【課題】 ガラス基板のエッチング工程などから排出されたフッ酸廃液から蒸留法により精製フッ酸を回収するバッチ処理方式のフッ酸の回収方法であって、スケーリングの発生がなく、不純物の一層少ない精製フッ酸を高い収率で回収でき、装置を簡素化し得るフッ酸の回収方法を提供する。
【解決手段】 フッ酸の回収方法においては、蒸発釜（１）でフッ酸廃液を加熱して粗フッ酸を蒸気として取り出すと共に、蒸留塔（２）で粗フッ酸を蒸留して留出液を回収する操作を通じ、留出液のフッ化水素濃度が回収水上限濃度以下の場合は当該留出液を回収水として回収し、留出液のフッ化水素濃度が回収水上限濃度より高く且つフッ酸回収濃度未満の場合は当該留出液を中間液として回収し、留出液のフッ化水素濃度がフッ酸回収濃度以上の場合は当該留出液を精製フッ酸として回収する。そして、蒸留塔（２）のフッ酸廃液に金属成分の析出を抑制するに足る量の硫酸を添加する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板のエッチング工程などから排出されたフッ酸廃液からフッ酸を回収する方法であって、スケーリングの発生がなく、不純物の一層少ない精製フッ酸を高い収率で回収できるフッ酸の回収方法を提供する。
【解決手段】 フッ酸の回収方法は、金属成分含有のフッ酸廃液から蒸留法によりフッ酸を回収するフッ酸の回収方法であり、蒸発釜（１）にフッ酸廃液を供給して加熱し、蒸気として粗フッ酸を回収すると共に濃縮廃液を分離する粗フッ酸蒸発工程と、第１の蒸留塔（２１）で粗フッ酸を蒸留し、濃縮フッ酸と回収水とに分離する第１蒸留工程と、第２の蒸留塔（２２）で濃縮フッ酸を更に蒸留し、精製された精製フッ酸と廃液とに分離する第２蒸留工程とを備えている。そして、粗フッ酸蒸発工程のフッ酸廃液に金属成分の析出を抑制するに足る量の硫酸を添加する。 （もっと読む）