本発明は、エリプソメーターシステムおよび偏光計システムに関し、より具体的には、３００GHz以下から少なくとも１テラヘルツ（THz）超に及ぶ、好ましくは１００THz超までの赤外線（ＩＲ）範囲にわたる周波数範囲で動作するエリプソメーターまたは偏光計または同様のシステムに関する。このシステムは、後進波発振器（ＢＷＯ）；スミスパーセル（Smith-Purcell）（ＳＰ）セル；自由電子レーザ（ＦＥ）、またはＦＴＩＲ光源などの光源、および固体デバイス；およびゴーレイ（Golay）セル（ＧＣ）；ボロメーター（ＢＯＬ）または固体検出器などの検出器を含み；および好ましくは少なくとも１つのオッドバウンス偏光状態像回転システム（ＯＢＩＲＳ）を含み、および任意選択で偏光子（Ｐ）、少なくとも１つの補償子（Ｃ）および／または変調器（ＭＯＤ）、ならびに検光子（Ａ）を含む。 （もっと読む）