【課題】低コストのパルス電子ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】パルス電圧が印加される一次コイル、及び、この一次コイルとコアを共有する二次コイルを備え、樹脂モールドされ、大気側に設置された高圧パルス電圧発生部と、前記高圧パルス電圧発生部の前記二次コイルに電気的に接続されたエミッターと、前記エミッターから電子ビームを引き出すアノードと、前記エミッターと前記アノードとの間に位置し、前記エミッターに電気的に接続されるとともに前記エミッターから引き出した電子ビームを収束するウエネルトと、前記エミッター、前記ウエネルト、及び、前記アノードを真空状態の内部に収容する真空容器と、を備えたことを特徴とするパルス電子ビーム発生装置。 （もっと読む）

【課題】ＭＣＰを支持する絶縁支持部に紫外線が照射された場合に生じる放電を防止する。
【解決手段】電子線照射装置は、紫外線を出射する紫外線出射部３１、電子を増幅する複数のマイクロチャネルを２次元的に配列して有するＭＣＰ３３、ＭＣＰ３３の外縁部に当接してＭＣＰ３３を支持する絶縁支持部３４、および、紫外線出射部３１とＭＣＰ３３との間における紫外線の経路上に配置されるマスク３５０を支持するマスク支持部３５を有する。マスク支持部３５は、マスク３５０の周囲における紫外線を遮蔽する環状部３５２を有することにより、マスク支持部３５にマスク３５０が非装着の状態において、紫外線出射部３１からの紫外線が照射されるＭＣＰ３３上の照射領域が、絶縁支持部３４に重ならない範囲に制限される。これにより、絶縁支持部３４に紫外線が照射された場合に生じる放電が、マスク３５０の有無にかかわらず防止される。 （もっと読む）

【課題】低コストの真空封止ヒータを提供する。
【解決手段】一端に開口を有するケースと、前記ケースの前記開口を塞ぐ加熱プレートと、真空状態の前記ケースの内部において、前記加熱プレートに対向配置されたヒータ素子と、前記ケースの内部において、前記ヒータ素子からの放射熱を反射するリフレクタと、前記ヒータ素子に接続されるとともに、前記ケースの内部から外部に引き出されたヒータ端子と、を備えたことを特徴とする真空封止ヒータ。 （もっと読む）