【課題】ターゲット材料を損傷させることなく成膜速度を上げることができる円筒状ターゲット及び成膜方法を提供する。
【解決手段】実施の形態の円筒状ターゲットによれば、まず、バッキングチューブ１８とターゲット材料２０を接合する接合材を、カーボンシート２２又はインジウム金属とする。次に、ＪＩＳ Ｒ１６１８の規定による２０〜６００℃での平均線膨張率がターゲット材料２０よりも高く、且つ１２×１０^-6／Ｋ以下の材料、例えばチタンによってバッキングチューブ１８を製作する。ターゲット材料２０は、前記平均線膨張率が３．５〜５．５×１０^-6／ＫのＳｉ含浸ＳｉＣで製作されている。 （もっと読む）

導電性スパッタリング材を用いて、スパッタリング法により、金属酸化物膜と酸化ケイ素膜との多層膜を基板の上に高速成膜して、膜の応力が緩和された多層膜付き基板とそのような低応力の多層膜付き基板を製造する方法の提供。基板上に、少なくとも金属酸化物膜と酸化ケイ素膜とを１回以上繰返し積層してなる多層膜付き基板であって、該金属酸化物膜の少なくとも１層が化学量論的組成より酸素が不足している金属酸化物ＭＯ_Ｘをターゲット材に用いてスパッタリングを行うことにより成膜されてなる酸素不足が解消された金属酸化物膜であり、かつ該多層膜の応力が−１００ＭＰａ〜＋１００ＭＰａであることを特徴とする多層膜付き基板。
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【課題】溶融物の排出の開始、排出量の調整、排出の停止が容易で、耐久性に優れる溶融炉用排出ノズルを提供する。
【解決手段】溶融炉で溶融された溶融物を排出するための貫通孔を有し、少なくとも一部が誘導加熱の発熱体２１からなる筒状のノズル部２０と、該ノズル部と連接し出湯口３５を備えた固定板３１と、該固定板３１の出湯口の開口面積を可変に調整する開閉板４０とを具備しており、該ノズル部２０の誘導加熱手段による加熱制御、または前記開閉板による出湯口の開口面積制御のいずれか、または両方を用いて行うことにより、溶融物の排出の開始、排出量の調整、排出の停止を行う。 （もっと読む）