【課題】簡単な作業で精度良く設置可能なリニアアクチュエータとその位置調整方法を提供する。
【解決手段】電機子２２を有する可動子２０と、可動子２０を貫通して延びるガイド部材１１と永久磁石１５とを有する固定子１０とを備える。ガイド部材１１の両端側は保持台４１、４２によって支持固定されている。可動子２０には、可動子２０の推力方向と平行に延びる導光孔４０を貫設し、上記保持台４１、４２には、ガイド部材１１の延設方向が可動子２０の推力方向に平行で、かつ可動子２０の電機子２２と固定子１０の永久磁石１５との間の空隙が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係になったときに、可動子２０の導光孔４０と軸心が一致する位置に貫通孔４３、４４を穿設する。導光孔４０を通過したレーザ光５１が、両貫通孔４３、４４を通過するように保持台４１、４２の設置位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】電機子ユニットの配置方法を工夫することによって固定子と可動子との間に働く磁気吸引力を機械的に相殺し、組立を簡単にしたリニアモータを提供する。
【解決手段】リニアモータ５１は、進行方向に沿って複数の磁石を配置した一次側部材（図示せず）と、進行方向に沿ってコアと電機子巻線からなる電機子ユニットＡ，Ｂ，Ｃを配置するとともに各電機子ユニットＡ，Ｂ，Ｃ間にスペーサ２１を介在させた二次側部材とによって構成され、一次側部材と二次側部材が相対的に移動するようになっている。このような構成において、側面部材２０ｂをＹ方向にスライドさせると、側面部材２０ｂの凹部２２ａ２とスペーサ２１の凸部２２ｂ２が嵌まり合って楔形に組み合わされる。また、上面部材２０ａをＸ方向にスライドすると凹部２２ａ１と凸部２２ｂ１が嵌まり合って楔形に組み合わされる。よって電機子ユニットＡ，Ｂ，Ｃとスペーサ２１が一体化される。 （もっと読む）

【課題】液晶カラーフィルタ基板のような２次元パターンの色度測定を高能率に行うことが可能な色度測定方法と色度測定装置とを提供する。
【解決手段】特定の波長領域の光を、選択波長領域を変化させながら被測定物４に照射し、各波長領域の光の照射による被測定物４の透過光を受光センサ６で測定し、受光センサ６の出力信号に基づき各波長領域での光の透過率又は減衰率を求めることで色度データを把握する。このとき、複数の受光素子を縦横に並設することによって受光センサ６を構成する。また、複数の受光素子から成る複数個の受光素子群を構成すると共に、被測定物に対する各受光素子群の配置態様を決定する。同一の受光素子群に属する各受光素子の出力を平均化して処理する。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールの長尺化に起因する駆動性能の低下という不都合な現象を、低コストに、かつコンパクトな構成で防止することが可能なリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】リニアガイド２３、２６を弾性体２４、２７を介して上記被ガイド体２０に取り付ける。リニアガイド２３、２６は複数のガイド要素２３ａ、２６ａに分割構成する。リニアガイド２３、２６はガイドホルダ２５、２８に取り付け、可動子２０には、ホルダ装着部３１、３２を形成し、ガイドホルダ２５、２８をホルダ装着部３１、３２に対して着脱可能にしている。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタなどの被検体の分光計測領域を正確に設定することが可能で、被検体の分光情報を正確に把握できる顕微鏡測定装置を提供する。
【解決手段】被検体Ｂ上に結像した微小スポットからの反射光の分光測定を行う顕微鏡測定装置である。反射光の光路に光を入光させる計測領域表示光源５０を備え、被検体Ｂ上に計測領域表示スポットＳを結像させる。制御手段３８は、照明光又は透過光を被検体Ｂに投射して計測領域表示スポットＳが映った画像Ｉを捉える画像取得手段３１と、この画像取得手段３１の画像Ｉに基づいて被検体Ｂに対する計測領域表示スポットＳの相対位置を検知して、上記移動手段１１にて計測領域表示スポットＳが被検体Ｂの所定の位置に結像するように移動させる画像処理手段３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】検査等の処理対象となるガラス基板の大型化に対して、簡単な透明な構造材の組み合わせで透過型支持テーブルの製造を可能とし、その結果、低コスト化、製造納期の短縮化を図ることが可能であると共に、破損時のメンテナンス性を向上させることが可能な液晶用ガラス基板の支持装置を提供する。
【解決手段】下部フレーム１と、下部フレーム１に支持されると共に透光性を有する支持テーブル２とを備える。下部フレーム１においては、上方に開口すると共に内部に補助光源４が配置された概略箱形の照明ボックス３の複数個が所定の間隔で略並行に配置されている。支持テーブル２は、複数枚に分割構成されると共に上記照明ボックス３上に支持されて成り、上記照明ボックス３の下方に移動式光源５を配置している。 （もっと読む）

【課題】大型化、高出力化を実現でき、しかも寿命が長くて消耗品を減らしてメンテナンスコストの低減を図ることができ、さらに消費電力を下げることができる検査用照明装置を提供する。
【解決手段】この検査用照明装置１は、被検査体２をライン照明するもので、複数のＬＥＤ４・・を備えた光源部５及び導光部６を備える。そして、複数のＬＥＤ４・・を、周期的或いは非周期的に間隔をあけながら同一直線上に配置して、必要な部位のみ適度な照明を行うようにしている。 （もっと読む）

【課題】寿命が長く、しかも環境性能にも優れた液晶基板目視検査装置を提供する。
【解決手段】液晶基板５の製造における製膜工程後の目視検査を行う液晶基板検査装置である。照明用光源にＬＥＤを使用したロッド形状の発光灯１９を用いる。これによって、ＯＮ・ＯＦＦの頻繁なスイッチング操作によっても照明用光源の寿命を縮めず、長期にわたって安定して使用することができる。照明用光源の色を色混合によって変化させる。反射用照明１と透過用照明２とを備え、ロッド形状の発光灯１９を反射用照明１と透過用照明２とに用いる。 （もっと読む）

【課題】観察対象や加工対象移動中に追従式のフォーカス動作を行い事前に対物レンズと対象物の距離をある範囲内に制限し、静止後最終的なフォーカス動作を行う距離を短くし、フォーカス時間の短縮を図るオートフォーカス装置を提供する。
【解決手段】光軸方向及びこれと垂直方向に距離の異なる２個のピンホール７Ａ、７Ｂを、対物レンズ２を介して被測定物１の平坦面に投影する投影手段３０と、上記２個のピンホール７Ａ、７Ｂの段差と対物レンズ２の倍率とに基づいて被測定物側の投影像のフォーカス位置の差を演算する演算手段１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】１回の測定で複数のデータを処理して１個の基板の膜厚測定の短時間化を図ることが可能な分光膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】液晶カラーフィルタ基板Ｂのカラーパターン内部及びパターン無し部のレジスト等の膜厚を測定及び分光特性を測定する分光膜厚測定装置である。一つの光源装置１から複数の測定部へ測定光Ｌ１を照射する。複数の測定部からの各反射光Ｌ２がイメージング分光器１２に入射して、各反射光をそれぞれ独立に分光する。 （もっと読む）