【課題】複数画像の識別に、小型で並列画像処理を可能とする光アナログ画像処理法と装置を提供する。
【解決手段】複数形状の同時並列識別のための、光アナログ画像識別法を用いて行う方法および装置に関するもので、LCOS画面に物体光と参照光の簡便作成手段を導入し、多重マッチトフィルタ４６作成光学系の光路を短縮し、鮮明な光回折パターン取得光学系で多重マッチトフィルタ４６の作成を容易にした、複数形状の同時並列実時間識別の小型簡便な方法と装置を提供した。 （もっと読む）

【課題】
従来、プリント基板の外観検査装置等で試みられている、位置ずれした被検査基板のずれ補正の前処理を施し、被検査基板画像と基準画像との差分をとって、基板の欠陥検査が行われていた。しかし、その位置ずれ補正の前処理にかなりの時間を要し、検査のタクトタイムを短縮することが困難であった。そのために、位置ずれ補正と画像の差分が迅速に精度よく行われる技術と装置の開発が求められてきた。
【解決手段】
本発明は、画像欠陥の検査のために、基準画像と被検査画像の両者をフーリエ変換して、両者のフーリエ変換強度画像の回転角変化を補正して差分した画像と、前記何れかの画像のフーリエ変換位相画像とで逆フーリエ変換画像を求めて、２画像間の差異を求める方法と装置を提供した。２画像間に位置ずれ、回転ずれがあっても、2画像間の差異が明確に求まり、画像欠陥等の検査を簡単に迅速に行うことができた。 （もっと読む）

【課題】生体細胞のような位相物体の観察に用いられてきた従来の位相差顕微鏡に代わって、広くて深い測定視界を持ち、位相差の干渉画像が鮮明に得られる、単純で簡便な位相物体画像の識別、検査の方法と装置を提供する。
【解決手段】可干渉性平行レーザ光束中に設置されたフーリエ変換レンズで構成される広い測定視界中に置かれた位相物体から得られるフーリエ変換像(光回折パターン)の零次光だけを高次の回折光と異なる位相差参照光として、高次光回折パターンで得られる位相物体像と干渉させて鮮明な位相差画像を得る。また、位相物体の位相差を含めて異なる形状の複数形状粒子群を形状ごとに数や挙動や位置を自動計測するために、多重マッチトフィルタ法を含んだ位相差画像を検査する。 （もっと読む）

【課題】従来の光アナログ法は、画像情報の並列実時間処理には適するが光学装置の小型化が困難で装置構成に利便性を欠いていた。そのために複数画像の識別に、小型で並列画像処理を可能とする光アナログ画像処理法と装置を提供する。
【解決手段】識別物体導入手段または識別物体形状写出手段を、フーリエ変換レンズの前側で前焦点面に限定することなく設置し、多重マッチトフィルタ作成光学系の光路を短縮し、鮮明な光回折パターン取得光学系で多重マッチトフィルタの作成を容易にした。複数形状の同時並列実時間識別の小型簡便な方法と装置を提供した。 （もっと読む）

【課題】
プリント配線基板等、特に光透過型電子基板の欠陥を、基板のずれを気にせずに光学的処理により高精度、迅速、かつ、自動的に検出することができる形状欠陥等の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】
可干渉性レーザ光源、可干渉性平行レーザ光束中に設置されたフーリエ変換レンズと、そのレンズの前方に設置された検査物体の回転を抑えるためのガイド溝を通して搬送する検査物体の導入手段または検査物体形状写出手段と、前記レンズの光軸中心の後焦点面または光軸中心の後焦点面付近に設置された形状識別手段としての光差分または排他的論理和を行う光学フィルタ(光差分フィルタまたは光相関フィルタ)を含む光差分器や光相関器と、光学フィルタを前焦点面として設置された逆フーリエ変換レンズと、逆フーリエ変換レンズからの画像を撮り込む電子カメラ、とで構成される画像の差異や画像欠陥を検査する方法および装置。 （もっと読む）