【課題】 プロセスガス等の流体のスムーズな流れを維持する流体流路の加工作業において、その加工時間を短縮しながら簡単かつ確実に加工でき、また、構造を単純化して全体をコンパクトに形成可能であり、円滑な流体の供給を可能とし、かつ、流体の滞留現象をなくした集積化ガス制御装置用流路ブロックとその製造方法、並びにこの制御装置用流路ブロックを利用した集積化ガス制御装置を提供すること。
【解決手段】 プロセスガス等の流体を供給制御する自動弁等の集積ユニット１００を搭載するための集積化ガス制御装置用流路ブロックである。プレート状のブロック体１０の肉厚方向に、集積ユニット１００同士の入口・出口用の穴を貫通させて貫通路１１、１２を形成する。この貫通路１１、１２を連結する開口溝部１３をブロック体１０の何れか一面又は両面側に開口させ、この開口溝部１３をシールプレート７０で密封した集積化ガス制御装置用流路ブロックである。 （もっと読む）

微量の薬液などを超純水などに供給して洗浄水などとして使用可能な溶液を調製するにあたって、被供給液の供給量を精度よく定めることができる方法を提供する。主流体用流通管（２）に流通する主流体に、被供給液を供給し溶液を調製する液供給方法であって、被供給液を送出する供給部（３）と、供給部（３）からの被供給液を主流体用流通管（２）に向けて流す被供給液用流通管（４）とを備え、被供給液用流通管（４）の内径が０．０１〜１ｍｍとされた液供給装置（１）用い、被供給液を、供給部（３）から被供給液用流通管（４）を通して主流体用流通管（２）に供給するに際して、供給部（３）における被供給液の圧力Ｐ１と、主流体用流通管における主流体の圧力Ｐ２が次の式を満たすようにする。Ｐ１−Ｐ２＞０
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