【課題】波長の異なる複数種類の入射光のうち、特有の波長の光のみを選択的に回折する透過型回折素子を迅速に製造する。
【解決手段】単一材料からなる透明基板２を用意し、その透明基板２上に、エッチング加工に基づき、凹部３を周期的にそれぞれ加工し、その各凹部３内に前記光学多層膜を充填する。これにより、エッチング加工において、エッチング最適条件を、単一物質からなる透明基板２にだけ合わせることができるようにして、途中で、エッチング条件を変えることなく、一気に透明基板２に凹部３を周期的に形成できるようにする。 （もっと読む）

【課題】磁気探針先端の先鋭化を高めることができる磁気力顕微鏡用探針の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｓｉからなる探針素材１３上に、順に、ＳｉＯ２層１４、ＦｅＰｔ薄膜層１５を形成すると共に、そのＦｅＰｔ薄膜層１５の形成中ないしはＦｅＰｔ薄膜層１５の形成後に熱処理を行う。その際、ＳｉＯ２層１４を、探針素材１３の表面をプラズマ酸化して形成することにより、成膜によって形成する場合に比べて、ＳｉＯ２層形成に伴う体積の増大を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 積層構造を構成する各薄膜層の品質を向上させることができる化合物半導体の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板２上に各薄膜層を、該各薄膜層に応じた専用の第１，第２気相成長室６ａ，６ｂ内で、順次、結晶成長させることにより、第１，第２気相成長室６ａ，６ｂにおいて、その各気相成長室６ａ，６ｂで用いられる原材料ガスに関係したもの（付着物、堆積物等を含む）以外は存在しないようにし、第１，第２薄膜層のための原料ガス等が想定外の反応を起こして、第２薄膜層の品質が低下することを防止する。また、そのシリコン基板２の搬送空間３５を、酸化を抑制する窒素雰囲気又は真空中として、そのシリコン基板２の搬送時に、そのとき最外層となっている第１薄膜層において酸化物が生成されることを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 新たに添加物を加えなくても、長期に亘って可視光に応答できる光触媒を提供する。
【解決手段】 基材２外側に向けて順に、第１，第２触媒層３，４が積層されている。第１触媒層３が、酸素欠損状態とされたＴｉＯ2-x（xは、０＜x＜０．０２）をもって形成されていると共に、該ＴｉＯ2-xの酸素欠損割合に関して、第２触媒層４から基材方向に離れる側が該第２触媒層４側に比して多くなる傾斜組成構造とされ、第２触媒層４が、ＴｉＯ2をもって形成されている。これにより、第１触媒層３において、イオン注入等の混入を行わなくても、紫外線だけでなく可視光に対しても応答できるようにし、第２触媒層４には、紫外線に基づき光触媒反応を起こすだけでなく、外部からの酸素の侵入を防いで、第１触媒層３（ＴｉＯ2-x）の酸化を抑制する機能をもたせる。 （もっと読む）