【課題】干渉計の撮像素子から出力される被検面のシェア像を利用し、被検面の形状に関わりなく其の実面形状を直接的に把握すること。
【解決手段】波面分布面Ｗを区画して得た各微小セルＷ_１〜Ｗ_Ｃ１毎の波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１の各々が干渉計１による測定時に被検体１３の球心Ｏに収束する光路を辿って被検面１３ａに入射した照明光（入射光）の何れかの反射光の光路と一致することに基いて、波面分布面Ｗの微小セルＷ_１〜Ｗ_Ｃ１における波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１すなわち被検面１３ａからの反射光に相当する波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１毎に、これに対応する照明光波面側法線l_１〜l_Ｃ１つまり入射光の光路を突き止め、これら２つの光路すなわち波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１と照明光波面側法線l_１〜l_Ｃ１の交点位置Ｒ（１）〜Ｒ（Ｃ１）を求めて被検面１３ａの実面形状のデータとする。 （もっと読む）

【課題】 インターネットを介した不正アクセスを防止すると共に種々の制御機器に対応でき、測定機器の設定環境の情報を容易に変更・設定できる遠隔監視システムを提供する。
【解決手段】 測定機器２が異常を検出すると、インターネット５を介して処理サーバ６に異常を報告し、処理サーバ６から管理用ＰＣ７に異常を通知するものであり、更に制御機器３は定期的に処理サーバ６にアクセスして故障していないことを通知すると共に、処理サーバ６に設定されている測定機器２の設定環境の情報を取得してその設定環境の情報を測定機器２に設定するものであり、制御機器３が常時インターネットに接続することがないために不正アクセスされるおそれが少なく、かつ、管理用ＰＣ７からの設定環境の情報も測定機器２に設定できる遠隔監視システムである。 （もっと読む）