【課題】被冷却物全体を均等に冷却できるフリーピストン型スターリングサイクル冷凍システムを提供すると共に、冷却能力の低下を軽減できるフリーピストン型スターリングサイクル冷凍機を提供する。
【解決手段】フリーピストン型スターリングサイクル冷凍機１には高圧の作動ガスを充填した補助タンク２０が設けられ、配管２１を介して冷凍機１の冷凍機本体ケーシング２と連通されている。冷凍機１の運転中に吸熱部１３の温度が十分に冷えると、冷凍機本体ケーシング２内の作動ガスの圧力が低下して吸熱や放熱の効率が低下し冷却能率が落ちてくるが、高圧の作動ガスが充填された補助タンク２０から冷凍機本体ケーシング２内に作動ガスが送り込まれるので圧力の低下が防止され、冷却能率の低下も防止できる。また、複数のフリーピストン型スターリングサイクル冷凍機を用いて１つの被冷却物５を冷却する冷凍システムでは被冷却物５を効率良く冷却できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、測定値の再現性に優れ、正確な圧力測定が可能な隔膜型圧力センサ及び環境温度変化の影響を抑えた、測定精度の高い隔膜型圧力センサを提供することを目的とする。
【解決手段】 第１の絶縁性基板とダイヤフラムを形成したシリコン基板とを、及び該シリコン基板と通気口を形成した第２の絶縁性基板とを接合して作製する隔膜型圧力センサにおいて、前記一方の絶縁性基板は接合温度において前記シリコン基板の熱膨張率よりも小さい熱膨張率を有し、前記他方の絶縁性基板は環境温度において前記一方の絶縁性基板よりシリコン基板に近い熱膨張率を有することを特徴とする。また、前記一方の絶縁性基板の厚さは、前記他方の絶縁性基板の厚さより薄くしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試験体の漏れ試験をより短時間で行うことが可能なリークディテクタ及び漏れ試験方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 分析管を排気する２次ポンプの排気口に第１のバルブを介して１次ポンプを接続し、試験体を接続するテストポートを第２のバルブ及び第３のバルブを介してそれぞれ２次ポンプの中間段ポート及び１次ポンプの吸気口に接続し、中間段導入方式でリークガスを検出するリークディテクタ及び漏れ試験方法であって、試験体の圧力を測定する圧力計と、試験体を１次ポンプのみで排気したとき、第１の圧力まで排気するのに要する時間を計測するタイマーと、圧力計の指示が分析管稼働可能な圧力に対応する第２の圧力となるまでの排気を、１次ポンプで排気するか、又は一旦分析管をオフして２次ポンプで排気するかの判断を、タイマーの出力に基づいて行う制御手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、環境温度変化の影響が小さく、より高精度な圧力測定が可能な隔膜型圧力センサを提供することを目的とする。
【解決手段】 第１の絶縁性基板、ダイヤフラムを備えた導電性基板及び通気口を備えた第２の絶縁性基板からなり、ダイヤフラムと第１の絶縁性基板及び通気口との間にそれぞれ圧力基準室及び圧力測定室を形成し、外部から通気口を通して圧力測定室に加わる圧力に応じて変位するダイヤフラムの変位量を計測して圧力を求める隔膜型圧力センサにおいて、前記第１の絶縁性基板及び第２の絶縁性基板の少なくとも一方の表面に、環境温度における熱膨張率が、貼り付けられる絶縁性基板の環境温度における熱膨張率よりも小さい板材を貼り付けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、より高精度の温度補償が可能で、取り付け後の較正が容易な静電型圧力センサを提供することを目的とする。
【解決手段】 所定圧力に設定された圧力基準室と圧力測定室とを隔てる第１のダイヤフラムに対向して測定電極が設けられ、第１のダイヤフラム及び測定電極間の第１の静電容量から圧力測定室の圧力を求める静電容量型圧力センサにおいて、環境温度変化に対する温度補償を行うための参照電極及びこれに対向する第２のダイヤフラムを設け、該第２のダイヤフラムを挟む参照電極側の第１の空間及び反対側の第２の空間の圧力を実質的に同一とし、前記第１の静電容量を前記参照電極と前記第２のダイヤフラム間の第２の静電容量により補正して前記圧力測定室の圧力を求める構成としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、微小な内部容積の素子であっても、測定時点に依存することなく安定して気密性を評価できる漏れ試験器を提供することを目的とする。
【解決手段】 Ｈｅガスを用いて、試験体のリーク量が要求される空気の等価基準リーク量Ｌ_０以下であるか否かを判定するボンビング法による漏れ試験装置であって、所定圧力ＰｅのＨｅガス中で所定時間ｔ_１ボンビングした該試験体を内部に収納する真空容器と、該真空容器に連結され、試験体から放出されるＨｅのリーク量Ｒを測定し、出力するＨｅリークディテクタと、を備え、該試験体についてボンビング終了時からリーク量Ｒの測定時までの時間ｔを計測し、空気の等価基準リーク量Ｌ_０を有する標準試験体について予め求めておいたＨｅガスの基準リーク量Ｒｒと経過時間との関係から、時間ｔにおけるＨｅガスの基準リーク量Ｒｒを求め、これを実測値Ｒと比較して合否判定を行う構成としたことを特徴とする。 （もっと読む）