【課題】プローブピンとパッドとの位置合わせを正確に行うことができるＴＣＰ試験装置を提供する。
【解決手段】プッシャ機構３とプローブ機構４との間の間の空間にカメラ５１を設ける。これにより、プローブピンの接触端およびパッドの端部を撮像することが可能となるので、これらの撮像データに基づいてプローブピンとパッドとの位置ずれ量を測定し、この位置ずれ量に基づいてＴＣＰを移動させることにより、プローブピンとパッドとの位置合わせを正確に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】時間幅測定における分解能を向上させる。
【解決手段】既知のクロック周波数でクロック信号を発生する基準クロック発生源（２）と、前記クロック信号に基づいて被測定信号をサンプリングして得られたデジタル信号をシリアル／パラレル変換して所定のビット数のパラレル信号を出力するデシリアライザ（３）と、このデシリアライザより出力される前記パラレル信号を記憶するメモリ（４）と、このメモリに記憶された前記パラレル信号に基づいて前記被測定信号に含まれる時間幅を算出する演算回路（５）とを設けた。 （もっと読む）

【課題】効率を向上させることができる搬送システムを提供する。
【解決手段】制御装置７は、第１撮像装置５により撮像された撮像データに基づいて、ピックアップコレットにより次に吸着される電子部品の位置を確認し、ピックアップコレットの吸着端に電子部品が位置するようにウエーハフレームＷを固定している固定部を移動させる。これにより、姿勢を矯正するための工程や処理装置を設けなくてよいので、処理時間を短くすることができる。また、電子部品を挟み込まずに姿勢を矯正することができるので、電子部品の破損を防ぐことができ、破損した電子部品を片付けることによる効率低下を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現することができるウェーハフレームの搬送装置および搬送方法を提供する。
【解決手段】倒立部４は、ウェーハフレームＷをその平面を鉛直方向に沿わせた状態に倒立させる。移動部５は、ウェーハフレームＷをその状態で搬送する。これにより、ウェーハフレームＷの平面を水平方向に沿わせた状態で搬送する場合に比べて、ウェーハフレームＷの搬送経路に要する面積が小さくなるので、結果として、小型化を実現することができる。すなわち、本実施の形態では、ウェーハフレームＷの平面を鉛直方向に沿わせた状態に倒立させて搬送するので、搬送経路は、少なくとも、ウェーハフレームＷの移動距離とウェーハフレームＷの厚さとを乗じた面積だけで済むので、従来よりも搬送経路に要する面積を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】不良と判定された電子部品を低いコストで交換でき、電子部品を生産性よくテープに収納することが可能な電子部品の収納方法を提供する。
【解決手段】電子部品５を電子部品用搬送装置７によってキャリアテープ１１に移載させるステップと、キャリアテープ１１に移載された電子部品５を第１のカメラ５３によって撮像するステップとを有する。前記第１のカメラ５３によって撮像された画像に基づいて電子部品５が予め定めた条件を満たしているか否かを判定するステップを有する。前記条件を満たしていない電子部品５を、キャリアテープ１１を後退させることにより電子部品受け渡し部Ａに戻すステップと、電子部品受け渡し部Ａに戻された電子部品５を電子部品用搬送装置７によって回収するステップおよび電子部品が回収され空になった前記電子部品収納用テープにこれから前記第１のカメラ５３により撮像する新しい電子部品５を挿入するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】電子部品収納用テープの送り方向への位置決め作業を短時間でかつ位置決め精度が高くなるように実施する。
【解決手段】キャリアテープ６を送るテープ送り装置１１と、キャリアテープ６の凹部７を上方から撮像する撮像装置２１とを備える。キャリアテープ６を送る位置の基準になるように撮像装置の撮像範囲Ａ内に設けられた基準位置マーク３１と、撮像装置の画像データを用いて基準位置マーク３１に対する凹部７の送り方向の位置ずれ量を測る画像処理装置とを備える。テープ送り装置１１は、前記位置ずれ量が０になるようにキャリアテープ６の送り量を制御する送り量制御部を備えている。 （もっと読む）

【課題】電子部品の搬送効率を高く保ちながら、電子部品が破損することがない電子部品用搬送装置を提供する。
【解決手段】電子部品を有する第１の受け渡し部と、電子部品を移載させる第２の受け渡し部と、電子部品吸着用の吸着コレット１１と、吸引装置と、吸着コレット１１を水平移動させる移動装置（ターンテーブル３、駆動装置１３）とを備える。吸着コレット１１は上下方向に移動できないように移動装置に保持される。吸引装置は、吸着コレット１１が第１の受け渡し部の上方にあるときに吸引を開始し、吸着コレット１１が第２の受け渡し部の上方にあるときに吸引を停止する。第１の受け渡し部と第２の受け渡し部との間には、電子部品と吸着コレット１１とが水平移動可能な移動空間Ｓ１〜Ｓ５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】各吸着コレットの高さ調整を短時間でかつ高い精度で行うことができる電子部品用搬送装置を提供する。
【解決手段】ターンテーブル２と、複数の吸着コレット１３と、空気圧装置１８と、昇降装置１４と、吸着コレット１３の下降量を制御する制御装置２１とを備える。制御装置２１は、吸着コレット１３の基準高さを昇降装置１４とは別の検出系を用いて検出する高さ検出部３８を有する。制御装置２１は、各吸着コレット１３の基準高さと、昇降装置１４によって検出された各吸着コレット１３の高さとが一致するように吸着コレット１３毎の下降量を補正する補正部３９を備えている。 （もっと読む）

【課題】不良品の発生や装置の故障を抑えることができるハンドラを提供する。
【解決手段】制御装置は、リード押さえ７２の凹部７２１の開口を、載置台と対向させた状態で吸着スリーブ７３で電子デバイスを吸着した後に、コンタクトヘッドを反転させて、ソケットと対向させた状態、すなわち、リード押さえ７２を上方に向けた状態で吸着スリーブ７３の吸着を解放し、吸着スリーブ７３を下方に移動させる。これにより、電子デバイスが重力により下方に移動してリード押さえ７２の凹部７２１内部に正しく収容される。この状態でソケットに押圧することにより、不良品の発生や故障を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】安定かつ高速に電子部品を渡すことができるハンドリング装置および電子部品検査システムを提供する。
【解決手段】昇降装置２３は、電子部品を吸着した吸着部２１５を搬送位置から受け渡し位置に移動させる際、搬送位置からこの搬送位置と受け渡し位置との間の切り替え位置で押圧部２３５を減速する。これにより、電子部品を渡す直前には切り替え位置よりも低速で電子部品を移動させて受け渡し位置での衝撃を軽減するので、電子部品が破損するのを防ぐことができる。また、電子部品の移動に要する時間を所定の値にできるとともに、切り替え位置までは高速で電子部品を移動させることにより移動に要する時間を短縮することができる。結果として、より安定かつ高速に電子部品を渡すことができる。 （もっと読む）