【課題】 容易に得ることができ、かつ、種々の用途に使用できる高品質な樹脂成形品を提供する。
【解決手段】 樹脂成形品１は、シリコンウエハなどの半導体ウエハを薬液洗浄するための角槽からなる薬液処理槽である。樹脂成形品１は、２層構造からなり、内側の層２は、純粋なＰＴＦＥ（例えば、ダイキン工業株式会社製のＰＴＦＥ Ｍ３９２又はＭ３３）によって形成されている。また、樹脂成形品１は、外側の層３が導電性ＰＴＦＥによって形成されている。導電性ＰＴＦＥは、例えば、純粋なＰＴＦＥ（例えば、ダイキン工業株式会社製のＰＴＦＥ Ｍ３９２又はＭ３３）にカーボンブラックを５％混合することによって得られる。 （もっと読む）

【課題】信頼性に優れた小型音響センサを提供する。
【解決手段】本発明の小型音響センサは、金属材料からなるカップ状の背極１８と、上記カップ状の背極１８の外側表面上に形成されたエレクトレット誘電体膜１９とを含み、上記カップ状の背極１８の少なくとも外側表面に、陽極酸化処理又は化成処理により絶縁層１８ａが形成されていることを特徴とする。上記金属材料は、アルミニウム、チタン、又はマグネシウムである。上記エレクトレット誘電体膜１９は、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、又はテトラフルオロエチレン−パーフルオロメチルビニルエーテルからなるフィルムをエレクトレット化したものである。 （もっと読む）

【課題】実質的に異方性が無く、かつ表面の傷が少ない分極化樹脂フィルムを得ることができる、分極化樹脂フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】ポリマーを製膜して得られた樹脂フィルムを、延伸することなく、コロナ放電処理により分極させる。負コロナを発生する上部電極としての線状電極１は、アースされた下部電極であるグランド電極２と並行に配置され、かつ高圧電源３に接続されている。線状電極１は、樹脂フィルム４全体にコロナ放電処理できるように、グランド電極２に対して、矢印方向に移動できように構成されている。線状電極１をグランド電極２に対して移動させながら、線状電極１とグランド電極２に高電圧を印加することで、樹脂フィルム４が分極される。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハの端部に形成された薄膜または異物を、確実にかつ効率的に除去することができるウェハ端部処理装置を提供する。
【解決手段】ウェハ端部処理装置において、複数枚のウェハを起立状態にて互いに平行にかつウェハの中心を同軸上に配列させて支持するとともに、ウェハの中心を回転中心として複数のウェハを同時に回転駆動させるウェハ支持回転ユニットと、ウェハ支持回転装置により回転される複数のウェハの端部に接触しながら洗浄液を供給して、洗浄液により端部の薄膜または異物を除去する洗浄液供給ユニットと、洗浄液供給ユニットにより複数のウェハの端部に供給された洗浄液を除去する洗浄液除去ユニットとを備えさせ、複数枚のウェハを起立状態の姿勢にて端部にて対する処理を同時的に行う。 （もっと読む）

【課題】常時開位置又は常時閉位置に弁体と弁座との関係を維持するバネを使用しつつも耐食性に優れた弁を提供する。
【解決手段】ケーシング２０内を流体が流れる流路２０ｃと、ピストン５を軸方向に移動させる駆動力を作用させる駆動部材移動室３７とを完全に隔離し、流体が駆動部材移動室３７内に侵入しないようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、誘電特性に悪影響を及ぼすことなく基板の強度を高めることにより、誘電特性に優れた絶縁基板及び該基板を使用してなるアンテナ基板を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る高周波帯域用絶縁基板材料１１は、ＰＴＦＥ粒子により作成した多孔質ＰＴＦＥシートａ１，ａ２，ａ３と熱溶融性のフッ素樹脂フィルムｂ１，ｂ２との積層体をフッ素樹脂フィルムの融点以上で加熱加圧することにより接着一体化した複合多孔性フッ素樹脂シートの下面に金属板ｄを貼着したものである。 （もっと読む）

【課題】純水内に浸積され洗浄処理が行われた基板を乾燥させる基板乾燥において、上記基板に微細化されたパターンが存在するような場合であっても、確実に上記基板に付着した純水を除去して基板を乾燥させる基板乾燥装置及び方法を提供する。
【解決手段】純水内に浸積された基板を取り出した後、上記基板の表面に液状のイソプロピルアルコールを供給して、上記基板の表面に付着している上記純水を上記イソプロピルアルコールに置き換え、その後、上記基板の表面から上記イソプロピルアルコールを蒸発させることにより上記基板を乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】洗浄液などの液体が付着した基板を乾燥させる基板乾燥において、上記基板に微細化されたパターンが存在するような場合であっても、確実に上記基板に付着した液体を除去して基板を乾燥させる基板乾燥装置及び方法を提供する。
【解決手段】基板に対して、互いに対向する側方及び上方から乾燥空気を吹き付ける吹き出し部を備えさせることで、基板表面に付着した液体を短時間で効果的に除去する。さらに、乾燥チャンバの内壁部に沿って乾燥空気の一部を循環させて、この循環された空気を加熱ヒータにて加熱して、再び基板に吹き付けるような構成を採用することで、乾燥効率をさらに向上させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ポリテトラフルオロエチレン（以下ＰＴＦＥ）絶縁層を多孔質化し、その誘電損失を低減しても中心導体と絶縁層間の引抜き力を有している、高周波領域においても減衰量の優れた多孔質ＰＴＦＥ絶縁電線及びそれを用いた同軸ケーブル、ならびにその製造方法を提供することにある。
【解決手段】ＰＴＦＥ樹脂を中心導体１１に押出被覆する際に、中心導体１１の外周にＰＴＦＥ樹脂製の絶縁層１２を被覆形成するチュービング押出方式を用いたペースト押出成形において、ＰＴＦＥ樹脂の未焼成状態では絶縁層１２と中心導体１１との間に間隙ｑが存するように成形することにより、絶縁層１２〜中心導体１１に密着させない状態で被覆し、連続炉内で延伸し多孔質化した後、焼成時に半径方向に収縮せしめることによって中心導体と絶縁層間の引抜き力を付与した多孔質フッ素樹脂絶縁電線１０を製造する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハの洗浄等に使用する液体に対して加熱を行う装置であって、上記液体に対する耐性に優れ、長寿命化が図られた低価格な液体加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱対象物である液体を収容する容器と、上記容器内の上記液体に対して赤外線を放射して、上記液体を加熱する赤外線発生源と、上記赤外線に対する透過性を有し、かつ上記液体に対する耐性を有する樹脂材料により形成されるとともに、上記容器内において、上記収容されている液体中に少なくともその一部が浸積されるように配置され、その管状形状の内側に上記液体との接触を防止しながら上記赤外線発生源が配置される赤外線発生源配置用空間を形成する管状部材とを備えるように液体加熱装置を構成する。 （もっと読む）