センター・フォー・アドヴァンスト・テクノロジーズ・テクノコムにより出願された特許
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間隙率を求める装置及び方法
【課題】所定の圧力及び所定の温度に加圧された部屋に配置した基板に形成されている物質(特に、薄膜)の間隙率を求める装置及び非破壊方法に関する。
【解決手段】ガス物質(例えば、トルエン蒸気)が部屋1に導入され、所定時間後、部屋に配置した基板2に形成されている薄膜の間隙率が、少なくとも偏光解析測定によって求められる。特に、偏光解析器6から得られる光学的特性は、薄膜の間隙(ポア)に凝縮されたガス物質の量を求めるために利用される。その量は、薄膜の間隙率を計算するために利用される。
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