【課題】波長依存性の少ないリターダーシステムを提供する。
【解決手段】入射電磁ビームが２つの平行四辺形状の菱面体のそれぞれにおいて少なくとも１回は内部全反射するように互いに向きを定めて置かれ、それらの第１の面ＲＳ１と第３の面ＲＳ３、及び第２面のＲＳ２と第４面のＲＳ４がそれぞれ実質的に平行となるように向きを定めて置かれている。それらの一方の菱面体の第１の面に、その面に対して実質的に垂直に入射するようにされた電磁放射線のビームは、このビームが、一方の菱面体の第４の面ＲＳ４及び第２の面ＲＳ２で内部反射され、続いて、一方の菱面体の第３の面から出射するように進み、このビームの出射方向は、このビームがもう一方の菱面体の第１の面に、この面に対して実質的に垂直に入射し、続いて、このビームが平行四辺形状の菱面体の第２の面及び第４の面で内部反射されて、もう一方の菱面体の第３の面から出射する。 （もっと読む）

本発明は、エリプソメーターシステムおよび偏光計システムに関し、より具体的には、３００GHz以下から少なくとも１テラヘルツ（THz）超に及ぶ、好ましくは１００THz超までの赤外線（ＩＲ）範囲にわたる周波数範囲で動作するエリプソメーターまたは偏光計または同様のシステムに関する。このシステムは、後進波発振器（ＢＷＯ）；スミスパーセル（Smith-Purcell）（ＳＰ）セル；自由電子レーザ（ＦＥ）、またはＦＴＩＲ光源などの光源、および固体デバイス；およびゴーレイ（Golay）セル（ＧＣ）；ボロメーター（ＢＯＬ）または固体検出器などの検出器を含み；および好ましくは少なくとも１つのオッドバウンス偏光状態像回転システム（ＯＢＩＲＳ）を含み、および任意選択で偏光子（Ｐ）、少なくとも１つの補償子（Ｃ）および／または変調器（ＭＯＤ）、ならびに検光子（Ａ）を含む。 （もっと読む）

アライメントシステム（AS）と機能的に複合されているサンプル調査システム（ES）、およびマッピングエリプソメーターまたは同様のシステムへの適用を用いた著しく迅速に（例えば秒単位の）、サンプル高さ、入射角度および入射面の調整を可能にする方法論。
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制御偏光子（Ｐ２）及びビーム偏光子（Ｐ）を、任意に介在する制御補償子（Ｃ）と併用して適用することにより、電磁ビームの強度を波長スペクトルにわたって制御する、エリプソメーター又はポラリメーターのシステム及びその方法。
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広スペクトル域（例えば、１９０〜１７００ｎｍ）の回転補償子型の分光的なエリプソメーター及び／又はポラリメーターシステムに使用できる実質的にアクロマティックな複数の素子の補償子型のシステム。多数回の内部全反射が、電磁放射線の入射ビームにリターダンスを生じさせ、これら素子は、これら素子のシステムを位置及び／又は回転の変化に起因する正味リターダンス対入射ビームの入射角の変化を最小限にするように、向きを定めて置かれている。
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分光エリプソメーター、及び分光リフレクトメーター／エリプソメーター複合システムを開示している。分光エリプソメーターシステム部分は、データ収集の期間中は、回転された位置に固定されたままである偏光子素子（Ｐ）及び検光子素子（Ａ）と、前記電磁放射線のビームに、連続的に変化するのではなく、複数のシーケンシャルで離散的な偏光状態をもたらすことができる、段階的に回転可能な補償子（ＤＳＰ）電磁ビーム透過手段とを含む。さらに、前記分光エリプソメーターシステムの数学的モデルを提供すること及び数学的回帰法手順の適用と併せて、複数のエリプソメトリック的に区別されるサンプルシステムそれぞれのために、複数のシーケンシャルなで離散的な電磁放射線ビームの偏光状態における分光分析データを収集することを含む、本発明の前記分光エリプソメーターシステム部分の作動手順を開示している。
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