【目的】 基板上に形成される微粒子の堆積膜に部分的な特性を極めて簡単に形成することが出来るガス・デポジション法による微粒子膜の形成法と、それに用いる形成装置。
【構成】 基板上にキャリアガスと微粒子を同時に搬送して、微粒子膜を形成する際、微粒子の組成比の変化と、結晶粒の大きさの変化とを単独、または併用で行う微粒子膜の形成法。基板上にキャリアガスと微粒子を搬送する搬送管の途中にガス導入・排出室を配置した微粒子膜の形成装置。 （もっと読む）