【課題】ウェハ等の基板の乾燥処理に用いられる清浄気体加熱装置において、微細パターンが形成された基板に対して、効率的に加熱された清浄気体をその高い清浄度を保ちながら供給して、乾燥処理を行う。
【解決手段】清浄気体加熱装置において、外管部材と内管部材の二重管構造を採用し、内管部材の内側に、赤外線を放射する赤外線発生源を配置させるとともに、内管部材を赤外線に対して透過性を有する透明石英にて構成し、外管部材を赤外線に対して不透過性を有する不透明石英にて構成されることで、耐熱性及び清浄度環境にての使用性に優れるという石英の特性を効果的に利用して、清浄気体に対してパーティクルや不純物が混入されることを抑制しながら、清浄気体に対する効率的な加熱を実現する。 （もっと読む）

【課題】 不燃性であり、照明カバーに適した光線透過率を有することが可能な照明カバーを提供する。
【解決手段】 ポリテトラフルオロエチレン樹脂含浸ガラスクロスシート１、熱溶融成形性含フッ素樹脂層２、ガラスクロス３及び低発煙性樹脂層を含む積層体１０からなる不燃性照明カバーであって、前記ポリテトラフルオロエチレン樹脂含浸ガラスクロスシート１は、前記積層体１０における最表層であることを特徴とする不燃性照明カバー。 （もっと読む）

【課題】フッ素樹脂の基材への接着性とロールからの離型性を両立させることができ、ロールを用いて基材へフッ素樹脂層を積層した積層体からなる帯電防止シートおよび電磁シールドシートを提供する。
【解決手段】基材の少なくとも一方の面に、基材に対して付着性を示すフッ素樹脂からなる第１樹脂フィルムおよび所望により第２樹脂フィルムを積層し、加圧することにより、基材、第１樹脂フィルム層および所望により第２樹脂フィルム層を有する積層体からなる帯電防止シートおよび電磁シールドシート。 （もっと読む）