【課題】音響光学変調器で変調される１または複数の光源アレイによるダイレクトイメージングシステムを提供する。
【解決手段】ダイレクトイメージングシステムは、複数本のビームを放射するように構成される複数の光源を有する照明ユニット１００と、複数本のビームを整形して位置または角度をそろえる光学系６０と、位置または角度の一方がそろった複数本のビームを受けるとともに、音響波が音響方向に伝搬する際に、複数本のビームの異なる部分を連続して回折させるように位置決めされる音響光学変調器７０と、音響光学変調器で変調された複数本のビームを用いて、ある走査速度で露光面を走査するように構成される走査素子８０とを備え、走査速度は、複数本のビームの上記異なる部分を非コヒーレントに一体化して単一の露光スポットを得るように選択される。 （もっと読む）

【課題】基板への直接書込みシステムでは解像度は高いもののスループットが低く、改善が求められている。
【解決手段】走査方法において複数の独立してアドレスし得るサブビームからなる走査ビームを生成し、この走査ビームで複数回にわたり表面を走査し、その際、前記サブビームが横並び状でクロス走査方向に前記表面を走査すると共に、各サブビームを書き込むべき情報を反映するように変調しており、少なくとも二回の走査で表面の書込みエリアに書込みがなされるようにビームを重ねることよりなる表面にパターンを書き込む。 （もっと読む）

【課題】印刷回路基板へパターンを直接書込むための走査器システムに用いる回路基板を保持するための保持装置を提供する。
【解決手段】保持装置を、平坦表面を有し、表面上に互いに連通する複数のチャンネルを有するベース部と、チャンネルと連通する少なくとも１個のポートと、少なくとも１個のポートを連通する真空源と、チャンネルを全て覆うと共に、穴のない平坦表面のエリア内に複数の貫通穴が形成されている中間板とから構成する。 （もっと読む）

【課題】走査器における走査ビームに対する走査対象表面の位置を判定する方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２個の穴１５０を有する表面を供給するステップと、前記穴の近傍においてビームで表面を走査するステップと、前記ビームが前記穴を通る位置にあれば、そのビームを検出するステップと、ビームが穴の縁部に臨む位置において、走査器基準フレームにおけるビーム位置を判定するステップと、穴の縁部の位置の判定結果に基づいて走査器基準フレームにおける穴の位置を判定するステップを有する。 （もっと読む）

【課題】独立してアドレス可能な複数のセグメントからなるビームを用いて、例えば印刷回路板等の光レジストで覆われた表面を走査する方法を提供する。
【解決手段】第１ビームと、その光入力端で光ビームを受光し、供給された変調信号に基づいてその出力端で変調光ビームを生成する変調器２８と第２ビームと、前記第１及び第２ビームを受光して、印刷回路板７８表面に対して第１ビームを走査させ、第１ビームの光路と平行な光路に沿って第２ビームの走査器と、第２ビームの位置に応じて前記変調信号を供給する制御器と、前記第２ビームが入射すると共に、変調反射ビームを形成するように反射されるマーク付スケールからなり、第２ビームはスケール表面に対し、角度を入射する結果、変調反射ビームは、第２ビームの軸とは異なる軸に沿って反射される走査装置１０。 （もっと読む）