本発明はチタンおよび／またはフッ素でドーピングされた、均一性が極めて高いことを特徴とする高純度の石英ガラスからなる波長が１５ｎｍ以下の放射線を透過させるための光学部品用石英ガラスブランクに関する。均一性は下記の指標に関するものである。ａ）（５μｍ）^３の容積要素で平均されたＴｉＯ_２分布の局所分散が石英ガラスブランク中のＴｉＯ_２含有量の平均値に対して０．０５％ＴｉＯ_２未満であることによるミクロ不均一性、ｂ）主要機能方向での熱膨張率△αが５ｐｐｂ／Ｋである絶対的最大不均一性、ｃ）最大０．４ｐｐｂ／（Ｋ・ｃｍ）である石英ガラスの有効面での熱膨張率の径方向分散、ｄ）最大２ｎｍ／ｃｍである６３３ｎｍでの主要機能方向における特別の特性曲線を有する応力複屈折（ＳＤＢ）、ｅ）（ｂ）に基づき平均された光学面上の△αの特別の特性曲線。この石英ガラスブランクは、珪素含有およびチタン含有および／またはフッ素含有化合物の火炎堆積法によって得られるドーピングされた石英ガラスを複数の変形加工段階によって大容積の棒状の原材料として均質の石英ガラスブランクに加工し、均一化する工程によってのみ得られる。
（もっと読む）

ＳｉＯ_２含有粒によりＵＶ放射源のための石英ガラス要素をつくる既知の方法から出発して、高耐放射線特性により特徴付けられる石英ガラス要素を得る廉価な方法として本発明が提案していることは、合成的に製造した石英ガラスを溶融してＳｉＨ基の数よりも大きい数の水酸基を含む石英ガラスから成るプリプロダクトをつくることと、そのＳｉＨ基を除去するためそのプリプロダクトを少なくとも８５０℃の温度でアニール処理し、それにより石英ガラス要素を得ることである。本発明の石英ガラス要素において石英ガラスは合成的につくった水晶を溶融して得ており、それのＳｉＨ基の含有量は５×１０^１７分子／ｃｍ^３より少ない。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、レーザー活性石英ガラスから作成されるコンポーネントのための任意の形状および大きさの素材の、経済的な生産方法に関する。
【解決手段】方法は次の工程を含む：
ａ）少なくとも４０重量％の固形分を有し、ＳｉＯ_２ナノパウダーおよびドーパントを含み、液体中に希土類金属および遷移金属の陽イオンを含む、分散物を供給する工程、
ｂ）３５重量％未満の含水量および少なくとも０.９５ｇ／ｃｍ^３の密度を有する球状多孔性粒状粒子であるドープされたＳｉＯ_２粒状体が形成されるまで、水分を除去しながら分散物を運動させることによる造粒工程、
ｃ）ＳｉＯ_２粒状体を少なくとも温度１０００℃に加熱することにより乾燥させ精製して、１０ｐｐｍ未満のＯＨ含量を有するドープされた多孔性ＳｉＯ_２小粒を形成する工程、および
ｄ）ドープされたＳｉＯ_２小粒を還元雰囲気中で焼結または溶融させて、ドープされた石英ガラスの素材を得る工程。 （もっと読む）