来例に比較して安価に製造することができる。
【０１０６】請求項９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートを所定のより薄い膜厚になるように厚さ方向に所定の圧力で押圧して上記第１の工程に先立って予め形成する工程をさらに含むので、所望の膜厚より厚い薄膜誘電体シートを使用でき薄膜誘電体シートの取り扱いを容易にすることができる。
【０１０７】請求項１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項８又は９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記第２の工程は、上記固定された上記薄膜誘電体シートと上記誘電体フィルムと上記薄膜導体とをともに熱圧着することにより接合するので、上記薄膜誘電体シートに樹脂からなる誘電体を用いることができる。
【０１０８】請求項１１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、請求項８、９又は１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法において、上記薄膜誘電体シートは可とう性を有する誘電体からなるので、可とう性を有する高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを製造することができる。
【０１０９】本発明に係る請求項１２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法は、第１の工程で形成された上記切り取り線部が、第２の工程で、厚さ方向に互いに対向するように重ねて固定され、第３の工程で接合される。そして、第４の工程で、上記切り取り線を印刷しているので、上記切り取り線に沿って切断することにより薄膜導体が形成されていない部分で切断することができ、切断面において薄膜導体間の短絡を防ぐことができる高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを製造することができる。
【０１１０】本発明に係る請求項１３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法によれば、第１の工程で、上記薄膜誘電体シートと、上記切り取り線部が一方の面に予め形成された複数の誘電体フィルムとが、上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、交互に繰り返し重ねられて固定され、第２の工程で接合されて、第４の工程で切り取り線が印刷される。従って、上記切り取り線に沿って切断することにより薄膜導体が形成されていない部分で切断することができ、切断面において薄膜導体間の短絡を防ぐことができる高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを製造することができる。
【０１１１】本発明に係る請求項１４記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートによれば、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が設けられた上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて接合することにより、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されて形成されるので、シート状の高周波電磁界結合型薄膜積層電極を提供することができる。
【０１１２】本発明に係る請求項１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートによれば、少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとを、交互に繰り返し重ねて、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとをともに接合することにより形成されるので、シート状の高周波電磁界結合型薄膜積層電極を提供することができる。
【０１１３】本発明に係る請求項１６記載の高周波共振器によれば、表面抵抗の小さい高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる電極を備えているので、一層の導体層からなる電極を備えた高周波共振器に比較して無負荷Ｑを高くすることができる。
【０１１４】本発明に係る請求項１７及び１８記載の高周波伝送線路によれば、表面抵抗の小さい高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる電極を備えているので、一層の導体層からなる電極を備えた高周波伝送線路に比較して伝送損失を小さくすることができる。
【０１１５】請求項１９記載の高周波伝送線路によれば、請求項１８に記載の高周波伝送線路において、上記第２の電極が形成された上記誘電体の下面に形成された誘電体膜と、上記誘電体膜の下面に形成されたアース導体膜とをさらに備えているので、上記高周波伝送線路を通過する高周波信号が上記高周波伝送線路から漏洩することを防ぐことができる。
【０１１６】請求項２０記載の高周波伝送線路は、請求項１８記載の高周波伝送線路において、上記誘電体と上記薄膜誘電体シートはともに可とう性を有する誘電体からなるので、上記高周波伝送線路は可とう性を有する。
【０１１７】請求項２１記載の高周波伝送線路は、請求項１９記載の高周波伝送線路において、上記誘電体と上記薄膜誘電体シートと上記誘電体膜とはともに可とう性を有する誘電体からなるので、上記高周波伝送線路は可とう性を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る第１の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１の製造装置を示す斜視図である。
【図２】 図１の製造装置を用いて製造した高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を用いて共振器ケース５２の外導体５４を形成したＴＭ110二重モード型誘電体共振器５０を示す斜視図である。
【図３】 図１の製造装置を用いて製造した高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１を用いて構成した高周波フレキシブルケーブル６０の斜視図である。
【図４】 図３の高周波フレキシブルケーブル６０のＡ−Ａ’における断面図である。
【図５】 本発明に係る第２の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２の製造装置を示す斜視図である。
【図６】 本発明に係る第３の実施例の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法を用いて製造した同軸線路の斜視図である。
【図７】 （ａ）は第１の変形例における薄膜誘電体シートＤ１０ａの断面図であり、（ｂ）は第１の変形例における薄膜誘電体シートＤ２０ａの断面図であり、（ｃ）は第１の変形例における薄膜誘電体シートＤ３０ａの断面図である。
【図８】 第１の変形例の製造装置によって製造された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート１ａの斜視図である。
【図９】 （ａ）は第２の変形例における薄膜導体Ｅ１１が形成された誘電体フィルムＰ１１の断面図であり、（ｂ）は第２の変形例における薄膜誘電体シートＤ１１の断面図であり、（ｃ）は第２の変形例における薄膜導体Ｅ１２が形成された誘電体フィルムＰ１２の断面図であり、（ｄ）は第２の変形例における薄膜誘電体シートＤ１２の断面図であり、（ｅ）は第２の変形例における薄膜導体Ｅ１３が形成された誘電体フィルムＰ１３の断面図である。
【図１０】 第２の変形例の製造装置よって製造された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート２ａの斜視図である。
【符号の説明】
１，２…高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート、
Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ１ａ，Ｄ２ａ，Ｄ３ａ，Ｄ１０ａ，Ｄ１１，Ｄ１２，Ｄ２０ａ，Ｄ２１，Ｄ２２，Ｄ２１ａ，Ｄ２２ａ，Ｄ３０ａ…薄膜誘電体シート、
Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ１１，Ｅ１２，Ｅ１３，Ｅ２１，Ｅ２２，Ｅ２３，Ｅ２１ａ，Ｅ２２ａ，Ｅ２３ａ…薄膜導体、
Ｈ１…熱圧着機、
Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３…シート供給装置、
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３…真空蒸着装置、
３…切り取り線、
４，５…切り取り線部表面、
４ａ，４ｂ，４ｃ，５ａ，５ｂ，５ｃ…切り取り線部、
１０，２０，３０…シート走行機、
Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ２１，Ｒ２２，Ｒ３１，Ｒ３２，Ｒ４１，Ｒ４２…ローラ、
Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３…誘電体フィルム、
２２…芯材、
２３…誘電体樹脂、
２４…被覆材、
４０…固定機、
５０…ＴＭ110二重モード型誘電体共振器、
５１…誘電体、
５２…共振器ケース、
５３…スリット、
５４，８０…外導体、
６０…高周波フレキシブルケーブル、
６１ａ，６２ａ，６３ａ，６４ａ…ホット電極、
６１ｂ，６２ｂ，６３ｂ，６４ｂ…アース電極、
Ｌ６１，Ｌ６２，Ｌ６３，Ｌ６４…信号伝送線路、
６５…誘電体シート、
６８…アース導体膜、
６９…誘電体膜、
７０…中心導体。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 複数の薄膜誘電体シートの各下面に薄膜導体を形成する第１の工程と、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が形成された上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて固定する第２の工程と、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程とを含むことを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項２】 上記各薄膜誘電体シートを所定のより薄い膜厚になるように厚さ方向に所定の圧力で押圧して上記第１の工程に先立って予め形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項３】 上記第３の工程は、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに熱圧着することにより接合する工程であることを特徴とする請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項４】 上記第３の工程は、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに焼成することにより接合する工程であることを特徴とする請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項５】 上記薄膜誘電体シートは、可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項６】 上記第１の工程は、上記各薄膜導体を上記薄膜誘電体シートの幅方向の両側から所定の距離だけ内側の幅方向の中央部に形成することを特徴とする請求項１乃至５のうちの１つに記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項７】 複数の薄膜誘電体シートの各下面に薄膜導体を形成する第１の工程と、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に別の誘電体上に積層されるように、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が形成された上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて上記別の誘電体上に固定する第２の工程と、上記固定された別の誘電体と上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とを同時に焼成することによって、上記別の誘電体と上記薄膜導体と上記薄膜誘電体シートとをともに接合して上記別の誘電体上に高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程とを含むことを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項８】 少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有しかつ薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとを、上記誘電体フィルムの薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するように交互に繰り返し重ねて固定する第１の工程と、上記各誘電体フィルムの薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第２の工程とを含むことを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項９】 上記薄膜誘電体シートを所定のより薄い膜厚になるように厚さ方向に所定の圧力で押圧して上記第１の工程に先立って予め形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項１０】 上記第２の工程は、上記固定された上記薄膜誘電体シートと上記誘電体フィルムと上記薄膜導体とをともに熱圧着することにより接合する工程であることを特徴とする請求項８又は９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項１１】 上記薄膜誘電体シートは可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする請求項８、９又は１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項１２】 複数の薄膜誘電体シートの各一方の面に、上記各薄膜誘電体シートの長手方向の所定の幅だけ上記各薄膜誘電体シートの表面が露出した切り取り線部と上記各薄膜誘電体シートの長手方向に所定の長さを有する薄膜導体とを上記各薄膜誘電体シートの長手方向に交互に形成する第１の工程と、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように、かつ上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、上記切り取り線部と上記薄膜導体とがそれぞれ形成された複数の薄膜誘電体シートを重ねて固定する第２の工程と、上記第２の工程の後に、互いに接する上記各薄膜導体と上記各薄膜誘電体シートの他方の面とを接合することにより、上記薄膜導体と上記切り取り線部とがそれぞれ形成された複数の薄膜誘電体シートをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程と、上記第２の工程と上記第３の工程との間又は上記第３の工程の後に、表面に露出した上記薄膜誘電体シートの他方の面上であって、上記切り取り線部と対向する面の幅方向の略中央部に切り取り線を印刷する第４の工程とを含むことを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項１３】 少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有する誘電体フィルムの長手方向に所定の長さを有する薄膜導体と上記誘電体フィルムの一方の面の長手方向の所定の幅だけ上記誘電体フィルムの一方の面の表面が露出した切り取り線部とが上記誘電体フィルムの一方の面の長手方向に交互に予め形成された複数の誘電体フィルムとを、上記誘電体フィルムの一方の面に形成された薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するようにかつ上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、交互に繰り返し重ねて固定する第１の工程と、上記第１の工程の後に、上記各誘電体フィルムの一方の面に形成された薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜導体と上記切り取り線部とがそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムと上記薄膜誘電体シートとをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第２の工程と、上記第１の工程と上記第２の工程との間又は上記第２の工程の後に、表面に露出した上記誘電体フィルムの他方の面上であって、上記切り取り線部と対向する面の幅方向の略中央部に切り取り線を印刷する第３の工程とを含むことを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項１４】 複数の薄膜誘電体シートの各下面に薄膜導体を設け、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が設けられた上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて接合することにより、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とを交互に積層してなることを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート。
【請求項１５】 少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有しかつ薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとを、上記誘電体フィルムの薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するように交互に繰り返し重ねて、上記各誘電体フィルムの薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとをともに接合してなることを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート。
【請求項１６】 所定の形状を有する電極を備えた高周波共振器において、上記電極は請求項１４又は１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなることを特徴とする高周波共振器。
【請求項１７】 所定の形状を有する電極を備えた高周波伝送線路において、上記電極は請求項１４又は１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなることを特徴とする高周波伝送線路。
【請求項１８】 互いに平行な上面と下面を有する誘電体と、上記誘電体の上面に所定の幅と所定の長さに形成され、かつ薄膜導体と薄膜誘電体シートが最下層が薄膜導体になるように交互に積層されて構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる第１の電極と、上記誘電体の下面に上記第１の電極と対向するように上記所定の幅と上記所定の長さに形成され、かつ薄膜導体と薄膜誘電体シートが最上層が薄膜導体になるように交互に積層されて構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる第２の電極とからなることを特徴とする高周波伝送線路。
【請求項１９】 上記第２の電極が形成された上記誘電体の下面に形成された誘電体膜と、上記誘電体膜の下面に形成されたアース導体膜とをさらに備えたことを特徴とする請求項１８に記載の高周波伝送線路。
【請求項２０】 上記誘電体と上記薄膜誘電体シートはともに可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする請求項１８記載の高周波伝送線路。
【請求項２１】 上記誘電体と上記薄膜誘電体シートと上記誘電体膜とはともに可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする請求項１９記載の高周波伝送線路。
【請求項１】 複数の薄膜誘電体シートの各下面に薄膜導体を形成する第１の工程と、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が形成された上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて固定する第２の工程と、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程とを含むことを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項２】 上記各薄膜誘電体シートを所定のより薄い膜厚になるように厚さ方向に所定の圧力で押圧して上記第１の工程に先立って予め形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項３】 上記第３の工程は、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに熱圧着することにより接合する工程であることを特徴とする請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項４】 上記第３の工程は、互いに接する上記固定された各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とをともに焼成することにより接合する工程であることを特徴とする請求項１又は２記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項５】 上記薄膜誘電体シートは、可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする請求項３記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項６】 上記第１の工程は、上記各薄膜導体を上記薄膜誘電体シートの幅方向の両側から所定の距離だけ内側の幅方向の中央部に形成することを特徴とする請求項１乃至５のうちの１つに記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項７】 複数の薄膜誘電体シートの各下面に薄膜導体を形成する第１の工程と、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に別の誘電体上に積層されるように、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が形成された上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて上記別の誘電体上に固定する第２の工程と、上記固定された別の誘電体と上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とを同時に焼成することによって、上記別の誘電体と上記薄膜導体と上記薄膜誘電体シートとをともに接合して上記別の誘電体上に高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程とを含むことを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項８】 少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有しかつ薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとを、上記誘電体フィルムの薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するように交互に繰り返し重ねて固定する第１の工程と、上記各誘電体フィルムの薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第２の工程とを含むことを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項９】 上記薄膜誘電体シートを所定のより薄い膜厚になるように厚さ方向に所定の圧力で押圧して上記第１の工程に先立って予め形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項８記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項１０】 上記第２の工程は、上記固定された上記薄膜誘電体シートと上記誘電体フィルムと上記薄膜導体とをともに熱圧着することにより接合する工程であることを特徴とする請求項８又は９記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項１１】 上記薄膜誘電体シートは可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする請求項８、９又は１０記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項１２】 複数の薄膜誘電体シートの各一方の面に、上記各薄膜誘電体シートの長手方向の所定の幅だけ上記各薄膜誘電体シートの表面が露出した切り取り線部と上記各薄膜誘電体シートの長手方向に所定の長さを有する薄膜導体とを上記各薄膜誘電体シートの長手方向に交互に形成する第１の工程と、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とが交互に積層されるように、かつ上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、上記切り取り線部と上記薄膜導体とがそれぞれ形成された複数の薄膜誘電体シートを重ねて固定する第２の工程と、上記第２の工程の後に、互いに接する上記各薄膜導体と上記各薄膜誘電体シートの他方の面とを接合することにより、上記薄膜導体と上記切り取り線部とがそれぞれ形成された複数の薄膜誘電体シートをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第３の工程と、上記第２の工程と上記第３の工程との間又は上記第３の工程の後に、表面に露出した上記薄膜誘電体シートの他方の面上であって、上記切り取り線部と対向する面の幅方向の略中央部に切り取り線を印刷する第４の工程とを含むことを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項１３】 少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有する誘電体フィルムの長手方向に所定の長さを有する薄膜導体と上記誘電体フィルムの一方の面の長手方向の所定の幅だけ上記誘電体フィルムの一方の面の表面が露出した切り取り線部とが上記誘電体フィルムの一方の面の長手方向に交互に予め形成された複数の誘電体フィルムとを、上記誘電体フィルムの一方の面に形成された薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するようにかつ上記各切り取り線部が厚さ方向に互いに対向するように、交互に繰り返し重ねて固定する第１の工程と、上記第１の工程の後に、上記各誘電体フィルムの一方の面に形成された薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜導体と上記切り取り線部とがそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムと上記薄膜誘電体シートとをともに接合して高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートを形成する第２の工程と、上記第１の工程と上記第２の工程との間又は上記第２の工程の後に、表面に露出した上記誘電体フィルムの他方の面上であって、上記切り取り線部と対向する面の幅方向の略中央部に切り取り線を印刷する第３の工程とを含むことを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートの製造方法。
【請求項１４】 複数の薄膜誘電体シートの各下面に薄膜導体を設け、上記薄膜誘電体シートの下面に薄膜導体が設けられた上記複数の薄膜誘電体シートを重ねて接合することにより、上記各薄膜誘電体シートと上記各薄膜導体とを交互に積層してなることを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート。
【請求項１５】 少なくとも１つの薄膜誘電体シートと、上記薄膜誘電体シートの誘電率より低い誘電率を有しかつ薄膜導体が一方の面に予めそれぞれ形成された複数の誘電体フィルムとを、上記誘電体フィルムの薄膜導体が上記薄膜誘電体シートの一方の面に接するように交互に繰り返し重ねて、上記各誘電体フィルムの薄膜導体と上記薄膜誘電体シートの一方の面とをそれぞれ接合しかつ上記各誘電体フィルムの他方の面と上記薄膜誘電体シートの他方の面とをそれぞれ接合することにより、上記薄膜誘電体シートと上記薄膜導体が形成された複数の誘電体フィルムとをともに接合してなることを特徴とする高周波電磁界結合型薄膜積層電極シート。
【請求項１６】 所定の形状を有する電極を備えた高周波共振器において、上記電極は請求項１４又は１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなることを特徴とする高周波共振器。
【請求項１７】 所定の形状を有する電極を備えた高周波伝送線路において、上記電極は請求項１４又は１５記載の高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなることを特徴とする高周波伝送線路。
【請求項１８】 互いに平行な上面と下面を有する誘電体と、上記誘電体の上面に所定の幅と所定の長さに形成され、かつ薄膜導体と薄膜誘電体シートが最下層が薄膜導体になるように交互に積層されて構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる第１の電極と、上記誘電体の下面に上記第１の電極と対向するように上記所定の幅と上記所定の長さに形成され、かつ薄膜導体と薄膜誘電体シートが最上層が薄膜導体になるように交互に積層されて構成された高周波電磁界結合型薄膜積層電極シートからなる第２の電極とからなることを特徴とする高周波伝送線路。
【請求項１９】 上記第２の電極が形成された上記誘電体の下面に形成された誘電体膜と、上記誘電体膜の下面に形成されたアース導体膜とをさらに備えたことを特徴とする請求項１８に記載の高周波伝送線路。
【請求項２０】 上記誘電体と上記薄膜誘電体シートはともに可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする請求項１８記載の高周波伝送線路。
【請求項２１】 上記誘電体と上記薄膜誘電体シートと上記誘電体膜とはともに可とう性を有する誘電体からなることを特徴とする請求項１９記載の高周波伝送線路。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開平８−２６５０１４
【公開日】平成８年（１９９６）１０月１１日
【国際特許分類】
【出願番号】特願平７−６２６１５
【出願日】平成７年（１９９５）３月２２日
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
【公開日】平成８年（１９９６）１０月１１日
【国際特許分類】
【出願日】平成７年（１９９５）３月２２日
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
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