【課題】 角度精度の向上したリニアステージを提供する。
【解決手段】 長手方向に伸長しかつ互いに隣接する第１案内面２１と第２案内面２２ａ、２２ｂを有する直方体状の固定ベース２と、第１案内面２１に設置される一対の第１リニアガイド３ａ、３ｂと、第２案内面２２ａ、２２ｂに設置される一対の第２リニアガイド４ａ、４ｂと、第１リニアガイド３ａ、３ｂに案内される第１キャリッジ部材５１と第２リニアガイド４ａ、４ｂに案内される第２キャリッジ部材５２とが連結されたキャリッジ５と、キャリッジ５を駆動するリニアモータ６、７とを有する。 （もっと読む）

【課題】 火ぶくれを防止できるコイル部品の半田付け方法を提供する。
【解決手段】 コイル３２が巻回されたボビン３１とコイル３２の端末が絡げられた端子３３を有する差動トランス３の少なくとも一部を収容する保持溝１１０を有するベース部１１と、一端側がベース部１１に支持され、他端側が端子３３に近接又は接触する熱シールド部１１２を有するフタ部１２を備えた半田付け用治具１０に、差動トランス３をセットしてから、端子３３を半田液に浸漬する。ベース部１１には、端子３３を挟むように規制部１１３を設けることができる。 （もっと読む）

【課題】 製作コストが廉価であって主材が鉄である構造を有する被読取部材を用いて線膨張係数が小さい位置検出手段およびその取り付け方法を提供する。
【解決手段】 相対移動装置の一方の部材にベースを介して取り付けられた被読取部材と、他方の部材に取り付けられた読取ヘッドとを備えた位置検出手段であり、ベースは線膨張係数が５μｍ／ｍ／℃以下の低熱膨張材製であり、被読取部材は主材が鉄である構造を有し、ベースに固着され且つ温度変化によるベースの相対移動方向の伸縮に同調し、ベースは一方の部材に位置決めの基準となる基点で固定されるとともに少なくとも１箇所の可動点で相対移動方向に摺動可能に押圧されて取り付けられた位置検出手段。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で冷却効率の向上した可動コイル形リニアモータを提供する。
【解決手段】 コイル部材５は、多相コイル７を樹脂モールドで抱持した矩形状断面を有するモールド部材６と、モールド部材６の両面に固定されるジャケット８を有し、ジャケット８はモールド部材５の表面に当接する外周部８１と外周部８１で取り囲まれモールド部材６の表面に当接する中央部８３を有するとともに、この中央部８３は各空心コイルの空心部に対向しかつモールド部材５に少なくとも機械的に固定される第１圧接部８３１と各空心コイルの有効導体部に対向する第２圧接部８３２を有し、冷媒は外周部８１と中央部８２で囲まれた空間内を流動する。 （もっと読む）

【課題】 小型かつ軽量で、組立てが容易な可動コイル形リニアモータを提供する。
【解決手段】 所定方向に沿って正弦波状の磁束密度分布が現出する磁気空隙ｇを有する固定子と、磁気空隙内に配置され、多相コイル８２を含む可動子８とを有する可動コイル型リニアモータ１において、固定子２は、強磁性材料からなるヨーク６ａに固着され、可動子８の移動方向に沿って磁化方向の異なる永久磁石７ａ、７０ａが交互に配列された永久磁石部材５ａと、磁気空隙ｇを介して対向する少なくとも一対の永久磁石部材５ａを包持し、ヨークより比重の小なる金属材料からなる非磁性フレーム４とを有する分割ユニット３ａを複数個備えるとともに、非磁性フレーム４は、可動子８の移動方向に沿って伸長する多相コイル８２の一部が挿入される溝４３を有するベース部材４１と、永久磁石部材５ａを支持し、ベース部材４１の両側面に固定されるサイド部材４２を含む。 （もっと読む）

【課題】 固定子の組立てが容易で、小型かつ軽量な可動コイル形リニアモータを提供する。
【解決手段】 固定子２は、強磁性材料からなるヨーク６ａ、６ｂ、６ｃに可動子１１の移動方向に沿って磁化方向の異なるメイン磁石７ａ、スペーサ磁石７ｂが交互に配列されて第１の磁気空隙ｇ１を形成する第１の永久磁石部材８と、強磁性材料からなるヨーク９に第２の磁気空隙ｇ２を介して異極性の磁極が対向するように永久磁石１０ａ、１０ｂが固定された第２の永久磁石部材８と、第１の永久磁石部材５ａ、５ｂ、５ｃ及び第２の永久磁石部材８を包持し、ヨークより比重の小なる金属材料からなる非磁性フレーム４とを有する分割ユニット２を複数個備えるとともに、可動子１１は、第２の磁気空隙ｇ２内に配置され単相コイル１２３を有し、可動子の移動方向と直交する方向にも移動可能に支持される。 （もっと読む）

【課題】ジャーナル部の製作を従来手段よりも能率よく行えるようにする。
【解決手段】中空ロール素材管と、前記中空ロール素材管の端部に接合する、金属からなるジャーナル軸とそれより軟質の金属からなる嵌合フランジとが一体化したジャーナル部とからなる中空ロールであって、嵌合フランジの中心に穴を穿設する一方、ジャーナル軸の嵌合フランジとの接合端に、嵌合フランジの穴より大径の加圧フランジ部を形成し、加圧フランジ部の中心に嵌合フランジの穴より小径の柱状部を介して柱状部より大径のフランジ部を連成し、前記柱状部及びフランジ部を嵌合フランジの穴に挿入した状態で、嵌合フランジの加圧フランジ部との当接部分に塑性変形を生じさせて、加圧フランジ部と柱状部とこれに連なるフランジ部との間の空間に嵌合フランジの一部を塑性流動により詰め込み、もってジャーナル軸と嵌合フランジとが一体化したジャーナル部となしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 固定子を構成するコイルの端末処理が容易なリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】 強磁性体からなるヨーク２とその内部に収容されたコイルユニット３を有する固定子１と、コイルユニット３の内側に、Ｎ極とＳ極が交互に並ぶように配置された複数のメインリング磁石７１ａ、７１ｂ、７１ｃを有する可動子５とを備え、コイルユニット３は複数の多層コイル３１ａ、３１ｂ、３１ｃが直列に並びかつ各多層コイルは１本の導線を整列巻で巻回して形成されるとともに、巻始めと巻終りが同じ位置で引出されている。コイルユニット３は、少なくとも一端側の多層コイル３１とその隣の多層コイル３２は、最上層を除いて互いに逆方向に導線が巻回され、かつ他端側の多層コイル３３が一端側の多層コイル３１と同方向に最上層まで巻回された後に最上層が巻回されて形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも低コストでかつ小型・軽量なマグネトロンスパッタリング装置用磁気回路を提供する。
【解決手段】 非磁性体からなるベース２と、その表面に設置された長方形状の中央磁極片３と、その周囲に設けられた長円形状の外周磁極片４と、中央磁極片３と外周磁極片４との間の長方形状空間に長手方向に沿って連接された複数の直線部用永久磁石５ａ、５ｂと、中央磁極片３と外周磁極片４との間の円弧状空間に設置された複数のコーナー部用永久磁石６ａ、６ｂとを有し、直線部用永久磁石５ａ、５ｂ及びコーナー部用永久磁石６ａ、６ｂは水平方向に磁化されかつ同極性の磁極が中央磁極片３に対向するように配置されているとともに、中央磁極片３及び外周磁極片の高さは直線部用永久磁石５ａ、５ｂ及びコーナー部用永久磁石６ａ、６ｂの高さ以上に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ターゲットの長寿命化を図ることができるマグネトロンスパッタリング用磁気回路を提供する。
【解決手段】 長方形状のセンターヨーク２１と、その表面の中央部に長辺方向に設置され高さ方向に磁化された内側磁石２２と、その両側に設置された内側磁石２２と逆極性の外側磁石２３を有する第１磁石体２と、第１磁石体２の両端部に接続される第２磁石体３、４を備えている。第２磁石体３（４）は、センターヨーク２１に隣接する長方形状の第１ヨーク３１１とその表面に設置された内側磁石３２２と外側磁石３２３を有する第１磁石ユニット３１と、第１ヨークに隣接する第２ヨーク３２１とその表面に配置された内側磁石３２２と外側磁石３２３を有する第２磁石ユニット３２を含む。第２磁石体３は一端側がセンターヨーク２１の裏面に固定された連結板５により、センターヨーク２１の長手方向に沿って移動可能に支持されている。 （もっと読む）