【課題】
オイルや水等の液体の漏洩をより低減する。
【解決手段】
本発明は、回転機器の回転軸と共に回転するロータリーリング３と、回転軸に従動して回転すると共にロータリーリング３とシール状態にてその外側を覆うスリーブ２と、ロータリーリング３と回転軸の軸方向にて当接するシールリング４と、シールリング４とシール状態にてその外側を覆うグランドカバー５とを少なくとも備えるメカニカルシール１であって、少なくともロータリーリング３、スリーブ２、シールリング４およびグランドカバー５を軸方向に沿って分割し、スリーブ２または／およびグランドカバー５の各分割面１８，５８の一方の面に、フッ素系樹脂からなるコート層１６０ａを有し、各分割面１８，５８の他方の面にコート層１６０ｂ、さらにその上に弾性接着層１６１を積層する構成としたメカニカルシール１に関する。 （もっと読む）

【課題】貼り合わせ台移動用の駆動源を真空源と共用にし、装置を小型にしたフィルム貼り合わせ装置を提供する。
【解決手段】フィルム貼り合わせ装置１を蓋体２と枠体３と本体４とから構成し、蓋体と本体の各対向面に真空源に通じ膜体Ｆや板体Ｐを吸引して固定するための吸着部材２ａ，４ａを設けるようにして、膜体や板体を位置決めする。さらに、枠体と本体との隙間にバネ６を備えるようにして、装置内が減圧になるにつれて蓋体と枠体を本体の方へ移動させ、吸着部材同士を当て合わせるような動作によって膜体と板体を貼り合わせる。 （もっと読む）

【課題】 従動環の従動性を阻害しないメカニカルシールを提供する
【解決手段】 Ｏリング３と押圧リング４は、ケーシングＣに形成された収納溝５に収納されており、Ｏリング３は押圧リング４に押圧されて、ケーシングＣと従動環１に密着してケーシングＣと従動環１の間を従動可能にシールし、機内Ｙと大気Ｘ側の間をシールする。 （もっと読む）

【課題】シート材の走行速度に対するガイドロール部材の回転速度の追従性を高め、シート材の傷つきを防いだシート材のガイドロール装置を提供する。
【解決手段】ガイドロール部材２の両端部に支軸３を回転自在に支持する気体軸受４を配設する。気体軸受の内周面にＯリング６を設け、非軸受端面４１ｃとガイドロール蓋部材２２との間に隙間を設け、この隙間にバネ７を設けるようにして、気体軸受をガイドロール部材と支軸との角度変化に追従して連続的に首を振るように動かす。 （もっと読む）

【課題】自動調心機能を持つ、組立て部品化した静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】静圧気体軸受１を軸の外周面に対向配置される内筒筐体２と、ハウジングＨの内周面に対向配置される外筒筐体３とから成し、内筒筐体又は外筒筐体の互いに対向する面にラジアル軸受面３ａ及びスラスト軸受面３ｂを設け、軸受面を静圧気体軸受の内部に設ける。ラジアル軸受隙間に対して裏側の面にＯリング４を設け、スラスト軸受隙間に対して裏側の面であって、Ｏリングが備えられた筐体にバネ５を設け、Ｏリングとバネに軸とハウジングとの不均一な隙間量を吸収させるとともに、外筒筐体を軸とハウジングとの角度変化に追従して連続的に首を振るように動かす。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、回転軸の熱膨張率にほぼ等しい熱膨張率を有し、低トルク性、耐磨耗性を向上させ、且つ回転軸シール部分からの流体の漏出が防止されたシール材を提供することにある。
【解決手段】 １０〜６０重量％のフッ素樹脂、３７〜６０重量％の天然黒鉛粉末、及び２〜３０重量％の炭素繊維から成るフッ素樹脂組成物を成形して得られるシール材中の空隙に、熱硬化性樹脂を含浸し硬化させることにより該空隙を封孔したシール材。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れた軸受け用のシール装置を提供する。
【解決手段】シール装置Ａは、２つ割りのリング状のシールケース２を有し、シールケース２の一端面が特殊にワンカットされたＯリング２９を介して軸受ケース５１の端面に装着されている。シールケース２の中央部にリング状の空間２０を有し、ここにセグメントシール１が収納されている。シールケース２にはエアーパージ装置３が接続し、エアーパージ孔２１を介して空間２０内にパージガス等の流体が吹き込まれる。セグメントシール１は、シールケース２の空間２０の内壁、内壁内に微小隙間を設けて取り付けられているセグメントシール１の両端面の外周側にリング状に肉薄切欠１０と肉薄切欠１１が形成され、肉薄切欠１０の面積が肉薄切欠１１の面積よりも大きくなっており、セグメントシール１を内壁２６側に押して、シール性能を高めている。 （もっと読む）

【課題】 分解時でもシール性を維持できる分割型メカニカルシールを提供する。
【解決手段】
水封部Ｂは、ケーシングＣを構成する水封リング８０とメカニカルシールＡを構成するスリーブ４０により構成され、水封リング８０はカバー３５に装着され、半径方向回転軸Ｊ側に延出する円盤状の突出部８１を有しており、この突出部８１に上方に向けた円環溝８２が形成されている。スリーブ４０は回転軸Ｊに沿って、下方まで延び、その下端部４１が円環溝８２内部に貫入し、円環溝８２に水等の液体を満たした場合、該液体中に沈む位置まで貫入している。水封リング８０の外周から半径方向に円環溝８２に連通する注入孔８３が形成されており、円環溝８２に水等の液体を注入し、水封シールＬＳを形成する。 （もっと読む）

【課題】被処理物の傷付きと汚れを防ぎ、さらなる低発塵性を実現した真空吸着パッドおよび真空吸着装置を提供する。
【解決手段】その表面で被処理物Ｗを吸着保持しその裏面で真空源に通じる多孔質カーボンから成る真空吸着パッド２の表面をフッ素樹脂で被覆するようにして、被処理物をフッ素樹脂の被膜Ｆ’を介して真空吸着パッドに吸着させる。また、フッ素樹脂を導電性フッ素樹脂にして、真空吸着パッドがカーボン材料本来の導電性を失うおそれをなくす。 （もっと読む）

【課題】パッドの耐圧強度を維持または向上させつつ、パッド全面からの均一な流量分布を実現した真空吸着装置を提供する。
【解決手段】その表面で被処理物を吸着保持しその裏面で真空源に通じる多孔質材料から成る真空吸着パッド２の裏面に、複数の環状溝２１と、その環状溝を放射状に互いに連通する連通溝２２とを備えるようにして、真空吸着パッドの裏面とホルダー３の内底面との間に溝状の隙間をつくる。また、連通溝を同一放射状線上からずらして、連通溝にかかる応力を同一放射状線上から分散させる。 （もっと読む）