【課題】画像モアレを防止できるＸ線検出器を提供する。
【解決手段】光導電層41に画素電極６の周縁に沿うような形で溝部44を形成する。溝部44にＸ線吸収体45を充填する。光導電層41内に入射したＸ線の散乱Ｘ線をＸ線吸収体45で吸収できる。散乱Ｘ線の影響を抑制できる。Ｘ線吸収体45がＸ線グリッド43の役割を果たす。Ｘ線吸収体45を光導電層41内に一体的に設けた。Ｘ線吸収体45にて構成したＸ線グリッド43が光導電層41と一体型の構造になる。光導電層41に入射したＸ線を正確に信号電荷に変換できる。Ｘ線グリッド43と画素電極６とのずれにより生じる画像モアレを簡単な構成で確実に抑制できる。Ｘ線検出器１の解像度特性を改善できる。
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【課題】Ｘ線を電気信号に変換するＸ線光導電層４の均一性および成膜性を改善できるＸ線検出器１を提供する。
【解決手段】アクティブマトリクス基板３の画素電極９が設けられた表面に、その表面を平坦化する平坦化層28，29を形成する。平坦化層28，29上にＸ線光導電層４を形成し、Ｘ線光導電層４上にバイアス電極層５を形成する。画素電極９上に設ける平坦化層28は、導電性材料とする。平坦化層28，29上に設けるＸ線光導電層４の均一性および成膜性を改善し、解像度特性などを向上させる。
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【課題】Ｘ線光導電膜の剥離および腐食を防止できるＸ線検出器を提供する。
【解決手段】Ｘ線光導電膜５としてヨウ化鉛を用いる。画素電極13およびＸ線光導電膜５の間の界面と、Ｘ線光導電膜５およびバイアス電極層６の間の界面とに酸化鉛薄膜22を形成する。画素電極13よびバイアス電極層６とＸ線光導電膜５との結合力を向上できる。画素電極13と酸化鉛薄膜22とが金属酸化物であり、Ｘ線光導電膜５と酸化鉛薄膜22とが鉛化合物であるから、密着性を向上でき、剥がれを防止できる。反応性の極めて高いＸ線光導電膜５からの画素電極13およびバイアス電極層６の腐食を防止できる。
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【課題】分析対象物12の表面からの深さ方向を含んだ三次元的な元素の分布を分析できる分析装置11を提供する。
【解決手段】分析対象物12の同一位置にレーザ光Ｌを多重に照射し、分析対象物12にレーザ光Ｌを照射して発生する蛍光Ｆから定量される元素の蛍光強度の変化を監視する。レーザ光Ｌの少ないショット数で蛍光強度が急激に低下すれば、分析対象物12の表面に分析対象元素が付着していることを検知する。レーザ光Ｌのショット数を重ねても蛍光強度が低下しなければ、分析対象物12の内部深くまで分析対象元素が存在していることを検知する。分析対象物12の表面からの深さ方向を含んだ三次元的な元素の分布を分析できる。
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【課題】レーザ光照射手段24の光学系36からレーザ光Ｌを容器12に照射したとき、容器12からの飛散物が光学系36に付着するのを防止した分析装置を提供する。
【解決手段】レーザ光照射手段24の光学系36で集光したレーザ光Ｌを容器12に照射する。容器12にレーザ光Ｌを照射して発生する蛍光を集光し、集光した蛍光から元素を定量する。レーザ光照射手段24の光学系36と容器12との間に、平板状でレーザ光Ｌが通過する通過孔41を形成した遮蔽板40を配置する。遮蔽板40により、レーザ光Ｌを集光照射した容器12からの飛散物が光学系36に付着するのを防止し、長時間安定した分析を可能とする。
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この発明は、陽極（１１）に向けて電子を発生する電子放出源（１７）、陽極を回転可能に支持する軸（１３）、ロータ軸（１５）を回転させる力を発生するステータ（１９）、少なくとも陽極と電子放出源とロータ軸を真空に維持する外囲器（９）、外囲器の周囲に冷却媒体を介在させるハウジング（３）を含むＸ線装置（１）であり、電子放出源、ステータ等に電源を供給する電線材またはその電線材との接続に利用されるコネクタを、絶縁性を示す材料によりモールドしたことを特徴とする。 （もっと読む）

この発明は、陽極ターゲット（１１）を回転させながら陽極に電子を衝突させてＸ線を得る回転陽極型Ｘ線管装置において、磁界を発生するステータ（２２）と陽極ターゲットとを、液体金属を用いる動圧式すべり軸受により支持するとともに、少なくとも動圧式すべり軸受内および陽極ターゲットを収容した外囲器（１０）を、一種類の冷却媒体（７）を循環させて冷却することを特徴とする。 （もっと読む）

回転可能な陽極ターゲット１５及び陽極ターゲット１５に対向して配置された陰極１６を真空外囲器１３内に収納した回転陽極型Ｘ線管１１と、陽極ターゲット１５を回転させるための誘導電磁界を発生するステータ２６と、少なくとも回転陽極型Ｘ線管１１を収納保持するハウジング１０と、回転陽極型Ｘ線管１１の少なくとも一部に近接して設けられ、水系冷却媒体が循環する循環路と、循環路の途中に設けられ水系冷却媒体を強制駆送する循環ポンプ２７ａ及び水系冷却媒体の熱を放出させるラジエータ２７ｂを有するクーラーユニット２７と、を具備したＸ線装置であって、水系冷却媒体は、２５℃における溶存酸素量が５ｍｇ／リットル以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

回転可能な陽極ターゲット１５及び陽極ターゲット１５に対向して配置された陰極１６を真空外囲器１３内に収納した回転陽極型Ｘ線管１１と、陽極ターゲット１５を回転させるための誘導電磁界を発生するステータ２６と、少なくとも回転陽極型Ｘ線管１１を収納保持するハウジング１０と、回転陽極型Ｘ線管１１の少なくとも一部に近接して設けられ、水系冷却媒体が循環する循環路と、循環路の途中に設けられ水系冷却媒体を強制駆送する循環ポンプ２７ａ及び水系冷却媒体の熱を放出させるラジエータ２７ｂを有するクーラーユニット２７と、を具備したＸ線装置であって、水系冷却媒体に接触する金属部品の少なくとも一部の表面は、被覆体によって被覆されたことを特徴とする。 （もっと読む）