【課題】大気圧プラズマの発生装置の小型化を実現すること。更には、その大気圧プラズマ発生装置に対する給電効率の最適化を容易にすること。
【解決手段】セラミックスからなる高耐熱性の絶縁体４の前方開口端４ａからプラズマが出射される。先端が窄んだ略円筒形の金属製の外導体２は、同軸空洞Ｒの外殻部を形成している。外導体２、絶縁体４、及び金属製のプラズマ材料ガス導入管１は、何れも筒状に形成されて互いに同軸となる様に配置されている。外導体２とプラズマ材料ガス導入管１とは、可変機構６付近で電気的に接続されている。プラズマ材料ガス導入管１の導入口１ａはプラズマ発生装置１０の最後部に配置されており、一方、プラズマ材料ガス導入管１のガス吹き出し口１ｂはその反対側に配置されている。このガス吹き出し口１ｂの更に前部には、金属製の突起部材５が配設されて、電界が集中し易くなっている。 （もっと読む）