【課題】半導体製造ラインにおいて、ＦＯＵＰ内へＮ２ガスを供給して、Ｎ２ガスパージを十分に行うことができ、且つパージ時間も短くすることができるノズルユニットを提供する。
【解決手段】上部にブリージングフィルターユニットの通気開口に密着するノズル先端部３６、下部に半球面シール部３７を備えると共に、上部と下部をガス通路３８が貫通した構造のノズル３５と、上部に前記ノズル３５の半球面シール部３７を受けて保持するための凹型半球面シール部４３を備え、且つ中心にガス通路４５を備えたノズル受け４２、更に、前記ノズル３５の可動性を維持したまま、該ノズル３５をノズル受け４２に保持すべく、ノズル３５とノズル受け４２にＯリング溝４６および保持用Ｏリング４７をそれぞれ設けてＮ２ガスパージ装置におけるノズルユニットを形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ収納容器洗浄後のブリージングフィルターユニット内部の水分の除去を容易にすると共に、N_２ガスパージの開始前にブリージングフィルターユニット内部、パージ装置のノズルユニット、バルブ、配管に付着している塵を事前に除去する。
【解決手段】筒状筐体４１の上方に開口された上端開口部４６にフィルター６を備える一方、前記筒状筐体４１の底部４２に、N_２ガス供給側通気開口7と残留ガス排気側通気開口８の２個の通気開口をそれぞれ開口すると共に、前記N_２ガス供給側通気開口７にブリージングフィルターユニット１の内部にN_２ガス３０が供給されるときだけ開くシャッター手段１０と、前記残留ガス排気側通気開口８に前記ブリージングフィルターユニット１内の残留ガス３１が、該通気開口より排出されるときだけ開くシャッター手段と１１を設置する。 （もっと読む）

【課題】病院等の病室等の屋内において、新型インフルエンザや鳥インフルエンザ等の強毒性の感染症患者を収容するに当り、周囲への感染拡大を防止する
ことのできる屋内簡易設置型陰圧方式隔離室を提供する。
【解決手段】収容患者のベッド１を含む空間部２全体を、組み立て、分解が容易な金属製もしくは合成樹脂製の骨組み材６と、気密度の高い合成樹脂製の可撓性を有する被覆シート８および敷きシート１０で密に包囲して密閉された居室３を形成し、且つ該居室３に乾式エアフィルタを備えた給気ユニット１１と排気ユニット１２とを連通し、前記給・排気ユニット１１・１２ともに風量調整を行うことにより、収容患者の居屋内陰圧度を維持しつつ、空気の高清浄度化を図り、抵抗力の弱まった収容患者の２次感染予防に対処することができるようにする。 （もっと読む）

【課題】半導体回路パターンの測定装置の性能を確保できるＦＦＵのモータ駆動ファンの振動吸収・抑制装置を得る。
【解決手段】ＦＦＵ筐体上のモータ駆動ファンをリング状に取り囲む位置に、リング状に薄い金属板を多層に積み重ねることにより剛性を低下させたリング状多層金属板を設置し、モータ駆動ファンからＦＦＵ筐体へ伝達される振動エネルギーを熱エネルギーとして消費し、振動を吸収・抑制する。多層金属板をＦＦＵに採用することにより、固有振動のＱ値が低くなり、共振しにくくなるとともに、モータ駆動ファン取り付け部の重量が増し、振動が抑制され、ＦＦＵ筐体への振動の伝播が低減される。 （もっと読む）

【課題】検査作業者の健康を損なうことなく、病理検査を安全に行うことができる病理検査用流し台付きテーブル装置を提供する。
【解決手段】作業用テーブル１と流し台２を併設した作業台３と、該作業台３の上面、下面、側面または背面のいずれかに、送風用ファン６および排気用ファン７を備えた送風・排気ボックス８を備えて形成され、前記送風用ファン６により作業台３上に送風して、該作業台３の外周縁部、または前記作業台３の外周縁部および作業用テーブル１と流し台２間に設けられた吸引部１８を介して、前記作業台３から発するホルムアルデヒド等の有害ガスを吸引して、排気ダクト２９より排気する。 （もっと読む）

【課題】解剖台の上層流状送風手段からの風速を、解剖台の吸引口へ吸引される風速より小とすることにより、被剖検体からホルムアルデヒドが剖検者の顔面部分まで拡散上昇することなく、解剖台の吸引口より吸引して除去して、前記剖検者がホルムアルデヒドを吸引することなく、安全に解剖作業ができるようにする。
【解決手段】解剖台１の四側外周縁に突設された縁枠２に、被剖検体Ｂから発するホルムアルデヒドを吸引して除去するための吸引口３を備えた解剖台１の上面天井６部分に、層流状送風手段８を設置し、該層流状送風手段８から前記解剖台１上に層流状に送風すると共に、前記層流状送風手段８からの風速を、解剖台１の吸引口３へ吸引される風速より小とする。 （もっと読む）

【課題】病原菌に汚染された血液等の有害な液体、嘔吐物等の固形物を含む液状物を、電気式掃除機、または吸引装置の吸引ホースの先端部に、着脱自在に取付けられた液体・液状物処理フィルタユニットで吸引して捕集し、然る後、液体・液状物処理フィルタユニット全体を焼却または殺菌処理、あるいは廃棄処分する。
【解決手段】電気式掃除機１ａ、または吸引装置１ｂに連結された吸引ホース２の先端部に着脱自在に取付ける液体・液状物処理フィルタユニットＡであって、該液体・液状物処理フィルタユニットＡが、ケース３内の上流側に、液体・液状物処理用フィルタ部材４が設置されると共に、該液体・液状物処理用フィルタ部材４の下流側に空気処理用フィルタ部材５を連設して形成し、更に液体・液状物処理用フィルタ部材４内に吸水手段１６を装入する。 （もっと読む）

【課題】清浄空間を必要とする施設における空調換気用外気導入ダクトに取り付けられるフィルタ装置において、このフィルタ装置のフィルタ濾材を交換する際に、施設内に給気を行いながら、かつ虫などの異物の侵入を防止できる防虫用フィルタシステムを提供することを課題とする。
【解決手段】空調換気用外気導入ダクト７に、この空調換気用外気導入ダクト７の中間に介装されて、その一部を形成するフィルタケーシング２と、このフィルタケーシング２内に、着脱自在に設けられるフィルタ固定枠３と、このフィルタ固定枠３に挟持され、フィルタケーシング２の開口部２ａを覆うフィルタ濾材４とからなる第一のフィルタ装置５を設け、かつ、第一のフィルタ装置５のフィルタ濾材４よりも屋外側に、外部からの虫の侵入を遮断する第二のフィルタ装置５’を着脱自在に設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電気式掃除機本体の吸引ホースの先端部に、フィルタを装着したフィルタ装置を着脱自在に取付けることにより、電気式掃除機本体を汚すことなく、一般ごみの外、特に危険物を含むごみを素早く吸引して、フィルタ装置内に装置されたフィルタに捕集し、捕集後は前記フィルタ装置全体を取外して、全体を焼却、または廃棄処分とすることもできるし、またフィルタのみを取替えて使用することもできるようにする。
【解決手段】電気式掃除機本体１に連結された吸引ホース２の先端部に、フィルタ３を装着したフィルタ装置Ａを着脱自在に取付ける。 （もっと読む）

【課題】半導体製造ラインにおいて、ウエハ加工後にウエハ表面にケミカルガスまたは水分が付着し、ウエハ面上のパターンが破壊されるのを防ぐために、ウエハを収納したＦＯＵＰ内にＮ２ガスを充填し、ＦＯＵＰ保管棚に保管している間、ＦＯＵＰのブレスフィルターからのＮ２ガスの漏洩を防ぎ、内部のウエハの品質を守る半導体ウエハ収納容器用保管棚を提供する。
【解決手段】ＦＯＵＰ保管棚内のＦＯＵＰ設置棚２の上面に、ＦＯＵＰの吸排気口６と合致する位置に突起状栓を設け、ＦＯＵＰ設置棚２にＦＯＵＰが設置・保管されると、ＦＯＵＰの吸排気口６とＦＯＵＰ設置棚２の上面の突起状栓が嵌合し、ＦＯＵＰの吸排気口６がシールされ、ＦＯＵＰの自重によりシール性が強められる構造の、ＦＯＵＰ設置棚２の上面に突起状栓を備えたＦＯＵＰ用保管棚である。前記突起状栓を、円錐形栓３４、バネ付き円錐形栓にすると、シール性をさらに強めることができる。 （もっと読む）