【課題】 エッチングレジスト又はめっきレジスト等のレジスト材料として特に高解像性と高密着性及びレジスト剥離性を有し、更に現像液中での分散安定性にも優れた光重合性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 （Ａ）カルボキシル基含有バインダー、３０〜８０質量％、（Ｂ）光重合可能なモノマー、１５〜６０質量％、（Ｃ）光重合開始剤、０．０１〜２０質量％を含有してな光重合組成物であって、（Ａ）カルボキシル基含有バインダーが、少なくとも一般式（Ｉ）で表されるモノマー、１５〜３５質量％、一般式（ＩＩ）で表されるモノマー、１０〜８０質量％、及び一般式（ＩＩＩ）で表されるモノマー、１〜５０質量％を共重合し,かつ、重量平均分子量が５，０００〜５００，０００である共重合体（ａ−１）を、（Ａ）成分１００質量％のうち５質量％以上含有することを特徴とするアルカリ現像可能な光重合性樹脂組成物を用いる。 （もっと読む）

【課題】 センサの温度ドリフトや外来ノイズの影響により出力信号が大きく変動して飽和することを防ぎ、安定した測定を行うこと。
【解決手段】 オフセット成分１１を加減算して測定されたアナログ入力信号１０をＡ／Ｄコンバータ２によりデジタルの出力信号１３に変換し、オフセット成分を更新する条件が満たされている場合にはＡ／Ｄコンバータ２から出力された出力信号１３をもとに、新たにオフセット成分を算出し、その算出されたオフセット成分を更新する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な作業でペリクル膜及び仮枠を成膜基板から確実に剥離させる大型ペリクル用剥離装置を提供すること。
【解決手段】 少なくとも一辺が７００ｍｍ以上である大型のペリクル膜を形成するための成膜基板を載置する載置台と、前記載置台上に位置決めされた成膜基板に対して粘着固定される仮枠に当接し該仮枠を連続的に上昇させる上昇機構と、を有することを特徴とする大型ペリクル用剥離装置。 （もっと読む）

本発明は、小型化と低背化が可能で、かつ外部への漏れ磁束密度の小さい、さらには製品寿命の長い操作性の良好なポインティングデバイスを提供する。磁気センサ（２１）は、Ｘ軸及びＹ軸に沿って２個ずつ対称に実装基板（２４）に配置されている。実装基板（２４）上にシリコーン樹脂（２３）を配置し、磁気センサ（２１）の略中央部分に内外単極着磁のリング状磁石（２２）を配置する。実装基板（２４）とシリコーン樹脂（２３）は接着されていない。シリコーン樹脂（２３）は、外力を加えることにより容易に変形し、その外力を除くと直ちに、外力を加えていない初期状態に復帰する。リング状磁石（２２）の移動は、実装基板（２４）の表面に対して略平行移動するような構成にする。リング状磁石（２２）の移動によって生じる周囲の磁束密度の変化を磁気センサ（２１）で検出し、入力点の座標値を出力するようにする。
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【課題】 安定性が良好で、低い熱硬化温度で使用しても優れた耐熱性と電気特性、機械特性などを有するポジ型感光性樹脂組成物の提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表わされる繰り返し単位を有するヒドロキシポリアミド１００質量部と、特定のエステル化合物０．１〜３０質量部と、感光性ジアゾキノン化合物１〜１００質量部とを含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
【化１】
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【課題】 本発明は高感度でホールドタイムによる感度低下（感度変化）の少ない感光性樹脂積層体を提供すること、ならびに、この感光性樹脂積層体を用いて、基板上に感光性樹脂層を形成し、露光し、現像する工程を含むレジストパタ-ンの形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】支持体フィルム、感光性樹脂組成物、保護フィルムからなる感光性樹脂積層体において、保護フィルム中の酸化防止剤量が１８０ｐｐｍ以下であることを特徴とする感光性樹脂積層体を提供する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、スリットコート法を用いて均一な溶液膜を得ることができ、確実にペリクル膜を成膜することのできる大型ペリクルの成膜方法を提案するものである。
【解決手段】 記課題を解決するために、本発明に係る大型ペリクルの成膜方法は、少なくとも１辺が５００ｍｍ以上の鏡面研磨されたガラス基板上にスリットコーターを用いて成膜する成膜方法において、ダイのスリット幅を２０μｍ以上１４０μｍ以下として塗布を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 電子コンパスを備えた携帯端末を、自動車に固定して進行方向の方位を表示させる際の初期方位を求めるようにした方位角測定方法及び方位角測定装置を提供すること。
【解決手段】 まず、車外にて携帯端末で取得した地磁気測定データからあらかじめ地磁気オフセット値を算出しておく（Ｓ５１）。次に、車外にて携帯端末を車体の向きに合わせてＸ，Ｙ，Ｚ各軸の磁気強度を測定する（Ｓ５２）。次に、車内にて携帯端末を固定し、Ｘ，Ｙ，Ｚ各軸の磁気強度を測定する（Ｓ５３）。次に、Ｓ５２において測定された磁気強度及びＳ５３において測定された磁気強度の差分を演算し、Ｓ５１で求めた地磁気オフセット値から加減算する（Ｓ５４）。このようにして、正確な方位角測定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 従来の研磨パッドに比較して、コンディショニング条件等の影響を受けにくく経時的に安定して高い研磨速度を発現し、また耐磨耗性に優れ、しかも製品内あるいは製品間の品質や性能のバラツキが小さい研磨パッドを提供する。特に、ダマシン配線の銅配線パターンあるいはアルミニウム配線パターン等の厚い導電体パターンの研磨に適する平坦化能力の高い研磨パッドを提供する。
【解決手段】 光重合性官能基を持たない熱可塑性樹脂を１０〜５９．９質量％、光重合性モノマーを４０〜８９．９質量％、光重合開始剤を０．１〜１０質量％含む樹脂組成物であって、該樹脂組成物が上記各成分を均一に溶解混合した液状物である感光性樹脂組成物、およびその硬化物からなる研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】 プラスチック光ファイバケーブルの状態のままで側面から漏光するように加工することができるプラスチック光ファイバケーブルを提供する。
【解決手段】 プラスチック光ファイバの鞘層の外側に光吸収層を有し、更にその外側に光を透過させる透明な被覆層を有するプラスチック光ファイバケーブル。 （もっと読む）