【課題】 フィルタの交換を必要としないメンテナンスフリーのクーラント供給装置を提供する。
【解決手段】 マシン１０の側からポンプ１２により供給される使用済みのダーティクーラントＡをフィルタ２２による濾過で再生してクリーンタンク２５内に供給する。クリーンタンク２５内の再生クーラントＢをポンプ３１で加圧してマシン１０の側へ圧送する。マシン１０の停止中に、ポンプ３１を利用して、クリーンタンク２５内の再生クーラントＢをフィルタ２２に濾過時より大きい圧力で逆方向に通過させ、フィルタ２２を洗浄（逆洗）する。 （もっと読む）

【課題】 キャリアをブラシ洗浄する際に、ブラシの回転駆動に伴って発生するパーティクルによる洗浄度低下を防止する。
【解決手段】 回転ブラシを駆動するためのモータ３８ａを水平アーム３２内に収容する。水平アーム３２の先端部から下方に延出する垂直アーム３３の下端部に、回転ブラシの回転軸３５を支持する軸受３４を取付け、モータ３８ａの回転を垂直アーム３３内のベルト３８ｅを介して回転軸３５に伝達する。回転ブラシを支持するアームをケースにして、回転ブラシの回転駆動部３８をこのケース内に収容したことにより、ブラシの回転駆動に伴って発生するパーティクルの洗浄槽への落下が防止される。 （もっと読む）

【目的】 小容量の油圧ポンプ、リザーバタンクで対応できる油圧システムを構成するためのスタンドパイプ型シリンダにおいて、圧縮時のストロークエンドでの作動速度を減速制御し、システムの作動を円滑にできる構成からなる油圧シリンダの提供。
【構成】 伸長時の流体圧をロックピストンロッド６内に作用させるスタンドパイプ型の複動シリンダにおいて、シリンダボトム９側に所要ストロークで移動可能にスナビングピストン２０を配置し、伸長時にスナビングピストン２０との間の油室２２に流入した所定量の流体を、圧縮時に環状ピストン３がスナビングピストン２０に当接して、オリフィス２４を通して所定量を排出することができるため、圧縮時のストロークエンドでの作動速度を減速制御できる。 （もっと読む）

【目的】 ウエハキャリアを使用しないキャリアレス方式のウエハ洗浄において、洗浄を終えたウエハの再収納に伴う清浄度低下を防止する。
【構成】 キャリアＣに収納されて搬入されたウエハＷを、ローダ１でキャリアＣから取り出す。そのウエハＷをウエハ洗浄部２でキャリアレス洗浄する。ウエハＷが取り出されたキャリアＣをキャリア洗浄部３で洗浄し、アンローダ４でそのキャリアＣに洗浄後のウエハＷを収納する。 （もっと読む）

【目的】 ウエハキャリアを能率よく自動洗浄する。ウエハキャリアに突き刺さったウエハの破片も除去する。
【構成】 キャリアをロボットＡでブラシ洗浄装置２０に運ぶ。ブラシ洗浄装置２０は、キャリアの内外面をブラッシングする。ブラッシングを終えたキャリアをロボットＡで超音波洗浄槽３０へ運び、超音波が発振された温純水に浸漬する。超音波洗浄を終えたキャリアをロボットＡで仕上げ洗浄槽４０に運び、純水で仕上げ洗浄する。 （もっと読む）