【課題】大気圧下でプラズマ励起して被処理体のうちの表面処理が必要な領域にのみ、局所的に短時間で表面処理を行うことができるプラズマ照射装置及び表面改質方法を提供する。
【解決手段】板状の誘電体３を密着させたプレート電極４と誘電体３を介しての表面近傍に対向設置されたメッシュ電極５とが絶縁性の筐体１０内に格納され、プレート電極４及びメッシュ電極５が交流電源６に接続されたプラズマ生成装置１００であって、筐体１０の一方にガス導入部８を、筐体１０の他方にプラズマ照射部９をそれぞれ具備する。プラズマ生成装置１００によりプラズマ７を被処理体１に照射することで表面改質を行う。 （もっと読む）

【課題】大気圧下で長時間プラズマを生成することができるプラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置は、第１導電体と、第２導電体と、第１導電体と第２導電体との間に備えられた少なくとも１層の絶縁層とを備えたプラズマ生成部を有し、第１導電体と第２導電体との間に電圧を印加することによってプラズマを生成するプラズマ生成装置であって、プラズマ生成部は、第１導電体と第２導電体とは絶縁層を介して互いに接触する接触部を有するとともに、接触部の周囲における、第１導電体と絶縁層との間、第２導電体と絶縁層との間、絶縁層同士の間のいずれか１つ以上に、プラズマを生成するための流体に晒された隙間を有し、絶縁層はセラミック層からなる。このプラズマ生成装置は、絶縁層をセラミック層とするため、長時間プラズマを生成させることができる。 （もっと読む）

【課題】ファブリック構造電極をプラズマ生成部に用いた新規なプラズマ生成装置の電源回路を提供する。
【解決手段】商用電源（例えばＡＣ１００［Ｖ］、６０［Ｈｚ］）に接続される一つの単巻変圧器２１と複数の電子トランス２２とファブリック構造電極で構成される複数の放電電極２３からなるファブリック構造電極２０を有する。単巻変圧器２１は可変単巻変圧器であってもよい。可変単巻変圧器とすると負荷に応じた最適な電圧に調節できる利点がある。電子トランス２２と一対の放電電極２３は同数設ける。電子トランス２２を一対の放電電極と同数設けたことにより、ファブリック構造電極をプラズマ生成部に有するプラズマ生成装置に安定して電力を供給できる。 （もっと読む）

【課題】種々の材料・形状を持つ被処理体の表面改質、特に親水性を高めるための表面処理などに好適な低温プラズマ照射装置及び低温プラズマ照射方法を提供する。
【解決手段】低温プラズマ照射装置１０は、筐体２０の内部に一対の電極４０が先端部が離間するように対向して設けられている。この電極４０の他端に電源５０を接続するための端子４２を有すると共に、筐体２０の内部にガスを導入するためのガス流入口２１及び筐体２０に導入されたガスを排出するためのガス流出口２３からなる流通通路とが設けられ、前記電極の離間部Ａに高速のガスを流しながら離間部Ａに電圧を印加する。そして、ガス流出口２３から低温プラズマを照射する。 （もっと読む）