【課題】 末端にトリアルコキシシリル基が結合した非対称構造の新規な有機シリル化合物およびその簡便かつ高収率な製造方法を提供する。
【解決手段】 一般式（２）
【化２】


（式中、Ｘは芳香環または複数の芳香環が直接または炭素系２重結合もしくは炭素系３重結合を介して結合した構造を表し、Ｘは置換されていなくてもよく、またはアルコキシ、アルキルチオ、アルキルアミノ、ジアルキルアミノ、アルキル、アルケニル、アルキニル、フェニル、フェニルエチニル、アルコキシアルキル、およびフェノキシアルキルからなる群から独立して選択される置換基で置換されていてもよい）で表わされる芳香族アルデヒド類を、
一般式（３）
【化３】


（式中、Ｒ_１〜Ｒ_４はＣ１〜Ｃ６の低級アルキル基を表わし、Ｒ_１〜Ｒ_４は同一であっても異なってもよい）で表わされるウィティッヒ反応試剤と塩基の存在下で反応させることを特徴とする非対称構造の有機シリル化合物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 レジストパターンのスタンディングウェーブを低減できるレジスト組成物を提供できるレジスト用樹脂、およびレジスト樹脂用モノマーを提供する。
【解決手段】 ヒドロキシスチレンから誘導される構成単位（ａ１）と、酸解離性溶解抑制基を有する構成単位（ａ２）と、下記一般式（ａ３−１）で表される構成単位（ａ３）とを有する樹脂（Ａ１）であることを特徴とするレジスト用樹脂。
【化１】


［式中、Ｒは水素原子、アルキル基、フッ素原子またはフッ素化アルキル基を表し；Ｒ^１は水素原子または酸解離性溶解抑制基を表し；Ａは単結合または２価の有機基を表し；Ａｒは置換基を有していてもよいアリーレン基を表す。］ （もっと読む）

【課題】 種々のキャリアタンパクと複合体を形成し得るサイトカラシン誘導体の提供。
【解決手段】 下記一般式（１）または（２）で表わされることを特徴とするサイトカラシン誘導体。
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【課題】 解像度が高く、かつＬＥＲが小さいレジストパターンを形成できるようにする。
【解決手段】下記一般式（Ｉ）で表される構成単位（ａ４）を有することを特徴とする化学増幅型フォトレジスト用重合体。
【化１】


（式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基であり、Ｒ²は炭素数１〜２０個の直鎖状、分岐状又は環状の炭化水素基であり、Ｒ³、Ｒ⁴、Ｒ⁵、Ｒ⁶は各々独立して水素原子又は炭素数１〜６の直鎖状又は分岐状のアルキル基を表し、Ｒ⁷は炭素数１〜２０の直鎖状、分岐状または環状のアルキレン基、アルキレンエーテル基、シクロへキシレン基またはアリーレン基を表す。） （もっと読む）