【課題】低材料コストかつ低操業コストの条件のもと、処理装置の雰囲気ガス等の酸素分圧を0.2〜10^-30atmの範囲で制御しうる酸素分圧制御装置の提供。
【解決手段】固体電解質の作動温度に加熱保持可能な加熱炉の内部に、空気又は純酸素が供給されるとともに、管状構造の固体電解質を含む少なくとも１つの酸素ポンプと管状構造の固体電解質を含む少なくとも２つの酸素センサが収納され、前記少なくとも１つの酸素ポンプと前記少なくとも２つの酸素センサは、前記空気又は純酸素を各固体電解質の管外パージガスとするように互いに並行して配置されるとともに、それら各固体電解質の管内を共通の処理ガスが流通可能に連結したことを特徴とする、酸素分圧制御装置。 （もっと読む）

【課題】２枚の板状基板を接合したマイクロチップにおいて、接合強度を高め、密閉性をよくし、接合時間を短くできる製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】一方の面に流路（微細溝）１９を有するガラスなどの板状の基板１６の流路側に、板状のガラス基板１５を重ね合わせるステップ、前記基板および前記ガラス基板をＸＹ軸方向に移動させ加熱装置１に対向させるステップ、加熱によって前記基板および前記ガラス基板を局部的に溶融させ接合する接合ステップよりなる。ガラス基板あるいは基板の接合面にはあらかじめ接合薄膜を形成しておく。また前記接合ステップでは、前記加熱装置の反対側にある基板１６を、断熱性および耐熱性を有し、かつ光を吸収して発熱する材質で形成される光接合補助板５０を押圧して密着させる。光接合補助板の底部には流路に対峙して流路加圧板５１を設け、該流路加圧板の形状を反映した部分的な加圧を可能とする。 （もっと読む）

【課題】
接合強度が高く、密閉（密封）性がよく、接合時間が短くて済むマイクロチップの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
本発明は、更に上記の製造方法および製造装置に製造されて、コストが低廉で、変形が少ないマイクロチップを提供すること。
【解決手段】
微細溝形成基板およびガラス基板を接合する接合ステップを有するマイクロチップの製造方法は、光源を熱源線とする加熱装置、もしくは重ね合わせた前記基板および前記ガラス基板をＸＹ軸方向に移動させ、前記加熱装置を前記基板および前記ガラス基板に対向させるステップと、前記加熱装置からの前記熱源線を前記基板と前記ガラス基板との間の接合部に照射し、前記微細溝の両側に接合線を形成するようにした前記接合ステップとを有する。 （もっと読む）