【課題】ハンドルの着脱を容易にし、ハンドルの回動操作性の向上を図り、ハンドルを閉の位置において自動的にかつ確実に南京錠等の挿入孔を露出させ、施錠性の向上を図り、閉の確認が容易であり、開閉表示の視認性を一定に保持できる流体制御器を提供する。
【解決手段】バルブ本体１上部のハンドル２の回動操作によりステム５を回転させて弁体３を開閉制御する流体制御器である。流体制御器は、バルブ本体１に設けた軸装筒７の上端にらせん面５１とらせん面５１に連設したロック溝５２を形成し、ハンドル２の係合穴２１にステム５を非回転自在に挿入させ、ハンドル２の求心方向に取付けたシャフト３３にローラ３２を回転自在に軸装し、ローラ３２をらせん面５１上に沿って回転自在に設け、ロック溝５２に挿入可能に設け、ハンドル２の全開から全閉までの回動操作で係合穴２１よりステム５の上端に形成した貫入孔１６をハンドル２上面に露出可能に設けている。 （もっと読む）

【課題】真空領域内を圧力制御することに好適なバタフライ式圧力制御バルブであり、設置スペースが小さく、小さい操作力により高速制御して、弁閉時には弁閉状態を維持して高シール性を発揮し、流量制御時には微小流量から大流量まで正確に制御でき、一般的なバタフライバルブと同等の耐久性を発揮しつつ、単体でアイソレーション機能を発揮して大気圧から低真空までのソフト排気の排気時間を制御できるバタフライ式圧力制御バルブを提供する。
【解決手段】バタフライ式圧力制御バルブは、バルブ開閉機構２２を有する。バルブ開閉機構２２は、エア流路２５へのエアの供給によりシートリング２４を弁体２３から離間させた状態でこの弁体２３を無摺動で回転させ、弁体２３を弁閉状態に回転したときにエア流路２５へのエアの供給とスプリング２６の付勢力とにより弁体２３にシートリング２４を接離させて流路２１内の圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】極めて温度の高い流体であっても、弁閉時には高シール性を発揮し、また、弁開時には低真空領域から高真空領域までを高精度に流量調節を行いながら流すことができ、しかも、製作が容易で低コストの流量制御用の真空バルブを提供する。
【解決手段】流入口２ａと流出口２ｂを有するボデー２内にステム３１を介して弁体１０を昇降動自在に設ける。この弁体１０には、ステム３１と垂直に交差する方向に平面部１１を設ける。更に、平面部１１には、シール面１２ａ側を鏡面研磨仕上げした薄板メタルシール材１２を固着し、このメタルシール材１２をボデー２内に設けた環状のメタル弁座２０に平行に着座させることにより、高いシール性を維持しつつ弁閉するようにした真空バルブである。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置等の流路に設けたときには薬液等のガス化用材料を気化又は昇華させて供給制御可能な容器用ブロックバルブであり、全体又は他の部品を交換することなく継手部分のみを着脱して交換でき、コストの削減に寄与し、コンパクト性を発揮し、ガスの漏洩を確実に防止し、流路洗浄度の低下を抑え、しかも、全体を均一に加熱してガスを供給できる容器用ブロックバルブを提供すること。
【解決手段】容器本体１２に設けた入口側と出口側流路１３、１４に集積弁実装用の流路ブロック２０を連通状態で容器本体１２上に搭載すると共に、この流路ブロック２０の流入口と流出口に継手用ブロック部材４０を着脱自在に設けた容器用ブロックバルブである。 （もっと読む）

【課題】高温環境下での、メタルダイヤフラムと弁座との間のギャップを一定に保持し、原料ガスを安定して供給することができるメタルダイヤフラム弁を提供すること。
【解決手段】弁棒１６の押圧によって弁座１４に接触し、弁棒１６の押圧解除によって原形状に弾性復帰することで、弁開閉を行うメタルダイヤフラム１５を、時効硬化熱処理によってビッカース硬度がＨｖ５００以上にした。これにより、高温環境下であっても、メタルダイヤフラム１５の反力（弾性力）の低下や熱膨張量が抑えられ、メタルダイヤフラム１５と弁座１４とのギャップαが一定に保持されるので、原料ガスの供給が安定的に行われる。 （もっと読む）

【課題】ボデー全体を大型化することなくコンパクトでありながらダイヤフラムの受圧面積を大きくして圧力制御時の精度や耐久性の向上を図ることができる流体制御機器を提供すること。
【解決手段】ダイヤフラム２５の上下側を２つの環状部材２１、２３で挟み、ダイヤフラム２５と環状部材２１、２３を外径側からシール溶接したダイヤフラムユニット２０を構成し、このユニット２０のボデー接続側にネジ部２２を設け、このネジ部１３とボデー１２に形成したネジ部１３とを内側に装着したガスケット２７を介してユニット２０とボデー１２を螺着して、ダイヤフラムユニット２０とボデー１２をシール一体化した流体制御機器である。 （もっと読む）

【課題】平面実装時に従来方式のように位置出しを必要とせず、流量制御装置を締結ボルトで取付けることにより、同時にかつ均一にシール接続を可能とし、殊に、構成部品が簡単であると共に流量制御機器の着脱作業が容易となり、もって、コンパクトな流量制御機器を提供すること。
【解決手段】流量制御機器３を平面実装方式で取付ける取付構造において、流量制御機器３のボデー１１に流体の入口１２と出口１３を設け、この入口１２と出口１３が位置する外側方のボデー１１両端部に平面実装用の締結ボルト１７を取付け、この締結ボルト１７で被取付体２０に流量制御機器３を固定した流量制御機器の取付構造である。 （もっと読む）

【課題】 高コンダクタンスで大流量のガスを滞りなく流すことができるベローズシールバルブであり、本体内にパーティクルや生成物が付着するのを防止し、ガス置換特性も良好なベローズシールバルブを提供すること。
【解決手段】 流路口１２を有する弁本体１１に傾斜筒１３を連通させてボデー１０を構成し、傾斜筒１３内に配設したステム２２の先端側の弁体２３で流路口１２を開閉自在に設け、このステム２２をシールするベローズ２８の内部を流路口１２側に配置すると共に、弁体２３またはベローズ２８を固着するベローズフランジ２１の少なくとも何れか一方にバックシール用のガスケット２６を設けて弁体２３の弁開状態のときにガスケット２３でベローズ２８内部を密閉するようにしたベローズシールバルブである。 （もっと読む）

【課題】 高集積化により配管機器を搭載できる集積化ガス制御装置である。制御装置本体を小型化することにより半導体製造装置などの製造装置に搭載した場合に、製造装置全体のフットプリント性を向上させることができる集積化ガス制御装置である。
【解決手段】 ガス流路１２を有する流路プレート１３の表裏面１３ａ、１３ｂに当該流路に連通する開口部１４を複数個あけ、これらの開口部１４は流路プレート１３の表裏面１３ａ、１３ｂに沿って千鳥状態に配設すると共に、開口部１４にそれぞれ配管機器１００を流路プレート１３の表裏面１３ａ、１３ｂを挟持するように配置した集積化ガス制御装置である。 （もっと読む）

【課題】 弁開時の流量を大きくできるダイレクトシール構造のダイヤフラムバルブであり、パーティクルの発生を確実に抑えることが可能なダイヤフラムバルブを提供すること。
【解決手段】 流入口２１ａと流出口２１ｂを有するボデー２１内に設けた弁座２５にメタルダイヤフラム２２をダイレクトに接離させて弁開閉を行うダイヤフラムバルブにおいて、メタルダイヤフラム２２を弁座２５に接離させるための昇降動部材２４を当該メタルダイヤフラム２２に溶着したダイヤフラムバルブである。 （もっと読む）