【課題】半導体製造ラインにおいて、ＦＯＵＰ内へＮ２ガスを供給して、Ｎ２ガスパージを十分に行うことができ、且つパージ時間も短くすることができるノズルユニットを提供する。
【解決手段】上部にブリージングフィルターユニットの通気開口に密着するノズル先端部３６、下部に半球面シール部３７を備えると共に、上部と下部をガス通路３８が貫通した構造のノズル３５と、上部に前記ノズル３５の半球面シール部３７を受けて保持するための凹型半球面シール部４３を備え、且つ中心にガス通路４５を備えたノズル受け４２、更に、前記ノズル３５の可動性を維持したまま、該ノズル３５をノズル受け４２に保持すべく、ノズル３５とノズル受け４２にＯリング溝４６および保持用Ｏリング４７をそれぞれ設けてＮ２ガスパージ装置におけるノズルユニットを形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ収納容器洗浄後のブリージングフィルターユニット内部の水分の除去を容易にすると共に、N_２ガスパージの開始前にブリージングフィルターユニット内部、パージ装置のノズルユニット、バルブ、配管に付着している塵を事前に除去する。
【解決手段】筒状筐体４１の上方に開口された上端開口部４６にフィルター６を備える一方、前記筒状筐体４１の底部４２に、N_２ガス供給側通気開口7と残留ガス排気側通気開口８の２個の通気開口をそれぞれ開口すると共に、前記N_２ガス供給側通気開口７にブリージングフィルターユニット１の内部にN_２ガス３０が供給されるときだけ開くシャッター手段１０と、前記残留ガス排気側通気開口８に前記ブリージングフィルターユニット１内の残留ガス３１が、該通気開口より排出されるときだけ開くシャッター手段と１１を設置する。 （もっと読む）

【課題】ＦＯＵＰ用Ｎ２パージシステムに関するもので、ＦＯＵＰ内をＮ２ガスに置換するときに、外部の塵またはケミカルガスの浸入を抑え、Ｎ２ガスに対する安全性を高めるとともに、Ｎ２ガスへの置換時間を短縮する。
【解決手段】ＦＯＵＰ１内へＮ２ガス２１を圧入し、もう一方のブレスフィルター部４よりＦＯＵＰ１内の残留ガス２５を強制的に吸引する方法で、ＦＯＵＰ１内部が外気に対して常に陽圧の状態に維持され、ＦＯＵＰ１のＮ２ガス置換中に外部からの塵およびケミカルガスのＦＯＵＰ１内への浸入を防ぐ。さらに、Ｎ２ガス置換中にＦＯＵＰ１内の圧力の上昇が一定に保たれ、隙間から漏洩するＮ２ガス流量も極少量に一定に保たれるため、Ｎ２ガス２１の供給量を増加させて、ＦＯＵＰ１内のＮ２ガス置換時間の短縮を図る。 （もっと読む）

【課題】空気噴き出しスリットより、長手方向に対して直角に、且つ、長手方向での吹き出し風速分布を均一にして噴き出すことができるエアカーテン用空気噴き出し装置に関する。
【解決手段】筒状密閉容器１に、長手方向に空気噴き出しスリット２を設けたエアカーテン用空気噴き出し装置において、前記空気噴き出しスリット２に沿って、前記筒状密閉容器１内部に、空気の濾過、および内部圧力を均一にするための円筒状フィルタ３を設置すると共に、該円筒状フィルタ３の一方端に連通して前記筒状密閉容器外へ突設された空気供給パイプ３ａに空気供給口部６を備え、更に前記円筒状フィルタ３内部に空気の流れを整流する整流器７を設ける。 （もっと読む）

【課題】数パスカル程度の超微差圧の検出が可能で、視認性のよいフロート式微差圧表示器を提供する。
【解決手段】区画壁３により区画された陽圧側の空間１と陰圧側の空間２との圧力差を検出すべく、区画壁３に通気孔４を貫通する一方、透明な中空パイプ８と連通する取付用基部６に設けられた通気路５の一端が通気孔４に連結され、更に中空パイプ８内にフロート１１が装入され、２空間の圧力差により、通気路５と中空パイプ８内に発生する気流でフロート１１を上下動させる方式のフロート式微差圧表示器において、フロート１１をカップ状の半球体とすることにより、フロート重量の軽量化を図り、陽圧側の空間１と陰圧側の空間２との僅かな圧力差による空気流でも、フロート１１の球面側が常に下側を向き、安定して浮上するようにして、該フロート１１の状況を外部より視認できるようにする。 （もっと読む）

【課題】ミニエンバイラメント方式の半導体製造装置において、ＦＯＵＰのウエハの出入口とローディング部の開口部からダクトが侵入するのを防止する。
【解決手段】ローディング部４の開口部１８の内周面部に、方形枠状のフィルタ収納ケース３２内に、円筒状濾材３３を方形枠状に連結して形成された方形枠状フィルタ３４を配設した清浄空気噴出装置３０が設置され、該清浄空気噴出装置３０を構成するフィルタ収納ケース３２の外側面部３２ａおよび内周面部３２ｂに、多数開口された通気小孔４０より成る噴出部２９から、清浄空気４２をＦＯＵＰ６の出入口９および前記ローディング部４の開口部１８の全周面に沿って均一な風速で噴出して、エアカーテンを形成することにより、前記ＦＯＵＰ６の蓋１０の開放時に、ダスト２７を含んだ外気が、ＦＯＵＰ６および半導体製造装置１内の清浄空間へ侵入するのを阻止する。 （もっと読む）

【課題】供給口から入射した軟Ｘ線が排出口に至る間に、衝突回数を少なくとも３回以上とすることにより、軟Ｘ線の直進性を阻止して、軟Ｘ線を減衰・消滅させて、排出口からの軟Ｘ線の漏洩を防止する。
【解決手段】第１外層シート２に、イオン化空気１１の供給口５が開口され、中間層シート３に、前記供給口５と連通するイオン化空気流入開口６を備えたイオン化空気通路７が開口され、第２外層シート４に、前記イオン化空気通路６に連通する排出口８が開口される一方、前記各シート２・３・４を積層固着して、前記供給口５、イオン化空気通路６および排出口８を連通して設けられたイオン化空気通過部９を１個、または複数個備える軟Ｘ線遮蔽シート１を形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ収納容器内の空気を、清浄化する半導体ウエハ収納容器に使用するシャッター付きブレスフィルター装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハ収納容器２の底板３に設置されたブレスフィルター部５は、上端開口部にフィルター１４を備え、底壁１１に通気開口１２を設け、且つ前記通気開口１２上に、該通気開口１２よりは径大なマグネット付きシャッター４が上下動移動可能に設置されると共に、前記通気開口１２内に磁性体吸引板２５を設置して形成され、更に、パージ装置６に設置されるマグネット付きノズル部７は、通気空間２６を備えた筐体２７に、前記ブレスフィルター部５のマグネット付きシャッター４と極性を異にするシャッター開放用マグネット３３を取付けて形成される。 （もっと読む）

【課題】大気中に排出された排気ガスに対して有効であり、低価格で製造することができ、且つ連続して運転した場合にランニングコストが比較的安い空気浄化用フィルタ装置を提供すること
【解決手段】外部空気を取り込む送風手段(7)と、該送風手段からの空気を濾過・清浄化して外部へ送出するフィルタ部材(4)とから構成された空気浄化用フィルタ装置(1)であって、前記フィルタ部材は比較的低品質のフィルタを使用し、前記送風手段は、モータ駆動の送風機を有し、前記フィルタに対する定格流量より低い流量の空気を該フィルタに送ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ収納容器の蓋を開けることなく、該半導体ウエハ収納容器内のケミカルガスを除去すると共に、酸の発生を阻止する。
【解決手段】半導体ウエハ９を収納した半導体ウエハ収納容器１の底板５に複数個設けられた呼吸口８のうち、供給側の呼吸口８ａと排出側の呼吸口８ｂに連結固定するドライエアまたは窒素ガス充填装置Ａにおいて、前記各呼吸口８ａ・８ｂは、ＰＴＦＥフィルター７を備えて形成され、且つ前記充填装置Ａは、半導体ウエハ収納容器１内にドライエアまたは窒素ガスを供給するドライエア・窒素ガス供給部１１と、半導体ウエハ収納容器１内に供給されたドライエアまたは窒素ガスにより、半導体ウエハ収納容器１内のケミカルガスを除去すると共に、水分を除去により半導体ウエハ表面の酸の発生を阻止した後のドライエアまたは窒素ガスを排出する使用済ドライエア・窒素ガス排出部１２とにより構成される。 （もっと読む）