【課題】板状ワークに対する可動膜の加圧分布を均等化して板状ワークの部分的な変形を防止する。
【解決手段】可動膜２に、支持部材３の通路３ａと対向する肉厚な板状部２ａと、通路３ａを囲む表面部位３ｂ１と対向する肉薄な変形可能部２ｂをそれぞれ形成し、通路３ａからの流体で変形可能部２ｂを板状ワークＷへ向けて変形させることにより、剛性の高い肉厚な板状部２ａが形状保持されながら平行移動し、板状ワークＷに対する可動膜２の押圧力が分散されて、板状ワークＷの一部に集中して荷重がかかることなく、粘着部材１の粘着面１ａから板状ワークＷが剥離される。 （もっと読む）

【課題】粘着部材と剥離部材のユニット化を構成し易くしながら剥離性能を向上させる。
【解決手段】支持部材３の側面３ｂと環状部材４の係止凹部４ａとの間に、剥離部材２の取付凸部２ｃを変形部２ａの変形方向へ移動不能に挟み込むとともに、環状部材４の取付面４ｂに、変形部２ａの外縁と隣接して粘着部材１を取り付けることにより、環状部材４を介して剥離部材２及び支持部材３と粘着部材１が一体的に組み付けられる。さらに変形部２ａと粘着面１ａが互いに隣り合って限りなく接近して配置されるため、粘着面１ａに粘着保持された板状ワークＷを変形部２ａの変形で剥離する際に、大きな剥離力が得られ、剥離時において板状ワークＷに生ずる撓みが最小限に抑えられる。 （もっと読む）

【課題】板状ワークに適度な張力が与えられるように微正圧を封止して、通常の使用範囲で気温変動や気圧変動が生じたとしても板状ワークが撓み変形しない貼合構造体を提供する。
【解決手段】板状ワーク１，２の接近移動に伴って表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になる直前まで、通気手段４によって内部空間ＩＳから外部空間ＯＳへの通気を確保することにより、板状ワーク１，２間の内部空間ＩＳ内に収容される流体が外部空間ＯＳに排出され、これに続いて、表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１から最終貼り合せキャップＧ２になるまで、内部空間ＩＳを密閉することにより、内部空間ＩＳの内圧が接着剤３を破壊しないレベルの微正圧に上昇し、この最終貼り合せキャップＧ２で接着剤３が硬化されることにより、内部空間ＩＳに微正圧の流体を封止した状態で板状ワーク１，２同士が貼り合わされる。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象面内の清浄度およびその均一性を高めさらにメンテナンスも容易なＵＶオゾン洗浄装置を提供すること。
【解決手段】ＵＶ照射室（１０）内に２つのＵＶユニット（２０Ａ、２０Ｂ）を備えており、これらＵＶユニットは所定の間隔を有するように対向して設けられている。この間隔内には、洗浄対象物（３０）が基板搬送部（４０）により把持された状態で搬送される。オゾン発生の源となるエアーと不活性ガスの混合ガスは第１および第２のガス供給部（５０Ａ、５０Ｂ）から、ＵＶ照射室（１０）内に搬送された基板（３０）の表面に向けて供給される。ガス排出部（６０）は、装置（１００）の底部に設けられており、ＵＶ照射室（１０）内で発生したオゾン含有ガスは、装置上部に設けられた排気ユニット（７０Ａ、７０Ｂ）の作用により、ガス排気経路部（８０Ａ、８０Ｂ）を通ってガス排出部（６０）から外部へと排出される。 （もっと読む）

【課題】板状ワークとの粘着と剥離を確実に行うこと。
【解決手段】吸着溝２ｃを負圧にして板状ワークＷとの間を真空にすることにより、粘着パッド２ａ及び支持板２ｂが板状ワークＷ側に移動して、該板状ワークＷの変形を可能な限り小さく抑えるとともに、これら板状ワークＷ及び支持板２ｂの両側から粘着パッド２ａを圧縮し、それに伴い板状ワークＷの表面Ｗ１が粘着パッド２ａに当接して確実に密着し、また調圧室２ｅを負圧にして支持柱２ｄの周囲空間を真空にすることにより、その容積が収縮しようとして支持柱２ｄが板状ワークＷの表面Ｗ１から離れる方向へ圧縮し、それに伴い支持板２ｂを介して粘着パッド２ａが同方向へ移動して板状ワークＷの表面Ｗ１から無理なく引き剥がされる。 （もっと読む）

【課題】実際のシール形成前にシール線幅を自動調節することのできる接着剤の滴下制御方法の提供。
【解決手段】予行試験工程では、滴下径Ｘ及び滴下ピッチＰの変化とシール線２ｂの線幅Ｂとのデータ群の関連性を予め抽出しておき、その後のワーク製造過程では、滴下径Ｘの測定値より、滴下径Ｘ及び滴下ピッチＰの変化とシール線２ｂの線幅Ｂとのデータ群の関連性に基づき、両板状ワーク１が所定のギャップＧで重ね合わされたことによる伸展後のシール線２ｂの線幅Ｂを推定することで、滴下ピッチＰを制御変数として伸展後のシール線幅Ｂを制御することにより、ワーク製造過程の途中にディスペンサ３からの点状接着剤２ａの滴下径Ｘが微妙に変化しても、その滴下径Ｘの測定値から予行試験工程の測定結果に基づいて、ディスペンサ３からの滴下ピッチＰを自動的に修正し、その後は修正した滴下条件でシール線２ｂが形成される。 （もっと読む）

【課題】スペーサー無しでウエハとカバープレートを所定間隔で平行に貼り合わせる。
【解決手段】ウエハＡとそれを覆うカバープレートＢの対向面のどちらか一方又は両方に接着剤Ｃを一定高さで塗布し、これらウエハＡ及びカバープレートＢを、減圧された閉鎖空間Ｓ１で重ね合わせて、それらの間に接着剤Ｃで囲まれる封止空間Ｓ２を形成し、その後、閉鎖空間Ｓ１を大気開放して封止空間Ｓ２の内圧との間に圧力差を発生させ、この気圧差でウエハＡ及びカバープレートＢを全体的に均等に加圧することにより、接着剤Ｃが押し潰されてウエハＡ及びカバープレートＢの間に所定のギャップが形成される。 （もっと読む）

【課題】ワークのグローバル形状を研磨によって自由にコントロールすることのできる研磨ヘッドを提供する。
【解決手段】ワークの表面を定盤上に貼り付けた研磨布に摺接させて研磨する際に前記ワークを保持するための研磨ヘッドであって、少なくとも、前記ワークを保持するためのキャリアと、該キャリアの外周部を押圧するための第一の圧力調整機構と、該キャリアの中央部を押圧するための第二の圧力調整機構とを有し、前記第一の圧力調整機構と前記第二の圧力調整機構は各々独立に前記キャリアを押圧することができ、これによって、該キャリアは、前記ワークを前記研磨布に摺接させて研磨する際に、該キャリア面内の内外で前記ワークへの押圧力が異なるようにすることができ、前記ウェーハ面内の内外で異なる押圧力で前記研磨布へ摺接させることができるものであることを特徴とする研磨ヘッド。 （もっと読む）

【課題】より簡単な方法で、高いアスペクト比を有する電極を形成し、変換効率が高く低コストな太陽電池を提供し、さらにこのような太陽電池を製造する方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、基板Ｗ上に複層構造の電極１０が形成された太陽電池であって、電極１０の第２層目２が銅の細線であり、特に銅の細線は、その表面にはんだ性材料がメッキされたものである太陽電池及びそのような太陽電池を製造する方法。 （もっと読む）