【課題】 対象物を検査選別するための効率的な装置および方法を提供すること
【解決手段】 対象物を受け入れるが、対象物が互いに積み重なるのを防止するようになされた略水平な空間と、複数のトンネルと、対象物が前記複数のトンネルに入るようにさせるガス圧力を伝達するように構成された複数のガス開口部とを含む装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】物体を検査する効率的なシステムおよび方法を提供する必要性が増大している。
【解決手段】物体の複数の画像を獲得するシステムであって、システムは、４つの長手方向移送器と、３つの回転モジュールと、撮像装置とを含む。４つの長手方向移送器は、物体が内部を通って４つの撮像領域に伝播する複数のトンネルを備え、４つの長手方向移送器は、トンネルを通して電気回路を搬送するために、ガス圧の差を利用し、少なくとも１つの長手方向移送器は、ある位置に設置されると、少なくとも１つのトンネルの少なくとも実質的部分を露出する可動部分を有する。３つの回転モジュールは、各回転が２つの長手方向移送器の間に位置するよう、物体の長手方向軸を中心に物体を回転させるように構成される。撮像装置は、４つの撮像領域のそれぞれにおいて、物体の画像を取得するように構成される。 （もっと読む）

【課題】電気的対象物を検査するための装置および方法において、対象物、装置を損傷させることのない装置および方法を提供する。
【解決手段】対象物の複数の画像を獲得するための装置は、横方向画像化領域５１０，５２０，５３０，５４０に対象物を横方向で移送するようになされた複数の横移送機部分を含む横移送機１１０，１２０，１３０，１４０であって、各横移送機部分は、対象物レシーバおよび移送要素を含み、移送要素は、所定の抵抗を超えた抵抗を受けない限り、対象物レシーバを画像化領域５１０，５２０，５３０，５４０に向けて移動させる、横移送機１１０，１２０，１３０，１４０と、対象物が横方向画像化領域５１０，５２０，５３０，５４０に配置されたとき、対象物の２つの逆向きの側面の画像を得るように構成された撮像装置３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】微小なコンデンサなどの対象物は、検査プロセス中に損傷することがあり、殊に小さくて長い電気的対象物などの対象物を検査するための装置および方法を提供する。
【解決手段】対象物の複数の画像を獲得するための装置は、横方向画像化領域に対象物を横方向で移送するようになされた複数の横移送機部分を含む横移送機であって、各横移送機部分は、対象物レシーバおよび移送要素を含み、移送要素は、所定の抵抗を超えた抵抗を受けない限り、対象物レシーバを画像化領域に向けて移動させる、横移送機と、対象物が横方向画像化領域に配置されたとき、対象物の２つの逆向きの側面の画像を得るように構成された撮像装置とを含む。 （もっと読む）

【課題】ミリメートルの寸法の物体を移送するための効率的なシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】ミリメートルの寸法の物体を移送するためのシステムであって、このシステムは、複数のトンネルを備え、物体がそこを通り、画像化領域、電気試験領域および仕分け領域から選択される領域に移送される移送器であって、トンネルを通して物体を輸送するためにガス圧力差を利用する移送器と、第１の容器と、第２の容器と、複数のトンネルと、中間モジュールとを備える供給器とを備え、この供給器は、供給器の複数のトンネルを経由して移送器の複数のトンネルに入るように第２の容器内の物体を誘導するように、真空と圧力の一連のパルスを加えるように構成され、第１の容器は、物体の第１の量まで受け取るように構成され、中間モジュールは、第２の容器内の物体の量が第１の量の半分未満になるように、第１の容器から第２の容器に物体を輸送するように構成される。 （もっと読む）

【課題】対象物の複数の画像を獲得するための装置を提供する。
【解決手段】対象物が内部を通って４つの画像化領域に進む複数のトンネルを含む４つの長手方向移送機により、ガス圧力の差を利用してトンネルを通じて対象物を搬送し、少なくとも１つの長手方向移送機が特定の位置に配置されたときに、少なくとも１つのトンネルの少なくとも実質的な部分を露出させる可動部を有する４つの長手方向移送機と、対象物の長手方向軸線のまわりで対象物を回転させるように構成された３つの回転モジュールであって、各回転は、２つの長手方向移送機の間に位置付けられる、３つの回転モジュールと、４つの画像化領域のそれぞれの中で、対象物の画像を得るように構成された撮像装置３０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】さまざまな大きさおよび形状の物体を支持し、検査する真空テーブルおよび方法を提供する。
【解決手段】真空テーブルは、平坦な上面と第１の組の穴とを含む真空プレート１０と、空気が吸引される少なくとも１つの空洞部を含む支持要素３０と、支持要素３０と真空プレート１０の間に位置決めされた交換可能アダプタ２０とを備え、交換可能アダプタ２０が第２の組の穴を含み、第２の組の穴が、第１の組の穴の対応する穴よりも実質的に小さく、第２の組の穴と第１の組の穴が少なくとも部分的に重なり合い、真空プレート１０が交換可能アダプタ２０よりも実質的に厚い。 （もっと読む）

【課題】必要性がますます増大している欠陥検出のための効率的な方法及びシステムを提供する。
【解決手段】対象物の初期走査に複数照明経路が対象物を同時に照射し；初期走査中に取得された検出信号に応答して対象物をセグメントにセグメント化し；各セグメントについて、セグメントの主材料及びセグメントの表面粗さレベルから選択された少なくとも１つのパラメータに応答して、セグメントの欠陥検出走査中に、活動状態にされるべき照明経路を選択し；対象物の各セグメントを、対象物の選択された照明経路のみによって照明し；当該照明するステップに応答して、欠陥を示す検出信号を発生する。 （もっと読む）

ウェーハ検査システム及びウェーハを検査する方法である。本方法は、ダイを備える第１の範囲と当該ダイを囲む第１の囲み範囲とをカバーする複数のフレームを獲得するステップであって、当該フレームがオーバラップ範囲を与えるよう部分的にオーバラップする、上記獲得するステップと；オーバラップ範囲の分解されたイメージのシーケンスを、相互にミスアライメントされているフレームを整列するように処理して、ダイ基準イメージを発生するステップと；を含む。 （もっと読む）

物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から複数のステーションのうちの１つに分配するための分配システムが開示されている。開示された分配システムは、物体をＡＯＩ系から複数のステーションのそれぞれに運ぶことが可能な搬送手段と、ＡＯＩ系から物体を受け取り、ステーションのそれぞれの使用可能性を順次受信し、物体をその位置から使用可能なステーションに運ぶよう搬送手段を制御するように動作する制御装置とを備える。
（もっと読む）