【課題】燃焼室内壁の寿命を向上させ、火炎による温度上昇を抑え、配管内壁面に付着したダストを除去する。
【解決手段】バーナ部１０と、該バーナ部の下流側に設けた燃焼室とを備え、前記バーナ部より前記燃焼室に向けて燃焼炎を形成し、該燃焼炎に排ガスＧ１を導入し、該排ガスを酸化分解させる排ガス処理装置において、前記バーナ部は、頂部閉塞し下部が開口した筒状体を具備し、該筒状体の頂部に排ガス導入口を設けると共に、側壁の所定の位置に空気ノズルを設け、開口近傍の側壁に助燃ガスノズル１６を設け、前記排ガス導入口より導入された排ガスと前記空気ノズル１５から吹き出された空気を混合すると共に、前記助燃ノズルから吹き出された助燃ガスに着火し、前記開口下方に向かって燃焼炎を形成するように構成し、前記助燃ガスノズルに燃料ガスを導入する助燃ガス導入部を冷却する冷却手段を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微少流量の流体を脈動なく連続的かつ定量的に安定して移送することができるマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプ１は、内部に流体が流通される弾性チューブ１０と、弾性チューブ１０を支持するチューブサポート２０と、螺旋状の突起部３２が形成された回転体３０と、回転体３０を回転させるモータ４０とを備えている。回転体３０は、チューブサポート２０に支持される弾性チューブ１０に沿って配置され、弾性チューブ１０を長手方向に沿った複数の押圧点で押圧する。モータ４０は、複数の押圧点を弾性チューブ１０の長手方向に沿って移動させる。長手方向の少なくとも一部の区間において、長手方向に沿って隣り合う押圧点の間隔を長手方向に沿って変化させる。 （もっと読む）

【課題】 例え微細化されたトレンチ等の配線用凹部であっても、この内部にめっき液等の処理液を確実に浸入させて、めっき等の所定の処理を行うことができるようにする。
【解決手段】上方に開口し減圧部に接続された処理槽３２と、該処理槽３２の上方に配置され下面に基板Ｗを保持する上下動自在な基板保持ヘッド１０を有し、基板Ｗを保持した基板保持ヘッド１０で処理槽３２の開口部を覆って該処理槽３２を密閉させて内部を減圧した後、処理槽３２内に導入した処理液Ｑに基板Ｗを接触させて該基板Ｗの処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 気液の接触時間を充分に確保することによって気液反応の収率を向上させ、単位時間あたりの生成量を向上することができるリアクターを提供する。
【解決手段】 このリアクターは、気体試薬と液体試薬とを反応させるリアクターである。気体試薬を収容する装置本体１０と、装置本体１０内に液体試薬を微粒化して放出する微粒化装置２２とが設けられている。微粒化装置２２により、気体体試薬中に液体試薬が微細粒子化されて供給され、微細粒子が液体試薬と充分接触するとともに、気体試薬中で浮遊状態となって、所定の反応時間が確保される。 （もっと読む）

【課題】終点検知モニタの膜厚検出精度を向上させて、被研磨面がより最適な状態となった時に、研磨を終了させることができるようにする。
【解決手段】トップリング３で保持した基板２の表面を、研磨テーブル１の表面を覆う研磨パッド４に摺接させて研磨する研磨装置において、研磨テーブル１及び研磨パッド４に該研磨テーブル１及び研磨パッド４を貫通して延びるセンサ孔３０を設け、センサ孔３０の内部に終点検知モニタ４０のセンサ３６を該センサ３６のセンサヘッド３４が研磨中の基板２に近接するように配置した。 （もっと読む）

【課題】分極曲線が時間の経過とともに変化することを考慮した、より正確な金属の腐食・防食問題の解析が可能なモニタリングシステムを提供する。
【解決手段】アノード表面とカソード表面とを含む面によって囲まれた解析対象となる領域内の電位および電流密度分布を、前記アノード表面およびカソード表面の初期データの分極曲線φeoから数値解析により求め、前記領域内の電気化学的状態のモニタリングを行い、一定時間経過後に、前記解析対象となる実際の領域内の複数の計測点で、実際の表面の電位または電流密度を計測し、計測した電位または電流密度に基づいて前記数値解析の逆解析により初期データから修正した分極曲線φenを求め、前記修正した分極曲線φenから、前記領域内の電位および電流密度分布を再度数値解析により求め、修正した分極曲線φenに基づいて前記領域内の電気化学的状態のモニタリングを行う。 （もっと読む）

【課題】軸受冷却用の潤滑油を不用にでき、且つ設備のコンパクト化を図ることができるポンプを提供すること。
【解決手段】揚水管１０の上下にそれぞれ吐出ケーシング３０と羽根車ケーシング２０とを接続し、羽根車ケーシング２０内に設置した羽根車２１を回転駆動するシャフト１１を揚水管１０を介して吐出ケーシング３０の上部側面から引き出してなるポンプである。羽根車２１の上部の部分のボウル４０−３内にシャフト１１を軸支する水中スラスト軸受４１−３と水中ラジアル軸受４３−３とを設置する。水中ラジアル軸受４３−３とは別にシャフト１１の水中ラジアル軸受４９−２を羽根車２１の下部に設置する。シャフト１１の吐出ケーシング３０を貫通する部分にシール機構４７−３を設ける。 （もっと読む）

【課題】ルテニウムとタングステン化合物又はタンタル化合物との積層膜が形成された基板を、タングステン化合物又はタンタル化合物を酸化変質させることなく、更にデバイス形成領域面が水やアルカリ溶液に曝され、ＬｏｗＫが変質することなのない基板処理方法、及び基板処理装置を提供すること。
【解決手段】ルテニウムとタングステン化合物又はタンタル化合物との積層膜が形成された処理基板Ｗの外周に接触するロールチャック１ａ〜１ｄで保持される処理基板Ｗの周縁部に、処理液供給ノズル５から次亜塩素酸塩水溶液を処理液として供給し、吸引ノズル８で吸引して、周縁部のルテニウムを処理する基板処理装置。 （もっと読む）

【課題】銅と同等以上の抵抗率の導電層（シード層）を有した基板に対して、より均一な膜厚で、全面に亘って膜質の良好なめっき膜を成膜できるようにする。
【解決手段】基板保持部で保持した基板表面の周縁部に当接して該周縁部をシールするシール材９０と、基板保持部で保持した基板の表面に形成した導電層に接触して通電させるカソード接点８８と、内部にめっき液に浸漬させるアノード９８を収納し、基板保持部で保持した基板と対向する開口端部に多孔質構造体１１０を配置してめっき液室１００を区画形成したハウジング９４を有し、めっき液室１００は仕切り板１５０で複数の部屋１５４ａ，１５４ｂに仕切られ、アノード９８は複数に分割された分割アノード９８ａ，９８ｂから構成されて、各分割アノード９８ａ，９８ｂはめっき液室１００の各部屋１５４ａ，１５４ｂの内部に独立しためっき電流が流せるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】保守点検が容易で、工期が短く、且つ費用が安価で済む攪拌曝気装置、及び該攪拌曝気装置を備えた汚水処理場を提供すること。
【解決手段】羽根車２１と、該羽根車２１に接続された主軸２２と、該主軸２２を減速機２４を介して回転駆動するモータ２５を備え、汚水貯留槽１０内の処理液中に配置した羽根車２１を回転することにより、液槽内の処理液を攪拌する攪拌曝気装置であって、モータ２５と減速機２４の一部又は全部を汚水貯留槽１０の上部槽外に設置し、羽根車２１は、主板を備え、該主板の表面に中央部から外周方向に延びる複数の翼を取付けると共に、該主板に穴を設け、更に該主板の裏面に中央部から外周方向に延びる複数の裏羽根を設けた構成である。 （もっと読む）