ピエゾパーツ株式会社により出願された特許
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応力センサ
【課題】水晶振動子等の圧電素子の輪郭方向の荷重対動作周波数変動特性を積極的に利用して、僅かなスペースであっても取り付け可能であって、かつ、耐圧性に優れ、高感度な応力センサを提供する。
【解決手段】板状の圧電素子と、その内部空間に前記圧電素子を気密状態で収容可能であり、前記圧電素子の先端の側周面に対向する頭部が薄膜状である筐体を備えており、前記薄膜状である頭部を介して前記圧電素子の側周面から荷重を受けるようにした。
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