【課題】クライオポンプ装置の誤配線を見つけ出すことで、誤配線から生じる故障や誤動作等を未然に防ぐこと。
【解決手段】 クライオポンプ装置は、クライオポンプ内における温度及び圧力の少なくともいずれか一方を検出するセンサと、クライオポンプ内の温度及び圧力の少なくともいずれか一方の変化をセンサの検知結果に基づき検知することで、コントローラとクライオポンプとの間の接続状態を判定するコントローラと、コントローラの判定結果から、クライオポンプに関して推定される異常箇所を表示する表示装置と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 環境温度の影響を受けにくく、センサ全体の温度を均一かつ一定に保つことが容易な静電容量型隔膜式圧力センサを提供すること。
【解決手段】 対向配置された固定電極とダイヤフラムを有し、ダイヤフラムが外力によって変形され、この変形に応じて変化する固定電極とダイヤフラムの間の静電容量によって圧力を求める静電容量型隔膜式圧力センサは、センサの本体を囲う外側ケースと、外側ケースの内面に配置されたヒータと、外側ケースの内部の温度を測定するための温度センサと、温度センサにより得た温度信号を所定値と比較し、比較結果に基づいてヒータを駆動するための駆動信号を出力する温度調整回路と、を有する。 （もっと読む）

【課題】冷却パネルに凝縮又は凝固された気体を、冷却トラップユニット外に排出する再生時に、再生時間を大幅に短縮する。
【解決手段】ドレインポート１０を有する真空容器２と、吸熱部５が真空側に位置するように真空容器２に接続された冷凍機１と、吸熱部５に密着して固定され、気体を凝縮又は凝固する冷却パネル７を有する冷却トラップユニット３において、冷却パネル７に凝縮又は凝固された気体を、真空容器２の外に排出する時に、液体を冷却パネル７に接触するように真空容器２内に溜め込み、吸熱部５に設置した温度センサ１１により液体の温度変化を検出し、温度が所定値に達した検出信号に基づき、ドレインポート１０から液体を排出させる構造を備える。 （もっと読む）

【課題】塑性変形させることがないため全閉状態を再現性よく一定の流量のガスを調整できるようにする。
【解決手段】内部に気体の流路３が形成され、流路にピストン６を有する弁体２と、弁体が離接する弁座４とが配され、弁体と弁座とが離接することにより気体の流量が制御される弁開閉装置であって、ピストンの移動を制御し、弁体と弁座が接触している場合に、弁体が弁座を所定の圧力以下で押す駆動体９を具備する。この弁開閉装置を具備する真空処理装置。 （もっと読む）

【課題】逆流や漏れの影響による性能低下を防ぐ。
【解決手段】傾斜板８は、傾斜板８の下面８ｂと上面８ｄとの間を貫通しかつ吸入側空間１６に連通する吸入口８ｅと、傾斜板８の下面８ｄと上面８ｄとの間を貫通しかつ排出側空間１７に連通する排出口８ｆとを有している。傾斜板８の上面８ｄに摺接する傾斜ガイド４の接触面４ａには、傾斜ガイド４の回転に伴って傾斜板８に形成された吸入口８ｅと排出口８ｆとに順次連通する流体移送空間１８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】摺動による部品寿命の低下や性能低下を抑え、より長期にわたり効率良く安定した運転を継続できる流体圧送装置を提供する。
【解決手段】本発明の流体圧送装置は、球状空間３を形成する内周壁３ａと、球状空間３と同心で内周壁３ａに摺接する円板体４と、球状空間３の中心を頂点とする円錐体５と、円錐体５に形成された溝９から出没する仕切板６とを有する。内周壁３ａのうち、少なくとも円板体４の外周と仕切板６の端部の外周を覆う領域が一体的に形成されている。 （もっと読む）

【課題】比較的高圧縮比率の流体圧縮機を提供すると共に、逆流や漏れの影響による性能低下を防ぎ、構造の簡素化を図り、振動や騒音が抑える。
【解決手段】球状空間の球面に摺接する周面１５ａと、円錐面６ａに線接触する底面１５ｂとを有する略半球状の傾斜体１５を備える。そして、傾斜体１５は、底面１５ｂから周面１５ａに貫通された吸入流路および排出流路を有し、傾斜体１５の摺動に伴って、吸入流路および排出流路の出入口が、インナーハウジング１の吸入口４および排出口５の位置を通過する。 （もっと読む）

【課題】大量の水を排気する場合にクライオポンプ稼動時の排気能力や冷却能力が低下するのを防止し、クライオポンプ再生時間を短縮し、長時間の使用を可能にするクライオポンプを提供する。
【解決手段】このクライオポンプは、クライオポンプ容器１４と、冷凍機１５と、クライオポンプ容器の内部に設けられかつ冷凍機の冷却ステージに接続される輻射シールド１８と、輻射シールド１８の開口部に設けられるルーバー２０とを備え、輻射シールド１８の外側に、水をクライオポンプ容器１４の外側に排出する貯水部３２を設けるように構成される。 （もっと読む）

【課題】管の側面から直接に管の被検査部に気密室を形成できる気密室形成構造であって、かつ該気密室は高い検出感度の気密性試験を行うのに十分な気密性を実現できる気密室形成構造を用いた漏洩検査装置を提供する。
【解決手段】 この漏洩検査装置１０は、円筒管１１の内部のガスが管の被検査部を介して外側に漏洩するのを検出する漏洩検査装置であって、管の被検査部を筐体１２で取り囲むように気密室を構成してなり、管と筐体の間に配置された、異なる軟度を有する、少なくとも第１シール部材２１，２２および第２シール部材４１を有してなる気密室形成構造を備えるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 少なくとも２種類の同質量・異成分の被測定ガスのガス分子を正確に区別して定性・定量分析できるイオン付着質量分析方法を提供する。
【解決手段】 このイオン付着質量分析方法は、イオン放出体１８により発生させたイオンを被測定ガスの分子に付着させて付着イオンを生成し、Ｑポール質量分析器３０で付着イオンの質量を計測し、被測定ガスの定性・定量を行う方法であり、さらに、少なくとも２種類の同質量・異成分の被測定ガスの分子に、被測定ガスの分子の各々が有するイオン付着特性の差を生じさせる所定のイオンを付着させるステップと、被測定ガスの分子の各々が有するイオン付着特性の差に基づいて被測定ガスの同質量・異成分を区別して計測するステップとを有する。 （もっと読む）