【課題】フラックス除去の工程を省略することができるにもかかわらず、基板間の位置ずれを軽減する半田付け方法を提供する。
【解決手段】
複数の基板５０ａ、５０ｂに仮止め剤５５を塗布して、仮止め剤５５を介して基板同士を仮止めした状態でヒータ３３によって加熱し、半田５４の溶融する前または半田５４の溶融中に仮止め剤５５を蒸発させつつ、溶融した半田５４を介して基板５０ａ、５０ｂを半田接合する （もっと読む）

【課題】処理対象物を直接的に冷却することができ、別途の冷却板を設置する必要がない加熱溶融処理装置を提供する。
【解決手段】
本発明の加熱溶融処理装置は、半田を含む処理対象物１００についてカルボン酸蒸気を含む雰囲気中で加熱溶融処理する加熱溶融処理装置１であって、加熱溶融処理した処理対象物１００を載せて搬送するためのハンド部４を冷却板として兼用する。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板の全面を均一に加熱することができ、この加熱の際に、基板への加圧をも均一な分布加重として施すことができる接合装置を提供する。
【解決手段】複数枚の基板ａ、ｂを挟着する上下２枚の導電性板状体２、４が所要の間隔を有して配置される。下側および上側の導電性板状体４、２は、何れもその両端を電極に接続されており、その一方の導電性板状体２は、絶縁体１２を介して導電性板状体２とは別体であって該導電性板状体２とは独立に移動可能な加重受け１０に連接され、該加重受け１０には昇降機構１４が連接している。 （もっと読む）

【目的】インライン型の真空パネル製造装置の熱容量を小さくして基板の急速な加熱・昇温を可能とし、量産時に効率的な処理を行えるようにする。
【構成】真空パネル製造装置１０は、ロードロック１５を介して直列に接続された焼成室１１と真空焼成室１２と封止室１３と冷却室１４を有する。基板を載置したカーボントレイ２０は、ガイド手段５０に案内されてラックピニオンの駆動機構３３で各室間を搬送されて各工程の処理を受ける。焼成室１１のカーボントレイ１７により急速な加熱が可能である。カーボン製であるヒータとトレイの熱容量が小さく、特に加熱初期における基板の昇温を速めることができ、処理時間が従来よりも短くて済む。 （もっと読む）

【課題】 真空蒸着にて基板に金属薄膜あるいは有機化合物の薄膜を成膜させるに当り、基板の大面積化にも容易に対応することのできる蒸発材料収容容器を提供する。
【解決手段】 導電性平板状体の上面部分に複数の筒状体からなる蒸発材料収容部を有する導電性平板状体の蒸発材料収容容器２であって、上記筒状体が有底筒状体形状の蒸発材料収容部４、開口上面が上記導電性平板状体の上面部より突出する有底筒状体形状の蒸発材料収容部４ｂ、あるいは導電性平板状体の上面に載置した筒状体形状の蒸発材料収容部４ｃを有する蒸発材料収容容器である。 （もっと読む）