【課題】シリカガラスルツボを製作するための黒鉛製モールドのおいて、製作が容易で安価であり、冷却に長時間を要せず、気体の除去が容易である、黒鉛製モールドを提供する。
【解決手段】溶融シリカルツボを製造するためのモールド６６が内部穴８０を有する円筒状缶７８を含む。黒鉛インサート７０は前記穴内に受容されかつ前記ルツボの下面を形成するように設けられた上面を有し、前記缶の内部穴が前記ルツボの側壁を形成する。シリカ粒子１２４は前記モールドが回転する間に該モールド内に投入される。前記インサートの上方の前記缶の内部及び前記インサートの内部に形成された穴は溶融中に前記シリカを介して空気を吸引する。 （もっと読む）

【課題】
ＣＺ工程において用いられる時、るつぼ壁にはほとんど体積変化が観察されず、そして溶融レベルにおいてはほとんど影響せず、減少した結晶欠陥でゆっくり引き上げられるシリコンインゴットに特に好適なるつぼを提供する。
【解決手段】
本発明のシリカガラスるつぼは、安定している無気泡内層及び不透明な外層を有し、この両方の層は、チョクラルスキー工程の操業中、減少した気泡成長を示す。本発明の溶融工程は、成形された粒子が緻密な溶融シリカに溶融される溶融前線において動力学的なガスバランスを制御している。 （もっと読む）

【課題】チョクラルスキー法によるシリコン単結晶の製造において、高温でのサスセプタと石英るつぼとの反応により発生する酸化ケイ素、一酸化炭素及び／又は二酸化炭素などの放出ガスを効果的に排気する方法およびサスセプタを提供する。
【解決手段】シリコンチャージが溶融する石英るつぼを保持するためのサスセプタ４４は、その下部でるつぼを受け入れるようなサイズの概ねボウル形の構造であり、前記構造が、るつぼの上部の上方へ延びる内面５２を有し、前記構造の前記内面５２に複数の溝４６，４８，５０が形成されてなり、前記複数の溝４６，４８，５０を通じて、前記サスセプタ４４および前記るつぼが加熱されるときにるつぼの外面から放出されるガスが上昇し、上方の開放端開放端から放出される。前記の溝および開放端は石英るつぼ外面に形成されてもよい。 （もっと読む）

【課題】内層中の気泡ができるだけ少ない石英ルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】石英ルツボが、内部のシリカ粒子１６を介して周囲雰囲気を引き出すことができる形式のモールドキャビティにおいて製造される。シリカ粒子１６の層がモールドキャビティ内に形成され、ヘリウム、窒素、水素又はそれらの混合物を含み得るガスがモールドキャビティに導入される。シリカ粒子１６の層は、シリカ粒子１６を介して周囲雰囲気を実質的に引き出すことなく加熱される。その後、シリカ粒子１６の層の少なくとも一部がシリカ粒子１６を介して周囲雰囲気を引き出しながら溶融される。ガスがモールドキャビティ内の空気を追い出すことで、窒素酸化物及びオゾンを低減させる。 （もっと読む）

【課題】不純物濃度が最小であり且つ気泡及び気泡成長を低減させたるつぼ内層を有するシリカるつぼを合理的なコストで作製する方法を提供する。
【解決手段】モールドキャビティに設けられるシリカ粒子を介して空気を吸引する形式のモールドキャビティにおいて、シリカるつぼを製造する方法であって、純粋なシリカ粒子層２３０を天然シリカ粒子層２２８の上部に形成し、シリカ粒子を介して空気を実質的に吸引することなく、純粋なシリカ粒子層２３０の少なくとも一部を溶融し、シリカを介してかなり高容量の空気を吸引しながら、任意の残留する純粋なシリカ粒子層２３０、及び天然シリカ粒子層２２８の少なくとも一部を溶融し、その後、溶融された純粋なシリカ粒子層２３０の少なくとも一部を昇華させる。 （もっと読む）

【課題】シリカ坩堝が高温に加熱されるときの気泡及び気泡成長が最小化する壁を有するシリカ坩堝であり、成形された坩堝の上部切除部が短い切除部分であるシリカガラス坩堝を製造する方法を提供する。
【解決手段】モールド１２内に形成されるキャビティと連通する複数の空気路を有する回転しているモールド１２内にシリカ粒子５４が堆積され、次に、厚みが実質的に均一である壁５６を含む下方部分を有する坩堝の形状になるように成形される。シリカ粒子の上方部分は、成形される形状の外周のまわりに、実質的に狭い壁部分になるように成形される。シリカ粒子は加熱され、シリカが溶融されている間に、ポンプが空気路を通してガスを吸引する。狭い壁部分にわたって圧力降下が生じる。溶融後、狭い壁部分を含む坩堝の上方部分は切除される。 （もっと読む）

【課題】長時間の加熱においてもメルトライン下の壁が亀裂を生じない溶融ガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】溶融ガラスルツボは、ルツボ２２の最上面及び最外面を画定するアルミニウムでドープされたシリカ３４のカラーを含む。ルツボ内の溶融シリコンの表面を画定するメルトラインは、ほぼカラーの下端にあるか、又はカラーよりもわずかに上方に位置することができる。カラーの結晶化によりカラーが硬質化し、したがって、メルトラインの上方のルツボの残りの結晶化されていない部分を支持する。メルトラインはまた、特に融液がプロセスの初期の段階で引き出される、すなわち注がれる場合にカラーの下端よりも下方にあることができる。カラー及び融液がほとんど重ならないか又は全く重ならないため、或いは長くは重ならないため、アルミニウムでドープされたカラーが融液からの熱によって損傷しない。 （もっと読む）

【課題】失透を促進するためのバリウムドープされた最も内側の層と、長期にわたる操作のために十分に厚く、気泡及び気泡成長のない中間層とを含み、複数回のインゴット引き上げの間で膨張をほとんど示さない安定した外側層を含むシリカガラスるつぼの提供。
【解決手段】シリカガラスるつぼは、バリウムドープされた薄い内側層と、安定した無気泡中間層と、安定した不透明外側層とを含む。成形された粒子が緻密な溶融シリカに融解される溶融前線において動力学的なガスバランスを制御する。るつぼは、チョクラルスキー工程の間、減少した気泡成長を示す。バリウムドープされた薄い層及び減少した気泡成長の結果として、るつぼの内側表面は、ＣＺ工程の間に、均一に最小限に組織化される。 （もっと読む）

【課題】長時間のアニールを必要としない、ノズルを備えた溶融シリカるつぼの製造方法を提供する。
【解決手段】グラファイトモールドの下部に事前に形成されたシリカガラスチューブをまず挿入することによって形成される。前記チューブは前記モールドが回転する垂直軸と一直線に並べられ、そしてシリカ粒子がモールド内に注入され、るつぼの形に形作られる。前記チューブの上部に挿入されたグラファイトプラグは、シリカ粒子が前記チューブに進入するのを防止する。電極は、シリカ粒子を溶融しチューブに形成するプラズマガラスボールを作り出す。前記グラファイトプラグはシリカ粒子で覆われているが、溶融シリカは、溶融する間、前記プラグの上部から後退し、このようにしてノズルを前記るつぼに形成する。 （もっと読む）

【課題】
ＣＺ工程において用いられる時、るつぼ壁にはほとんど体積変化が観察されず、そして溶融レベルにおいてはほとんど影響せず、減少した結晶欠陥でゆっくり引き上げられるシリコンインゴットに特に好適なるつぼを提供する。
【解決手段】
本発明のシリカガラスるつぼは、安定している無気泡内層及び不透明な外層を有し、この両方の層は、チョクラルスキー工程の操業中、減少した気泡成長を示す。本発明の溶融工程は、成形された粒子が緻密な溶融シリカに溶融される溶融前線において動力学的なガスバランスを制御している。 （もっと読む）