【課題】 簡素な構造で組み立てが簡単でありながら防塵可能な炉の天井構造体及び炉の天井構造体の組み立て方法を提供すること。
【解決手段】 保持部は、発熱体の端部を係止する溝を有する一対の絶縁体を備える。発熱体を一対の絶縁体の溝間でこの発熱体が長手方向に対し円弧状になるように保持してある。天井部材6は複数の第一薄板部材20a〜eを積層し、発熱体に沿って円弧状に形成してある。各天井部材6が少なくとも炉内外を貫く貫通部材14を挿入可能な間隙をおいて並ぶように複数のヒーターユニットを配置してある。この間隙11を第二薄板部材12a,bによって塞ぐことで天井を形成する。この第二薄板部材12a,bは、貫通部材14がクリアランス15をもって貫通する第一貫通孔13を備え、貫通部材14を密接状態で貫通させる第二貫通孔を有する閉塞部材16及びこの閉塞部材16を固定する固定部材17,18によって複数の第一薄板部材20a〜eの間で先のクリアランス15を閉塞する。 （もっと読む）

【課題】 長尺物の二カ所を同時に曲げることの可能な曲げ加工機及びこれを用いた曲げ加工方法を提供すること。
【解決手段】 曲げ加工機１は、長尺物Ｐに段差を形成する。長尺物Ｐを挟持する第一、第二挟持部６５，７５と、この第一、第二挟持部６５，７５を対向させて支持する一対の第一、第二支持部材４０，５０と、長尺物Ｐを第一、第二挟持部６５，７５で挟持した第一、第二支持部材４０，５０を長尺物Ｐに交差する方向に相対移動させる相対移動機構８とを備える。この相対移動により長尺物Ｐに段差を形成する。 （もっと読む）

【課題】 新たな発熱体の保持構造を提供すること。
【解決手段】 板状で切欠又は貫通孔を有する発熱体２０と、加熱空間１８を包囲する導電性材料で構成される側壁材５０と、この側壁材５０の加熱空間１８側に配置され、発熱体２０を一端のみで保持する保持部３０とを有する。側壁材５０の加熱空間１８側に突出して配置され、発熱体２０の一端２０ａと他端との間において発熱体２０の切欠又は貫通孔４０ａを貫通する貫通部４０ｄを有する。貫通部４０ｄから貫通する方向に交差する交差方向に対し、貫通部４０ｄよりも発熱体２０の表裏において突出し、貫通する方向に対する発熱体２０の移動を規制する突出部４０ｂ，４０ｃとを有する貫通部材４０とを有する。 （もっと読む）

【課題】 温度検出器による温度測定精度を向上させることにより、加熱装置の応答性を向上させること。
【解決手段】 発熱体２０と、この発熱体２０を支持するインナシェル５０と、このインナシェル５０の外周に配置されるアウタシェル６０と、これらインナシェル５０及びアウタシェル６０の間に冷却媒体を流通させる冷却媒体流通通路１４とを有する。インナシェル５０に設けられる第一の開口部５５ａと、アウタシェル６０に設けられる第二の開口部６５と、第一の開口部５５ａから第二の開口部６５に向かって設けられ、少なくともインナシェル５０とアウタシェル６０との間で冷却媒体流通通路１４と隔離した空間を形成するための隔壁体５５ｂ、５５ｃとを有する。隔壁体５５ｂ、５５ｃと第二の開口部６５との間で形成される隙間６５ａを塞ぐ絶縁体とを備える。 （もっと読む）

【課題】処理される基板の面内偏差を低減できる加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱空間を囲う壁体と、壁体内部に設けられる発熱体と、発熱体からの熱線を反射する複数の反射体９１とを有する。複数の反射体９１それぞれの一端側に接続され複数の反射体９１を可動させる可動部９３を有する。少なくとも複数の反射体９１それぞれの一端側より他端側に接続され、可動部９３が動作する際に反射体９１の動きを支軸として規制する複数の支軸体９５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 応答性を向上させうる加熱装置の新規な構造を提供すること。
【解決手段】 基板を処理する反応容器と、この反応容器内の基板を加熱する加熱装置とを備えた基板処理装置に関する。この加熱装置は、側壁内層５０、側壁中層６０及び側壁外層７０を有し、少なくとも側壁内層５０及び側壁中層６０が導電性を有し、側壁内層５０は発熱体２０を保持する。側壁内層５０に固定された絶縁部材５１を介して側壁中層６０が外側から第一の留め材５４により固定される。この第一の留め材５４と重なる位置に側壁外層７０の外側から固定されこの第一の留め材５４の脱落を防止する第二の留め材７１を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置並びに基板処理装置用電気ヒーターに於いて、発熱体の熱歪みの発生を抑止する。また、発熱体間或は発熱体の均熱管等構造物への接触を防止して、発熱体の長寿命化を図る。
【解決手段】基板１２を収納し処理する処理室と、発熱体４３を有し該発熱体により前記処理室内を加熱する加熱装置２とを具備する。前記発熱体は一端のみを保持部によって保持されている。また、発熱体は少なくとも一部が前記基板に向かって凸となる様に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡素で発熱体を確実に支持し、かつ、放熱効率の高い電気ヒーターを提供する。
【解決手段】 絶縁体に形成した溝に螺旋状の発熱体を挿入した構成において、
発熱体５を扁平状に形成する。発熱体５の断面の長手方向線ＬＷが絶縁体２の平面と平行となるように溝３を形成する。発熱体５の前部をその断面の長手方向幅Ｗに沿って溝３の開口部より露出させる。発熱体５を少なくともその断面長手方向の一方側又は後部で溝３内に固定する。 （もっと読む）