【課題】研磨材の水分量を最適に保ち、最適な研磨状態を持続することができる研磨装置を提供する。
【解決手段】容器２内にて水分を含有する研磨材３を被研磨材４に噴射して研磨する研磨装置１において、容器２内に形成され研磨材３を貯留する貯留部５と、貯留部５の上部に連結して形成され貯留部５上にて上昇気流６７を発生させて容器２内の排気を行う排気部６と、貯留部５と排気部６との間に介在して配設され研磨材３に水分を供給する水分供給部７と、貯留部５内に形成され研磨材３を攪拌する攪拌部８と、貯留部５の下部にて連結され被研磨材４に研磨材３を噴射する噴射ノズル部９とを備える。 （もっと読む）

【課題】研磨装置に所望量の水分を含有する研磨材を連続して安定的に供給することができる供給装置を提供する。
【解決手段】水分を含有する研磨材１を研磨装置１００に供給する供給装置１０１において、研磨材１を貯留し上部から下部に向かうほど内径が小さくなる形状にて形成された容器２と、容器２の底部にて研磨装置１００に連結する連結部３と、連結部３の内壁内をまたがるように回転軸４が配設され、回転軸４に容器２と連結部３とが閉塞されるように長さの異なる複数の羽根５、６、７、８が配設され、当該複数の羽根５、６、７、８が回転することにより研磨材１を送り出す回転羽根部９と、回転羽根部９を回転駆動させる駆動手段１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】研磨材の水分を最適な状態に保ち、最適な研磨状態を持続することができる研磨方法を提供する。
【解決手段】水分を所定量含有する研磨材４を被研磨材２に噴射して衝突させる研磨動作を行い被研磨材２の表面を研磨する研磨装置において、
被研磨材２に噴射した後の研磨材４の一部の研磨材４ａを収集するとともに収集した一部の研磨材４ａを再び研磨材４に排出する収集部１０と、収集部１０内に収集された研磨材を収集部１０内にて攪拌する攪拌部１１と、収集部１０内に収集された研磨材４に所定量の水分を供給する供給部１２とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】研磨および研削を効率的にかつ精度よく行うことができる研磨研削装置を提供する。
【解決手段】被研磨研削物１０１を研磨または研削を行うための研磨研削装置１００において、研磨または研削を行うための回転子１と、回転子１を自転させるための回転軸２と、第１のモータ３にて自転する太陽軸４と、太陽軸４の回転と連動して太陽軸４から第１の公転半径Ｌ１を隔てて公転する遊星軸５と、遊星軸５と同軸にて形成され遊星軸５と連動して移動するとともに第２のモータ６にて自転する揺動軸７とを備え、回転軸２は、遊星軸５の自転と連動して自転するとともに、揺動軸７の自転と連動して揺動軸７から第１の公転半径Ｌ１の距離と同一の距離を有する第２の公転半径Ｌ２を隔ててかつ太陽軸４と同軸位置を通過可能に揺動するものである。 （もっと読む）

【課題】機械的駆動装置を特に必要とすることなく遠隔操作が可能で、従って安価であり、しかも流路開放時の流体圧力損失が低い流量制御装置を得ることを目的とする。
【解決手段】ハウジング１内の空間２に、それぞれ第１の径を有する第１の円筒面４とこの第１の円筒面４と同軸で第１の径より小さい第２の径を有する第２の円筒面５、および所定の深さを有し第２の円筒面５に開口する環状溝６からなる開閉動作空間部３を形成し、この開閉動作空間部６内に、環状溝６の側面と気密に当接して配設され、環状溝６の底面から導入する制御流体の圧力変化によりその外径が変化する環状弾性体１０および環状弾性体１０内に配設された環状バネ１１を備えた。 （もっと読む）