【課題】音響光学変調器で変調される１または複数の光源アレイによるダイレクトイメージングシステムを提供する。
【解決手段】ダイレクトイメージングシステムは、複数本のビームを放射するように構成される複数の光源を有する照明ユニット１００と、複数本のビームを整形して位置または角度をそろえる光学系６０と、位置または角度の一方がそろった複数本のビームを受けるとともに、音響波が音響方向に伝搬する際に、複数本のビームの異なる部分を連続して回折させるように位置決めされる音響光学変調器７０と、音響光学変調器で変調された複数本のビームを用いて、ある走査速度で露光面を走査するように構成される走査素子８０とを備え、走査速度は、複数本のビームの上記異なる部分を非コヒーレントに一体化して単一の露光スポットを得るように選択される。 （もっと読む）

【課題】清浄な空気環境を必要とする製造設備内において、汚染空気が清浄な空気環境を要する空間に漏れ出さないように改善された汚染空気の拡散防止装置を提供する。
【解決手段】室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、製造設備の一部として室内に配され、空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、機械駆動部を囲繞して室内の空間から隔離する隔離箱と、隔離箱の一部に形成され、隔離箱内と室内空間とを空気流動可能に連通する開口部と、隔離箱内の空気を室外に排出する排気ダクトとを備え、開口部の端部には、端部から隔離箱の内方に向かう曲面が開口部の長手方向に沿って形成され、曲面の基端部から曲面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されている。 （もっと読む）

表面上のパターンを走査する方法であって，この方法は，表面上に描画するパターンを含む第１の空間的に変調された光ビームを形成し，上記第１の空間的に変調された光ビームを複数のサブ・ビームに分割し，上記複数のサブ・ビーム間の空間関係を変更し，これにより第２の空間的に変調された光ビームを形成し，上記第２の空間的に変調された光ビームを用いて上記表面を走査する。
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一のレーザおよび少なくとも一のレーザ・ビーム進行経路を，回路基板上に形成された導体の少なくとも一の導体修理領域のレーザ事前処理に用い，ドナー基板の少なくとも一部が分離されかつ少なくとも一の所定の導体位置に転移されるように，上記レーザおよび上記少なくとも一のレーザ・ビーム進行経路の少なくとも一部を，少なくとも一のレーザ・ビームのドナー基板への適用に用いる，電気回路を修理するシステムおよび方法である。
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【課題】半導体基板に対して光学的な検査と電気的な検査を組み合わせ、μ単位の非常に精密な故障発生位置を検出する半導体基板の検査装置を提供すると共に、修正機構と組み合わせることによって、切り離す面積を最小にして効率の良い修正を実施することができる欠陥修正機構を具備した検査装置を提供する。
【解決手段】半導体基板を検査ステージに載置して駆動装置により走査する走査駆動機構と、半導体基板の照明領域を照明する照明装置と、照明領域の画像データに基づいて光学的欠陥を検出する光学的検査手段と、照明領域の位置を検出して位置情報を出力する位置検出手段と、半導体基板の光起電力に基づく電圧を検出する電圧検出手段と、光学的検出手段によって検出された欠陥位置及び電圧検出手段により測定された電圧の変化を組み合わせて欠陥種別を判定する欠陥判定手段とを設ける。 （もっと読む）

撮像組立品で、前記撮像組立品中の異なるそれぞれの場所に搭載され、試料のそれぞれの画像を記録するように構成された複数のカメラを含むものを備える、検査用の装置。移動組立品は、位置に関する所定の許容誤差で制限される精度で前記撮像組立品に前記試料を走査させるために、前記撮像組立品と前記サンプルの少なくとも一つを動かすように構成されている。画像処理装置は、前記位置に関する許容誤差よりも細かい位置精度で前記試料中の欠陥の位置を特定するために、前記カメラによって記録された画像を受信し、処理するために、結合されている。 （もっと読む）

【課題】自動式光学検査（AOI）の為の改良されたシステムおよび方法、更に、２次元センサを採用する改良された画像化技術および装置を提供する。
【解決手段】少なくとも２次元の光センサアレイ４０が一体に形成され、それぞれの画像が検査すべき対象物の一部分を表す複数の画像２４０〜２４８を提供する集積回路と、複数の画像をデジタル形式で加え合わせ、検査すべき対象物の合成画像を提供する合成画像生成器２５２と、合成画像を受信し欠陥報告を提供するよう動作する欠陥分析器２３４と、を備える検査システム。 （もっと読む）

【課題】自動式光学検査（AOI）の為の改良されたシステムおよび方法、更に、２次元センサを採用する改良された画像化技術および装置を提供する。
【解決手段】非連続の照明を提供する光源と、検査すべき対象物の複数の少なくとも部分的に重なり合う二次元画像フレームを、あるフレーム速度で取得するように動作する二次元の光センサアレイと、前記二次元画像フレームを受信し、検査すべき前記対象物の表現を生成するために重なり合った部分を結合するように、前記表現の検査に基づいて検査すべき前記対象物上の欠陥の報告を提供するよう動作する欠陥分析器と、を備える検査システムであって、前記非連続の照明と、前記フレーム速度とが、概ね同期している、検査システム。 （もっと読む）

【課題】少なくとも２つの色集団を含むカラー画像における、該２つの色集団の第１の色集団に関連する第１のカラー領域と該２つの色集団の第２の色集団に関連する第２のカラー領域との間の境界を特定する。
【解決手段】該第１のカラー領域と該第２のカラー領域がともに該カラー画像に含まれ、該方法は、該第１のカラー領域と該第２のカラー領域との間のおよその境界位置を識別し、該第１のカラー領域と該第２のカラー領域の間の複数の候補境界位置を特定する上で、該複数の候補境界位置の各々を、複数の境界位置特定方法のなかから選択される対応する境界位置特定方法を適用することによって特定し、該複数の境界位置特定方法から１つの方法を好ましい方法として選択し、かつ該好ましい方法に関連する該複数の候補境界位置の１つを指定することによって該第１のカラー領域と該第２のカラー領域の間の境界の位置を特定することを含む。 （もっと読む）

【課題】多方向性の光源から光を線状ターゲット領域に集光させる。
【解決手段】光透過性材料の非回転対称なユニタリィ部品３６を含み，該部品は光源から線状ターゲット領域２６へと集光するための少なくとも第１および第２の面を有し，第１および第２の面の少なくとも１つが湾曲しており，光の第１の部分が第１の面からの反射により線状ターゲット領域２６へと集光され，光の第２の部分が第２の面での屈折により線状ターゲット領域２６へと集光される光学素子。 （もっと読む）