【課題】本発明は、炉内で基板の面を処理し、薄層の析出を向上させると共にガス相成分と面の反応を向上させる装置及び方法を提供する。
【解決手段】排気システム及びその方法は、排気ガスがガス処理装置に運ばれるようにする。ドアシールと不活性ガス浄化システムは、炉が安全に作動し、ドアシール領域でプロセスガスの反応を最小にする。排気システムは、プロセス管であって、第１の端部と、第２の端部と、第１の端部と第２の端部との間の外面と、第１の端部の外面に配置された第１の係合面と、を有するプロセス管と、プロセス管の第１の端部と係合するドアであって、プロセス管の第１の端部が挿入される凹んだキャビティを形成するリップと、プロセス管の長手方向軸に対して一定の角度でプロセス管の第１の係合面と係合し、リップの内面に配置された第２の係合面と、プロセス管の第２の端部を貫通する排気管と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基材を処理するのに用いられるインライン設備に関する。
【解決手段】幾つかの用途では、当該設備は、ＰＶ電池又はモジュールのインライン製造において用いられる。幾つかの実施態様では、基材の熱処理のための複数の加熱技術を含む加熱システムが提供され、第１の加熱システムが基材の温度を所望の設定値に急速に上昇させるのに用いられ、第２の加熱システムが熱処理プロセス全体を通して基材を設定値の温度に維持するのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加熱エレメント・コイルの支持構造及び加熱エレメントを支持する方法に関する。
【解決手段】加熱エレメント・コイルの垂直支持構造のためのスペーサーは、スペーサーの第一の対向する側面に相補的なコンポーネントを含む噛み合わせ機構と、スペーサーの第二の対向する側面に開いているキャビティと、噛み合わせ機構に交わる軸から外れている延長部であって、加熱エレメント・コイルの個別ループを嵌合するサイズになっているポケットを含む延長部とを含む。スペーサーは、それらのループが共線的かつ同心的配置で保持され、同時にコイルのループが一致して中心軸から内側及び外側へ自由に動くことを可能にするようにコイルの隣接するループを連動させる加熱エレメント・コイルの支持構造に組み込むことができる。 （もっと読む）

【課題】作動温度においても均一に放熱し、応力のないヒーターエレメントを提供する。
【解決手段】本発明のヒーターエレメントは、連続的な平面状の帯状体と、複数の取り付け要素と、を備える。連続的な帯状体の第１の端部から第２の端部までの経路は、曲がりくねっており、複数の繰り返しのサイクルを備え、各繰り返しのサイクルは、複数の第１の直線状の部分と、複数の第２の直線状の部分と、複数の丸みをつけた部分と、を備える。第１の直線状の部分の長さは、第２の直線状の部分の長さよりも長く、曲がりくねった経路のうちの１つのサイクルの角度の合計は、３６０度よりも大きい。このヒーターエレメントは、例えば半導体処理装置用のヒーター組立体に組み込むことができる。 （もっと読む）

本発明はＰＶ電池又はモジュール製造するのに使用される装置に関する。一実施形態において、ガス供給システム及びガス排気システムは複数の基板の処理を行う。ガス供給システム及びガス排気システムは、基板がガスに対して均一に晒されるように設計されている。
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本発明はＰＶ電池又はモジュール製造するのに使用される装置に関する。一つの実施形態において、支持構造は、ＰＶ電池又はモジュールの製造で使用される基板のための支持を提供する。また、支持構造は、エッジで基板を支持し、基板の後端における支持を提供し、処理中に基板を汚さない材料で構成される。
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電気回路の瞬間抵抗値を判定する方法及び電気回路の瞬間抵抗値を判定する計測システムが開示される。方法の例示的な実施例は、回路のその場での瞬間電圧及び回路のその場での瞬間電流を計測し、且つ、瞬間抵抗値を算出する。この方法には、オプションとしての温度計測を包含可能であり、算出された瞬間抵抗値を計測された温度に対して関係付けることができる。方法は、位相角起動型負荷及びゼロクロス（時間比例配分型）負荷に対して適用可能である。
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発熱体（１０１）の状態を監視する方法で、発熱体（１０１）を設置し、その材料の初期組成Ｃ_iを発熱体（１０１）の設置に対応する初期時点Ｔ_iにおける基準ベースラインとして設定することを含む。次に、設置場所においてその後の時点Ｔ_s後の発熱体材料の組成Ｃ_sを反映するデータを収集し、Ｔ_iからＴ_sまでの間の発熱体（１０１）の材料組成の変化を監視する。この変化が、起こり得る破損状態を示す閾値に達すると、アラーム（５０８）が送られる。一実施例によれば、材料組成の変化を決定するために、所要の精度レベルにおいてインピーダンスを計算し、比較するインピーダンスモニタが設けられる。このインピーダンスモニタまたはその一部は、可搬性および機能性の向上のためにマイクロコントローラ内に集積することができる。
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直列接続されたアセンブリに供給されるものと同一電力特性を並列接続された電気抵抗要素に供給する回路が提供される。入力電力源は電気抵抗電力を複数の負荷要素に供給し、複数の負荷要素は互いに並列に接続されている。複数の電力分割器は電源を別々の等しいサブ電力源に分割することにより、各負荷要素に対して１つのサブ電力源が存在するようにし、複数の負荷要素の各々に供給される電力は電力源の電力と等しくする。１つ以上の負荷要素に欠陥があっても残りの負荷要素が動作を続けることを可能にすることにより、その回路に冗長性とフォールトトレラントが与えられる。
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電気炉内において使用する加熱アセンブリは、断熱材によって取り囲まれたらせん状の加熱要素と、加熱要素の巻線を既定の距離だけ離隔した状態に維持するためのスペーサの列と、を含んでいる。各スペーサは、加熱要素の略円周方向において対向し、断熱材が当接する半径方向のアンダーカットを形成するべくスペーサの中央領域に向かって収束している円周方向の側部部分を含んでいる。各列のスペーサは、加熱要素の長手方向の軸に平行に延長するスルーホールを具備している。スペーサの各列のスルーホールを貫通して、ガイドロッドが延長している。
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