【課題】放電を誘発させるための部材として永久磁石を用い、この永久磁石をポールピースに配置することにより放電が生じ易い冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】この冷陰極電離真空計１は、一端に開口が形成された筒状の陰極４３と、前記陰極の内部空間に配置された棒状の陽極４４と、前記陽極と前記陰極との間の電界に直交する磁界を形成し、該陽極と該陰極との間に放電を起こす磁性手段４５ａ，４５ｂと、前記陰極の開口縁に着脱自在に嵌合され、前記開口を覆うポールピース１４と、前記ポールピース１４に配置された永久磁石４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】放電を誘発させるための部材の取り付けおよび交換を容易に行うことができ、その部材により放電が生じやすい冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】一端に開口が形成された筒状の陰極４３と、陰極４３の内部空間に配置された棒状の陽極４４と、陽極４４と陰極４３との間の電界に直交する磁界を形成し、陽極４４と陰極４３との間に放電を起こす磁性手段（磁石４５ａ及び磁石４５ｂ）と、陰極４３の開口縁に嵌合され、その開口を覆うポールピース１４とを備え、ポールピース１４には、ネジ１５が着脱自在に螺合され、そのネジ１５の頭部が、陽極４４の先端部と相対向して配置されている。 （もっと読む）

【課題】熱フィラメントＣＶＤ装置において、反応室の内部のヒータの設置の手間を軽減する。
【解決手段】熱フィラメントＣＶＤ装置のヒータ２０において、一対の電極２２ａ、２２ｂと、電極２２ａ、２２ｂを平行状態に相対向させ保持する枠体２３と、電極間２２ａ、２２ｂに張架された熱フィラメント２１により形成された加熱部と、電極２２ａの略下側に設けられた複数の係止部６０を備えた固定部２４と、電極２２ｂの略後方側に配置された複数の係止部７１を備えた可動部２５とを有する。加熱部は、１本のワイヤ状の熱フィラメント２１を、固定部２４の係止部６０と、可動部２５の係止部７１とに交互に架け渡し係止して電極間２２ａ、２２ｂにチドリ状に張架することにより形成される。 （もっと読む）

【課題】放電誘発部材によって放電が生じやすく、高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れをより抑制した冷陰極電離真空計を提供する。また、陰極の洗浄作業を放電誘発部材を交換することにより、陰極の洗浄作業を簡素化できる冷陰極電離真空計を提供することを目的とする。
【解決手段】放電誘発部材２０が、記板状の基体２１と、前記基体に形成された陽極が挿通する貫通孔２２と、前記基体の外縁部から斜方向に延設され、前記貫通孔の軸線方向に弾性変形可能な板状の固定部２３と、前記固定部と対峙する基体の外縁部に設けられた、前記貫通孔の軸線方向に延設された板状のガイド部２４とを備え、前記貫通孔２２が複数の長孔２２ａが放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔２２ａによって突起部２１ａが形成されると共に、前記貫通孔２２の中心部に前記陽極４４が配置されている。 （もっと読む）

【課題】アークの熱エネルギーにより金属材料を溶解するアーク溶解炉に用いられるアーク溶解用電極であって、先端の電極材が脱落する可能性を低減させたアーク溶解用電極を提供する。
【解決手段】アークの熱エネルギーにより金属材料を溶解するアーク溶解炉１の溶解室２０の室内に配置された水冷電極保持材２３ｃに取り付けられるアーク溶解用電極であって、円柱状に形成され、その軸芯部に貫通孔２３ｂ２が形成されていると共に、水冷電極保持材２３ｃに着脱自在に取り付けられる接続部材２３ｂと、棒状に形成されていると共に、その後端部が接続部材２３ｂの貫通孔２３ｂ２に挿入されて接続部材２３ｂに接合される電極材（タングステン電極）２３ａとを備え、電極材２３ａと接続部材２３ｂとがビス２３ｄにより機械的に接合されている。 （もっと読む）

【課題】圧力センサが切換わった際にセンサの出力値が急変することなく滑らかに切換わるようになした圧力センサの出力補正方法及び圧力センサの出力補正装置を提供する。
【解決手段】測定範囲が互いに異なる複数の圧力センサを備え、一のセンサの出力が所定のセンサ切換え圧力に達した時、一のセンサから他のセンサに切換えるとともに、前記一のセンサの切換え時の圧力勾配を求め、前記圧力勾配に応じた移動平均回数Ｎを設定し、切換え後の他のセンサの出力値の代わりに、移動平均値を出力する。 （もっと読む）

【課題】トランスデューサ型真空計において、装置にかかるコストの増大を抑制し、セットポイントの設定と、設定されたセットポイントの読み出しとを容易に行なうことができるトランスデューサ型真空計及びその制御方法を提供する。
【解決手段】セットポイントを特定するための設定値Ａ、Ｂを記録する記憶手段７と、記憶手段７に記録された設定値Ａ、Ｂを読み出し可能な制御手段２と、制御手段２に対し設定値Ａ、Ｂの読出し命令を行なうための読出しスイッチ４と、所定数を示す信号を制御手段２に供給するためのロータリスイッチ６と、制御手段２の制御により少なくとも２値表示可能な表示手段８，９とを備え、制御手段２は、読出しスイッチ４の読出し命令により読み出された設定値Ａ、Ｂとロータリスイッチ６により供給された所定数を示す信号とが一致した場合に表示手段８，９により当該一致を示す表示を行なう。 （もっと読む）

【課題】 従来のガス循環精製装置に用いられる電動送風機はシール性が良くなかった。またシール性を良くしたオイルシールを軸シールに用いたものは耐久性が良くない、という問題を有した。さらに、電動送風機のモータを冷却する別の冷却ファンが設置されているためクリーンルームでの使用が困難な場合があった。これらを改良したケース収納型送風機ではモータの冷却が不十分な場合があった。
【解決手段】 本発明では、電動送風機を密閉性の良いケースに収納した。該電動送風機が作り出す風で該電動送風機のモータを冷却する自己冷却構造とし、さらに電動送風機のモータを冷却するファンを該ケース内に設置する事でモータを効率良く冷却する事が可能となった。さらに、本発明では冷却機構を該ケース収納型送風機に内蔵する事により、ガス循環精製装置において、装置価格の低下と装置サイズの低減を達成した。 （もっと読む）

【課題】放電が生じやすく、また冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、更に、陽極の取り付けの方向性がなく、容易に陽極を交換することができる冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】圧力を測定するチャンバーと連通した空間に設けられた筒状の陰極２３と、前記筒状の陰極２３の内部空間に配置された棒状の陽極５と、前記陽極５と陰極２３との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、前記陽極５と陰極２３との間に放電を起こす磁性手段２５ａ，２５ｂとを備え、前記陽極５の先端部に螺子部５ｂが形成され、陰極２３の筒内の空間に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 従来のガス循環精製装置に用いられる電動送風機はシール性が良くなかった。またシール性を良くしたオイルシールを軸シールに用いたものは耐久性が良くない、という問題を有した。さらに、電動送風機のモータを冷却する別の冷却ファンが設置されているためクリーンルームでの使用が困難な場合があった。また、ガス循環精製装置では、電動送風機で加熱されたガスを冷却するために、冷却装置を別に設けていたので、装置価格が上昇し、装置サイズが大きくなる、という問題も有していた。
【解決手段】 本発明では、電動送風機を密閉性の良いケースに収納し、該電動送風機が作り出す風で該電動送風機のモータを冷却する自己冷却構造としたケース収納型送風機を提供した。本発明のケース収納型送風機では、密閉性を確保し外気の侵入を容易に防止できる。さらに、本発明では冷却機構を該ケース収納型送風機に内蔵する事により、ガス循環精製装置において、装置価格の低下と装置サイズの低減を達成した。 （もっと読む）