物体の複数の側面を撮像するシステムおよび方法
【課題】物体を検査する効率的なシステムおよび方法を提供する必要性が増大している。
【解決手段】物体の複数の画像を獲得するシステムであって、システムは、４つの長手方向移送器と、３つの回転モジュールと、撮像装置とを含む。４つの長手方向移送器は、物体が内部を通って４つの撮像領域に伝播する複数のトンネルを備え、４つの長手方向移送器は、トンネルを通して電気回路を搬送するために、ガス圧の差を利用し、少なくとも１つの長手方向移送器は、ある位置に設置されると、少なくとも１つのトンネルの少なくとも実質的部分を露出する可動部分を有する。３つの回転モジュールは、各回転が２つの長手方向移送器の間に位置するよう、物体の長手方向軸を中心に物体を回転させるように構成される。撮像装置は、４つの撮像領域のそれぞれにおいて、物体の画像を取得するように構成される。
【解決手段】物体の複数の画像を獲得するシステムであって、システムは、４つの長手方向移送器と、３つの回転モジュールと、撮像装置とを含む。４つの長手方向移送器は、物体が内部を通って４つの撮像領域に伝播する複数のトンネルを備え、４つの長手方向移送器は、トンネルを通して電気回路を搬送するために、ガス圧の差を利用し、少なくとも１つの長手方向移送器は、ある位置に設置されると、少なくとも１つのトンネルの少なくとも実質的部分を露出する可動部分を有する。３つの回転モジュールは、各回転が２つの長手方向移送器の間に位置するよう、物体の長手方向軸を中心に物体を回転させるように構成される。撮像装置は、４つの撮像領域のそれぞれにおいて、物体の画像を取得するように構成される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気物体などの物体、および特に、限定はしないがキャパシタなどの小型でかつ長尺の電気物体を検査するシステムおよび方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
外観は、被検査物体の画像を参照画像と比較することによって行われる検査方法の１つである。たとえば、ウェハまたはプリント回路板を片面または両面撮像する場合、画像は検査のために、垂直視野から、または、下側視野から取込まれ、これは単純な作業である。
【０００３】
６面物体の場合、手順はより複雑である。多くの製品に対してかかる検査が必要とされるが、そのような製品の一部は、非常に小さいか、または大量になる。たとえば、マイクロエレクトロニクス製品で使用される電気物体（セラミックキャパシタ、チップ、および抵抗器）の全ての側面を検査する必要性が存在する。すなわち、寸法測定、セラミック欠陥、および終端欠陥などの広範囲の欠陥が、自動光検査システムを使用することによって認識されうる。
【０００４】
限定はしないが、小型キャパシタなどの物体は、検査プロセス中かまたは検査プロセス前に損傷を受ける可能性がある。汚れならびに物体片は、検査デバイスを故障させる可能性がある。
【０００５】
キャパシタなどの物体の絶対電気特性の測定は、検査プロセスのスループットを制限する比較的長いプロセスである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
物体を検査する効率的なシステムおよび方法を提供する必要性が増大している。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の実施形態によれば、物体の複数の画像を獲得するシステムが提供される。システムは、（ａ）物体を第１の撮像領域に搬送する第１の長手方向移送器と、（ｂ）物体を第２の撮像領域に搬送する第２の長手方向移送器と、（ｃ）第１および第２の撮像領域のそれぞれに位置する物体の画像を取得する撮像装置と、（ｄ）物体の第１側面が撮像装置に向いている間に第１の長手方向移送器から物体を受取り、物体の第２側面が撮像装置に向くように物体の長手方向軸を中心に各物体を回転させ、物体を第２の長手方向移送器に提供するように構成された回転モジュールと、（ｅ）ガス供給ユニットとを備えてもよく、第１および第２の長手方向移送器の各々は、複数のトンネルを備え、各トンネルは、（ｉ）物体伝播部分および（ｉｉ）物体アクセス防止ガス搬送部分を備え、各トンネルは、物体が、物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させることを防止し、かつ長手方向に物体伝播部分内での物体の伝播を容易にするように形作られ、物体伝播部分はミリメートル幅を有し、ガス供給ユニットは、各トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給するように構成され、ガスの供給は、各トンネルの物体伝播部分内での物体の伝播を補助する。
【０００８】
本発明の実施形態によれば、物体の複数の画像を獲得する方法が提供される。方法は、（ａ）第１の長手方向移送器の複数のトンネルの物体伝播部分を通して第１の撮像領域に物体を長手方向に移送する工程であって、長手方向に移送することは、トンネルの物体ア
クセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含み、各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られ、物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する、工程と、（ｂ）第１の撮像領域において物体の第１側面の画像を取得する工程と、（ｃ）物体の長手方向軸を中心に物体を回転させる第１の回転モジュールによって物体を回転させる工程と、（ｄ）第２の長手方向移送器の複数のトンネルの物体伝播部分を通して第２の撮像領域に物体を長手方向に移送する工程であって、長手方向に移送することは、トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含み、各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られ、物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する、工程と、（ｅ）第２の撮像領域において物体の第２側面の画像を取得する工程とを含んでもよい。
【０００９】
本発明は、本明細書で、添付図面を参照して単に例として述べられる。ここで図面を特に参照すると、示される詳細が、例のためであり、また、本発明の種々の実施形態の例証的な説明のためのものであることが強調される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１ａ】本発明の実施形態による物体を撮像するシステムを示す図である。
【図１ｂ】本発明の実施形態による物体を撮像するシステムを示す図である。
【図２ａ】本発明の種々の実施形態による第１の長手方向移送器の２つのトンネルの断面図である。
【図２ｂ】本発明の種々の実施形態による第１の長手方向移送器の２つのトンネルの断面図である。
【図２ｃ】本発明の種々の実施形態による第１の長手方向移送器の２つのトンネルの断面図である。
【図３ａ】本発明の実施形態による第１の長手方向移送器のトンネルの断面図である。
【図３ｂ】本発明の実施形態による第１の長手方向移送器のトンネルの断面図である。
【図３ｃ】本発明の実施形態による第１の長手方向移送器のトンネルの断面図である。
【図４】本発明の実施形態による２つの長手方向移送器の一部分および複数の停止要素(stopping element)を示す図である。
【図５ａ】本発明の種々の実施形態による、第１および第２の長手方向移送器の部分を示す図である。
【図５ｂ】本発明の種々の実施形態による、第１の回転モジュールの回転要素を示す図である。
【図５ｃ】本発明の種々の実施形態による、第１の回転モジュールの回転要素を示す図である。
【図６】本発明の実施形態によるシステムを示す図である。
【図７ａ】本発明の実施形態によるバスおよびローダのローディング要素を示す図である。
【図７ｂ】本発明の実施形態によるバスおよびを示す図である。
【図８】本発明の実施形態によるバスおよびアンローダのアンローディング要素を示す図である。
【図９ａ】本発明の実施形態による方法を示す図である。
【図９ｂ】本発明の実施形態による方法を示す図である。
【図１０】本発明の実施形態による方法を示す図である。
【図１１】本発明の実施形態による方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下の詳細で、本発明を、本発明の実施形態の特定の実施例を参照して説明する。しかし、種々の修正および変更を、添付特許請求の範囲に記載する本発明のより広い精神および範囲から逸脱することなく、本発明において行われてもよいことが明らかである。
【００１２】
本発明を実施する装置は、ほとんど、当業者に知られている電子物体および回路からなるため、本発明の基礎になる概念の理解および認識のため、また、本発明の教示を曖昧にさせないか、または、教示から注目をそらさせないように、回路細部は、先に示したように、必要と考えられる程度を超えては説明されないであろう。
【００１３】
電気物体、特に、小型で長尺の電気物体などの物体の複数の側面が撮像される。小型で長尺の電気物体の長さは、通常、数ミリメートルを超えない。以下の説明は、こうした物体を参照する。これらの物体は、好都合には、ＰＣＢなどの電気回路の一部を後で形成する、ミリメートルのキャパシタなどの小型で長尺の電気物体であることに留意する。こうしたミリメートルのキャパシタは、０．０６インチ長で０．０３インチ幅である多層セラミックキャパシタ（ＭＬＣＣ）、０．０４インチ長で０．０２インチ幅であるＭＬＣＣ、０．０２インチ長で０．０１インチ幅であるＭＬＣＣ、０．０１インチ長で０．００５インチ幅であるＭＣＬＬ、ならびにミリメートルの抵抗器でありうるが、それに限定されない。
【００１４】
物体の複数の側面（面）が撮像され、これらの画像は、その後、たとえば、これらの物体の機能を決定するために処理される。好都合には、物体の複数の側面を照明し、これらの側面を撮像することによって、１秒当たり多くの物体が撮像されうる。
【００１５】
頑健でかつ高スループットの撮像システムは、物体が内部を通って伝播しうる複数のトンネルを含む。トンネルは、トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分を通してガスを誘導することによって、トンネルを通した物体のスムーズな伝播を容易にするように形作られる。
【００１６】
システム１０の略図である図１ａを参照すると、システム１０は、撮像装置３０、第１の長手方向移送器１１０、第１の回転モジュール２１０、第２の長手方向移送器１２０、第２の回転モジュール２２０、第３の長手方向移送器１３０、第３の回転モジュール２３０、第４の長手方向移送器１４０、遅延要素１５０、ソーティングユニット１７０、およびプロセッサ１６０を含む。
【００１７】
撮像装置３０は、第１の撮像領域５１０、第２の撮像領域５２０、第３の撮像領域５３０、および第４の撮像領域５４０に位置する物体の画像を取得しうる。撮像装置３０は、これらの画像を、直列にまたは並列に取得しうる。
【００１８】
第１の長手方向移送器１１０、第２の長手方向移送器１２０、第３の長手方向移送器１３０、および第４の長手方向移送器１４０のそれぞれ１つは、複数のトンネルを含む。物体は、これらのトンネルを通って、特に、これらのトンネルの物体伝播部分を通って伝播する。物体伝播部分は、物体より少し幅広であるが、物体が伝播中に自身の長手方向軸を中心として回転することを防止するのに十分に狭くてもよい。たとえば、各物体の断面がＴ×Ｔミリメートルである場合、物体伝播部分の幅は、Ｔを超えるが、その断面の対角線（Ｔ×√２）より狭くてもよい。
【００１９】
各トンネルはまた、伝播する物体によって閉塞されず、また、物体の伝播を補助するガスを提供するように形作られた１つまたは複数の物体アクセス防止ガス搬送部分を含む。物体は、物体アクセス防止ガス搬送部分に入ることができないか、またはそうでなければ、物体アクセス防止ガス搬送部分を通るガスの通過を完全に閉塞させることができない。
【００２０】
好都合には、システム１０は、パイプラインで動作する。すなわち、要素のグループは、撮像領域から他の撮像領域に移動し、複数の撮像領域からの画像が、各撮像サイクル中に取得されうる。
【００２１】
表１は、システム１００が動作するパイプラインプロセスの初期化を示す。「サイクル」は、あるステージがその間に発生する検査サイクルを示す。ＬＴＳ１〜ＬＴＳ４は、第１から第４までの長手方向移送器１１０〜１４０であり、「画像」は、どの画像が取得されるかを示す。Ｓｘ（Ｇｙ）は、電気回路のｙ番目のグループのｘ番目の側面の画像を意味する。説明を簡単にするために、電気回路の回転モジュールは示されない。
【００２２】
【表１】
システム１０は、それぞれが、１つまたは複数の撮像領域の上に配置される複数の画像センサを含みうるが、１つの撮像領域から他の撮像領域へと次々と撮像領域からの画像を取得する１つの画像センサ（図１に示す）を含んでもよいことに留意する。
【００２３】
撮像装置３０は、種々の方式で、１つの撮像領域から別の撮像領域へ移動しうる。たとえば、図１ｂに示すように、撮像装置３０は、傾斜部分１２を含む支持要素１１と、傾斜部分１２に結合するレール１３などの少なくとも１つの移動制御コンポーネントと、少なくとも１つの移動制御コンポーネントに沿って移動する可動要素１４との組合せによって、１つの場所から他の場所へ移動しうる。可動要素１４は、撮像装置を支持する。可動要素１４が撮像装置を支持するとき、可動要素１４と撮像装置の組合せの重心は、傾斜部分の上に、または、傾斜部分の付近に配置される。こうした要素の組合せの例は、参照により本明細書に組込まれる「ＭＥＴＨＯＤ ＡＮＤ ＳＹＳＴＥＭ ＦＯＲ ＳＵＰＰＯＲＴＩＮＧ Ａ ＭＯＶＩＮＧ ＯＰＴＩＣＡＬ ＣＯＭＰＯＮＥＮＴ ＯＮ Ａ ＳＬＯＰＥＤ ＰＯＲＴＩＯＮ」という名称のＰＣＴ特許出願ＷＯ２００８／０９０５５９に示される。
【００２４】
図２ａは、本発明の実施形態による、第１の長手方向移送器１１０のトンネル５１０１の断面図である。図２ｂは、本発明の別の実施形態による、第１の長手方向移送器１１０のトンネル５１０１の断面図である。図２ｃは、本発明のさらなる実施形態による、第１の長手方向移送器１１０のトンネル５１０１の断面図である。図２ａ〜２ｃの断面図は、トンネルの長手方向軸に垂直な仮想平面に沿って切断されている。
【００２５】
図２ａは、トンネル５１０１を、Ｔ形状断面を有するものとして示す。トンネル５１０
１は、物体伝播部分５１１１および一対の物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１を含む。一対の物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１は、物体伝播部分５１１１の上側部分の付近に位置する。
【００２６】
トンネル５１０１は、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１を閉塞させないように形作られている。その理由は、物体が部分５１２１および５１３１に入ることができないように、これらの部分（５１２１および５１３１）が、物体より狭く、かつ、物体伝播部分５１１１の両側に位置するからである。
【００２７】
各トンネルは、１つの１つの物体アクセス防止ガス搬送部分か、または、３つ以上の物体アクセス防止ガス搬送部分を有してもよいことに留意する。１つまたは複数の物体アクセス防止ガス搬送部分が、トンネルの底部、トンネルの上部、あるいは、トンネルの１つまたは複数の側面に位置してもよい。
【００２８】
図２ａでは、トンネル５１０１は、底面５１０１（１）、底面５１０１（１）の２つの両端部から延びる２つの垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）、２つの垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）の上端から延びる２つの水平壁５１０１（４）および５１０１（５）、ならびに、２つの垂直壁５１０１（４）および５１０１（５）の先端から延びる２つの垂直壁５１０１（６）および５１０１（７）を含む。トンネル５１０１はまた、上部壁５１０１（１２）を有する。この上部壁は、取外し可能であり、トンネル５１０１の他の壁から取外されてもよい。この壁が、取外され、トンネルが容易に洗浄されてもよい。
【００２９】
壁５１０１（１）、５１０１（２）、および５１０１（３）は、物体伝播部分５１１１を画定し、一方、５１０１（４）〜５１０１（７）は、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１を画定する。物体伝播部分５１１１と、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１との間の仮想境界は、垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）の上側端から延びる破線によって示される。
【００３０】
これらの壁は、９０°とは異なる角度で互いに対して向けられてもよいこと、および、一部の壁（または壁の組合せ）は、湾曲した表面で置換えられてもよいことを当業者は理解する。
【００３１】
図２ａの下の部分は、物体伝播部分５１１１内に位置する物体５を示す。
図２ｂは、トンネル５１０１を、「＋」形状断面を有するものとして示す。一対の物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１は、物体伝播部分５１１１の中心の付近に位置する。
【００３２】
図２ｂでは、トンネル５１０１は、底面５１０１（１）、底面５１０１（１）の２つの両端部から延びる２つの垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）、２つの垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）の上側端から延びる２つの水平壁５１０１（４）および５１０１（５）、２つの水平壁５１０１（４）および５１０１（５）の先端から延びる２つの垂直壁５１０１（６）および５１０１（７）、壁５１０１（６）および５１０１（７）の上側端から延びる２つの水平壁５１０１（８）および５１０１（９）、ならびに、壁５１０１（８）および５１０１（９）の内側端から延びる２つの垂直壁５１０１（１０）および５１０１（１１）を含む。トンネル５１０１はまた、上部壁５１０１（１２）を有する。この上部壁は、取外し可能であり、トンネル５１０１の他の壁から取外されてもよい。この壁が、取外され、トンネルが容易に洗浄されてもよい。
【００３３】
壁５１０１（１）、５１０１（２）、５１０１（３）、５１０１（１０）、および５１
０１（１１）は、物体伝播部分５１１１を画定し、一方、５１０１（４）〜５１０１（９）は、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１を画定する。物体伝播部分５１１１と、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１との間の仮想境界は、壁５１０１（２）と５１０１（１０）との間、および壁５１０１（３）と５１０１（１１）との間の破線によって示される。
【００３４】
図２ｂの下の部分は、物体伝播部分５１１１内に位置する物体５を示す。
図２ｃは、トンネル５１０１を、逆Ｔ形状断面を有するものとして示す。一対の物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１は、物体伝播部分５１１１の底部に位置する。
【００３５】
図２ｃでは、トンネル５１０１は、底面５１０１（１）、底面５１０１（１）の２つの両端部から延びる２つの垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）、２つの垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）の上端から延びる２つの水平壁５１０１（４）および５１０１（５）、ならびに、２つの水平壁５１０１（４）および５１０１（５）の先端から延びる２つの垂直壁５１０１（６）および５１０１（７）を含む。トンネル５１０１はまた、上部壁５１０１（１２）を有する。この上部壁は、取外し可能であり、トンネル５１０１の他の壁から取外されてもよい。この壁が、取外され、トンネルが容易に洗浄されてもよい。
【００３６】
壁５１０１（１）、５１０１（２）、および５１０１（３）は、物体伝播部分５１１１を画定し、一方、５１０１（１）〜５１０１（５）は、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１を画定する。物体伝播部分５１１１と、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１との間の仮想境界は、垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）の上側端から延びる破線によって示される。
【００３７】
図２ｃの下の部分は、物体伝播部分５１１１内に位置する物体５を示す。
図２ａ〜２ｃは、同じ高さに位置する一対の物体アクセス防止ガス搬送部分を示すが、これは必ずしもそうでなくてもよく、異なる物体アクセス防止ガス搬送部分が、異なる高さに位置してもよいことに留意する。
【００３８】
図３ａは、本発明の実施形態による、第１の長手方向移送器１１０のトンネル５１０１の断面図である。図３ｂは、本発明の別の実施形態による、トンネル５１０１の断面図である。図３ａおよび図３ｂの断面図は、トンネルの長手方向軸に平行な仮想平面に沿って切断される。
【００３９】
図３ａは、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１を、物体伝播部分５１１１全体を通して延びるものとして示す。物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１は、底面５１０１（１）に平行であるものとして示される。
【００４０】
物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１が、底面５１０１（１）に対して向かっていてもよいことを当業者は理解するであろう。
物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１は、湾曲形状を有してもよく、ジグザグ形状を有してもよく、または、直線形状と異なる任意の他の形状を有してもよい。物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１の形状（および／またはサイズ）は、物体アクセス防止ガス搬送部分５１３１の形状（および／またはサイズ）と異なってもよい。
【００４１】
図３ｂは、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１を、物体伝播部分５１１１全体を通して延びるものとして示す。物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１は、一連の開口５１４１を含むものとして示される。これらの開口（アパーチャ）は、同じ形状およびサイズ
を有してもよく、または、形状および／またはサイズが互いに異なってもよい。図３ｂは、開口５１４を、同じ高さに配置されるものとして示すが、必ずしもそうでなくてもよい。開口５１４は物体より小さい。複数の開口が、物体より小さい領域内に位置してもよいが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。破線は、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１の構造を示す。図３ｂはまた、物体アクセス防止ガス搬送部分５１３１の開口５１５１を示す。
【００４２】
図３ｃは、複数のトンネルおよびこれらのトンネルにガスを供給するガス供給要素９２０を示す。
図３ｃでは、各トンネル（５１０１、５１０２、５１０１５、および５１０１６など）は、物体伝播部分（５１１１、５１１２、５１１１５、および５１１１６）および２つの物体アクセス防止ガス搬送部分（５１２１、５１３１、５１２２、５１３２、５１２１５、５１３１５、５１２１６、および５１３１６）を含むものとして示される。
【００４３】
ガス供給要素９２０は、開口９２２を介して、全ての物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを提供する。
ガス供給要素９２０は、各側方移送器の側壁に位置してもよい１つまたは複数のガス入口を含んでもよい。１つまたは複数のガス入口は、システム内に含まれてもよく、各側方移送器は、１つまたは複数の入口を含んでもよい。
【００４４】
ガス供給要素９２０は、第１の長手方向移送器５１０のトンネルの下に位置してもよいが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。ガス供給要素９２０は、１つまたは複数の狭いトンネルとして形成されてもよいが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。ガス供給要素９２０は、種々の形状、種々のサイズを有してもよく、また、値などの種々の成分を含んでもよい。側方移送器の側壁に配置されるガス入口の例は、参照により本明細書に組込まれるＰＣＴ特許出願ＷＯ２００９／０９８６８８に示される。
【００４５】
図４は、停止要素１４８および１４９を示す。１つの要素は、第３の回転モジュール２３０の直後に位置し、他の要素は、遅延ユニット１５０で終るトンネルに向かって、第４の長手方向移送器１４０の対向端に位置する。
【００４６】
これらの停止要素は、上げ下げされうるピンでありうる。すなわち、上げられると、ピンは、物体がトンネルを通過することを防止する。各停止要素の上部部分が、図４で明確に示される。これらの停止要素は、図４に同様に示される凹所内に位置しうる。
【００４７】
下側部分１１２、１２２、１３２、および１４２は、透明であってもよく、下側部分を通して画像を取得することが可能になることに留意する。こうした画像は、長手方向移送器１２０および１３０の上に位置する撮像装置３０によって獲得される画像と並列に獲得されうる。
【００４８】
好都合には、システム１０は、第１、第２、第３、および第４の長手方向移送器１１０、１２０、１３０、および１４０内で、第１、第２、および第３の回転モジュール２１０、２２０、および２３０の付近、かつ遅延ユニット１５０の付近に位置しうる停止要素（図示せず）を含む。これらの停止要素は、トンネル内にポッピングして入り（または、その他の方法で入り）、１つのモジュールから他のモジュールへの物体の伝播を一時的に防止する。これらの停止要素は、弁であってよい。
【００４９】
図５ａは、本発明による、第１の回転モジュール２１０の回転要素２１２（１）〜２１２（１６）ならびに第１および第２の長手方向移送器１１０および１２０の部分を示す。
回転モジュール２１０は、１６個の回転要素２１２（１）〜２１２（１６）−第１の長
手方向移送器１１０の各トンネル当たり１つの回転要素−を含む。トンネル５１０１は、第１の回転要素２１２（１）を介してトンネル５２０１に接続される。トンネル５２０１は、第２の回転要素２１２（２）を介してトンネル５２０２に接続される、などにより、ついには、トンネル５１１６が回転要素２１２（１６）を介してトンネル５２１６に接続される。
【００５０】
図５ｂは、本発明の実施形態による回転要素２１２（１）を示す。
回転要素２１２（１）は、約９０°の回転を実施する螺旋溝２１３（１）を含む。第１の長手方向移送器１１０のトンネルからの物体は、螺旋溝の一端に入り、螺旋溝２１３（１）を出る前に、その長手方向軸の回りに約９０°回転して、第２の長手方向移送器１２０の対応するトンネルに入る。
【００５１】
図５ｃは、本発明の別の実施形態による回転要素２１２'（１）を示す。
回転要素２１２'（１）は、約９０°の回転を実施する物体回転部分２１４（１）を含
む螺旋トンネル２１３'（１）および螺旋トンネル２１３'（１）を通って物体が伝播するように誘導するガスを提供する２つの物体アクセス防止ガス搬送部分２１５（１）を含む。
【００５２】
第１の長手方向移送器１１０のトンネルからの物体は、螺旋溝２１３（１）または螺旋トンネル２１３'（１）の一端に入り、螺旋溝２１３（１）または螺旋トンネル２１３'（１）を出る前に、その長手方向軸の回りに約９０°回転して、第２の長手方向移送器１２０の対応するトンネルに入る。
【００５３】
螺旋トンネル２１３'（１）は、種々の形状を有してもよく、その一部が、図２ａ〜２
ｃおよび３ａ〜３ｂに示される。
図６は、本発明の実施形態によるシステム２０００を示す。
【００５４】
図６のシステム２０００は、側方に、さらなる撮像領域２５０に物体を移送する側方移送器３１０を含む。撮像装置３０は、４つの撮像領域５１０、５２０、５３０、および５４０で撮像される物体の側面と異なる物体の２つの対向する側面の画像を取得するように構成されている。
【００５５】
好都合には、さらなる撮像領域は、傾斜ミラー間に物体が配置されるように配置された照明用傾斜ミラーを含む。物体の対向する側面から散乱するかまたは反射した光は、これらの傾斜ミラーから撮像装置の方に誘導される。
【００５６】
側方移送器３１０は、物体が側方移送器３１０によって移送されている（または、単に支持されている）間に、物体を電気的に試験することができる電気試験器に接続された複数の電気接点を装備してもよい。
【００５７】
システム２０００は、バスと呼ばれる種々のプッシュプルストライプ２０１０、モータ２０２０、マルチクラッチ２０３０、容器２０４０、バスプラットフォーム２０５０、ロードバスなどのロード要素２０６０、さらなる撮像領域５５０、バスアンローダ２０６５、第１の長手方向移送器１１０、第１の回転要素２１０、第２の長手方向移送器１２０、第２の回転要素２２０、第３の長手方向移送器１３０、第１の回転要素２３０、第４の長手方向移送器１４０、遅延ユニット１５０、プロセッサ１６０、およびソーティングユニット１７０を含む。
【００５８】
バスプッシュプルストライプ２０１０は、電気物体を（撮像されるように）右に、次に、（撮像された後に）左に移動させる側方移送器を形成する複数の側方移送器要素であり
、プッシュプルストライプは、これらのバスを左および右に移動させる。これらのバスプッシュプルストライプは、複数の電気接点を装備してもよい。
【００５９】
バスモータ２０２０およびマルチクラッチ２０３０は、ストライプ２０１０を左および右に移動させ、マルチクラッチ２０３０は、バスモータ２０２０の機械的動きを左および右の運動に変換する。容器２０４０は、電気物体を含んだ。バスプラットフォーム２０５０は、複数のバスを含み、各バスは、長いベース部および一連の等間隔の突出部を有し、隣接する突出部の各対は、１つの電気物体を支持しうる空間を画定した。ロードバス２０６０は、電気物体の長手方向軸がバスの移送軸に垂直になるように、電気物体をバスにロードする。バスアンローダ２０６５は、撮像装置３０によって電気物体が撮像された後に電気物体をアンロードし、（９０°だけ）回転させ、第１の長手方向移送器１１０まで（好都合には、第１の撮像領域の下に）移送する。
【００６０】
物体は、さらなる撮像領域５５０に提供され、その後、この撮像前の位置に戻って、アンロードされ、第１の長手方向コンベア１１０まで（好都合には、バスの下に）提供される。
【００６１】
物体の２つの異なる側面は、異なる撮像領域で取得される。たとえば、６つの側面が、側面Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、およびＦと呼ばれると仮定すると、側面ＡおよびＣは、第１の撮像領域で撮像され、側面ＢおよびＤは、第２の撮像領域で撮像され、側面ＥおよびＦは、第３の撮像領域で撮像される。これらの画像は、ボックス３０５および３０６で示され、一方、他の４つの撮像領域５１０〜５４０で取得される画像が、ボックス３０１、３０２、３０３、および３０４で示される。
【００６２】
図７ａ、７ｂ、および８は、本発明の実施形態による、バス８２０、ローダ２０６０のローディング要素、およびアンローダ２０６５のアンローディング要素を示す。
さらなる撮像領域５５０は、バス８２０の右に位置すると仮定する。
【００６３】
図７ａは、撮像が起こる前に物体をバスにロードするローディング要素８１２および８２４を示し、（物体８０２'などの物体をロードされた）バス８２０は、右に移動する。
撮像が終了すると、バス８２０は、その初期位置に戻り（図８に示すように、左に移動し）、アンローディング要素８３２および８３４が、撮像済み物体をバス８２０からアンロードする。
【００６４】
ローディング要素８１２は、容器２０４０の近くで始まるトンネルであり、ローディング要素８２４は、（低ガス圧を導入することによって）要素をバス８２０の方へ吸引する。
【００６５】
アンローディング要素８３２は、第１の長手方向移送器１１０の方に（好ましくは、バス８２０の下に）延びるトンネルである。アンローディング要素８３４は、バス８２０からアンローディング要素８３２の方に物体を押すガスパルスを発生する。
【００６６】
バス８２０は、物体の長手方向軸が、バスの移動に実質的に垂直になるように物体を搬送する。
バス８２０または他の移送要素は、コンベアベルトの一部でありうる、複数のパーティションを含みうる、または、機械、磁気、またはガス圧ベースの手段によって、さらなる撮像領域５５０の方に移動されうる。
【００６７】
本発明の別の実施形態によれば、ローディングおよびアンローディング要素は、撮像される物体をロードしながら、既に撮像した物体をバスから取外すために、並列に動作しう
る。
【００６８】
バス８２０は、物体が内部に配置される複数の空間８２３を画定するための、低部８２１および底部８２１から延びる複数の壁８２２を含む。物体８０２'は、その長手方向軸
が壁８２２に平行になるように所定空間内に配置される。
【００６９】
図７ａおよび７ｂおよび８は、電気接点の種々の構成を示す。たとえば、電気接点９００１および９００２は、バスの底部８２１でかつ境界８２３および８２４の近くに位置するため、空間８２３内に配置される物体８０２'の両端は、電気接点９００１および９０
０２に接触することになる。なお別の実施例の場合、電気接点９００３および９００４が、壁８２２内に位置する（壁８２２に接続される）。
【００７０】
全ての物体の電気試験を容易にするために、全ての空間８２３が、１つまたは複数の電気接点を有してもよいことに留意する。一部の空間８２３だけが、物体をサンプリングするために、電気接点を装備してもよいことに留意する。
【００７１】
電気接点９００１〜９００４は、電気試験器２２２２などの電気試験回路に接続される。図７ｂは、空間のうちの１つの空間内の物体８０２'を示すが、ロードされると、全て
の空間８２３（または、複数の空間）は、物体で部分的に満たされることがさらに留意される。
【００７２】
図９ａおよび９ｂは、本発明の実施形態による方法１５００を示す。方法１５００は、複数の物体を第１の長手方向移送器に提供するステージ１５１０で始まる。
これらの物体は、供給要素の入口に吸引され（または、その他の方法で提供され）、物体が、供給要素の出口を通って第１の長手方向移送器のトンネルの方へ向かうことを可能にする。
【００７３】
ステージ１５１０に続いて、第１の長手方向移送器の複数のトンネルを通って第１の撮像領域まで物体を長手方向に移送するステージ１５２０が起こる。長手方向に移送することは、第１の長手方向移送器のトンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを提供することを含む。各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られる。物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する。物体は、小さ過ぎかつもろ過ぎるため、物体伝播部分に接触し、力を加えることによって移動することができなくてもよい。
【００７４】
好都合には、十分な物体が集められると、ステージ１５２０に続いて、ステージ１５３０が起こりうる。
ステージ１５２０は、物体が第１の回転モジュールに送られることを停止要素が防止するように、第１の長手方向移送器の停止要素を停止位置に配置することを含みうる。この配置に続いて、１つのトンネルについて複数の物体からなる列を形成するように、物体を吸引することが起こる。配置は、これらの停止要素を第１の長手方向移送器のトンネル内に移動させることを含みうる。
【００７５】
ステージ１５３０は、第１の撮像領域において物体の第１側面の画像を取得することを含む。第１の撮像領域は、第１の長手方向移送器全体または第１の長手方向移送器の一部分に相当しうる。したがって、長手方向移送器内に位置する物体の全てまたは一部だけが撮像されうる。
【００７６】
ステージ１５３０は、電気物体の一方の側面を撮像することを含む。ステージ１５３０は、第１の長手方向移送器の透明部分を介して画像を取得することを含む。
ステージ１５３０に続いて、物体の長手方向軸を中心に物体を回転させる第１の回転モジュールによって物体を回転させるステージ１５４０が起こる。
【００７７】
ステージ１５４０は、物体を９０°だけ回転させることを含みうるが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。回転は、９０°小さい角度や９０°よりも大きい角度などだけ回転させることを含みうる。
【００７８】
ステージ１５４０の前に、第１の撮像領域で撮像された物体が、第１の回転モジュールまで移動することを可能にするために、第１の長手方向移送器の停止要素の位置を変更することが起こりうる。この再配置は、これらの停止要素を、第１の長手方向移送器のトンネルから取除くことを含みうる。
【００７９】
ステージ１５４０に続いて、第２の長手方向移送器の複数のトンネルを通して第２の撮像領域まで物体を長手方向に移送するステージ１５５０が起こる。長手方向に移送することは、第２の長手方向移送器のトンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含む。各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られる。物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する。物体は、小さ過ぎかつもろ過ぎるため、物体伝播部分に接触し、力を加えることによって移動することができなくてもよい。
【００８０】
ステージ１５４０は、物体が第２の回転モジュールに送られることを停止要素が防止するように、第２の長手方向移送器の停止要素を停止位置に配置することを含みうる。この配置に続いて、１つのトンネルについて複数の物体からなる列を形成するように、物体を吸引することが起こる。配置は、これらの停止要素を第２の長手方向移送器のトンネル内に移動させることを含みうる。通常、停止要素は、物体が第１の長手方向移送器から送られる前に停止位置に設置される。
【００８１】
ステージ１５５０に続いて、第２の撮像領域において物体の第２側面の画像を取得するステージ１５６０が起こる。
ステージ１５６０に続いて、物体の長手方向軸を中心に物体を回転させる第２の回転モジュールによって物体を回転させるステージ１５７０が起こる。
【００８２】
ステージ１５６０の前に、第２の撮像領域で撮像された物体が、第２の回転モジュールまで移動することを可能にするために、第２の長手方向移送器の停止要素の位置を変更することが起こりうる。この再配置は、これらの停止要素を、第２の長手方向移送器のトンネルから取除くことを含みうる。
【００８３】
ステージ１５７０に続いて、第３の長手方向移送器の複数のトンネルを通して第３の撮像領域まで物体を長手方向に移送するステージ１５８０が起こる。長手方向に移送することは、第３の長手方向移送器のトンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含む。各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られる。物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する。物体は、小さ過ぎかつもろ過ぎるため、物体伝播部分に接触し、力を加えることによって移動することができなくてもよい。
【００８４】
ステージ１５８０は、物体が第３の回転モジュールに送られることを停止要素が防止するように、第３の長手方向移送器の停止要素を停止位置に配置することを含みうる。この配置に続いて、１つのトンネルについて複数の物体からなる列を形成するように、物体を吸引することが起こる。配置は、これらの停止要素を第３の長手方向移送器のトンネル内に移動させることを含みうる。
【００８５】
ステージ１５８０に続いて、第３の撮像領域において物体の第３側面の画像を取得するステージ１５９０が起こる。
ステージ１５９０に続いて、物体の長手方向軸を中心に物体を回転させる第３の回転モジュールによって物体を回転させるステージ１６００が起こる。
【００８６】
ステージ１５９０の前に、第３の撮像領域で撮像された物体が、第３の回転モジュールまで移動することを可能にするために、第３の長手方向移送器の停止要素の位置を変更することが起こりうる。この再配置は、これらの停止要素を、第３の長手方向移送器のトンネルから取除くことを含みうる。
【００８７】
ステージ１６００に続いて、第４の長手方向移送器の複数のトンネルを通して第４の撮像領域まで物体を長手方向に移送するステージ１６１０が起こる。長手方向に移送することは、第４の長手方向移送器のトンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含む。各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られる。物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する。物体は、小さ過ぎかつもろ過ぎるため、物体伝播部分に接触し、力を加えることによって移動することができなくてもよい。
【００８８】
ステージ１６１０は、物体が第４の回転モジュールに送られることを停止要素が防止するように、第４の長手方向移送器の停止要素を停止位置に配置することを含みうる。この配置に続いて、１つのトンネルについて複数の物体からなる列を形成するように、物体を吸引することが起こる。配置は、これらの停止要素を第４の長手方向移送器のトンネル内に移動させることを含みうる。
【００８９】
ステージ１６１０に続いて、第４の撮像領域において物体の第４側面の画像を取得するステージ１６２０が起こる。
ステージ１６２０に続いて、ステージ１６３０および１６４０が起こる。ステージ１６３０は、物体を評価するために、ステージ１５４０、１５７０、および１６２０のうちの少なくとも１つのステージ中に取得された画像を処理することを含む。ステージ１６３０は、目に見える欠陥を探索すること、予想されるサイズまたは形状からの偏差(deviation)を探索することなどを含みうる。ステージ１６３０は、物体の機能を判定すること、お
よび、特に、物体を、限定はしないが、「機能(functional)」、「欠陥(defective)」、
または「疑わしい機能(questionable functionality)」などの機能クラスに分類することを含みうる。この分類は、これらの物体がどのようにソーティングされることになるかを決定することになる。
【００９０】
ステージ１６４０は、物体をソーティングする前に、物体を遅延させることを含む。遅延は、ソーティング決定が行われることを可能にする。
ステージ１６４０および１６３０に続いて、ステージ１６３０の結果を考慮して物体をソーティングするステージ１６５０が起こる。
【００９１】
少なくとも1つの長手方向移送器は、ある位置に設置されると、少なくとも１つのトン
ネルの少なくとも実質的部分を露出させる可動部分を有してもよい。
好都合には、ステージ１５２０、１５４０、１５５０、１５７０、１５８０、および１６１０はそれぞれ、それぞれが実質的に垂直側壁を含む複数のトンネルを通して物体を側方に移送することを含む。
【００９２】
好都合には、ステージ１５２０、１５４０、１５５０、１５７０、１５８０、および１６１０は、４つの撮像領域を形成する４つの長手方向移送器の複数のトンネルを通して物
体を移送することを含み、４つの長手方向移送器はそれぞれ、各回転モジュールよりずっと長い。
【００９３】
好都合には、ステージ１５３０、１５６０、１５９０、および１６２０はそれぞれ、物体の１つの側面の画像を取得することを含み、これらのステージは、撮像装置に向かって物体当たり２つ以上の側面視野を投影するのを補助しうる傾斜ミラーまたは他の光学要素を含まない。
【００９４】
ガス圧の差は、パルス方式で導入されうる。通常、上述したステージは、異なる撮像領域に位置する複数のグループの電気回路の画像の獲得を可能にするために、パイプラインで実行される。これらのガスパルスは、停止要素の動きと同期して適用されうる。
【００９５】
ステージのいずれか１つは、長手方向移送器の透明部分（可動であろうとなかろうと）を介して物体を撮像することを含みうる。
好都合には、上述したステージは、パイプラインで実行される。たとえば、１つのグループの物体が、第１の撮像領域で撮像されている間に、別のグループの物体が、別の撮像領域で撮像される。これらのグループの物体は、第４のグループが遅延ユニットまたはソーティングユニットに送られている間に、（撮像が終了した後）次の撮像領域に移動するべきである。これは、別のグループの物体がその場所を占めうる前に、システムの後のステージに配置されるグループを移動させることを必要とする。好都合には、これは、異なる長手方向移送器の停止要素の配置の間の時間差を維持することによって達成されうる。たとえば、方法１５００は、（ｉ）第４の長手方向移送器の停止要素を非停止位置に設置し、電気要素が、遅延ユニットまたはソーティングユニットの方へ吸引されることを可能にするステージと、（ｉｉ）第４の長手方向移送器の停止要素を停止位置に設置し、第３の長手方向移送器の停止要素を非停止位置に設置し、電気要素が、第３の撮像領域から第４の撮像領域へ吸引されることを可能にするステージと、（ｉｉｉ）第３の長手方向移送器の停止要素を停止位置に設置し、第２の長手方向移送器の停止要素を非停止位置に設置し、電気要素が、第２の撮像領域から第３の撮像領域へ吸引されることを可能にするステージと、（ｉｖ）第２の長手方向移送器の停止要素を停止位置に設置し、第１の長手方向移送器の停止要素を非停止位置に設置し、電気要素が、第１の撮像領域から第２の撮像領域へ吸引されることを可能にするステージと、（ｖ）第１の長手方向移送器の停止要素を停止位置に設置し、電気要素が、第２の撮像領域から第１の撮像領域へ吸引されることを可能にするステージとを含みうる。
【００９６】
１５２０などのステージ中に物体を移送することは、負圧を必要とする場合があり、トンネルは、実質的にシールされるべきである。したがって、ステージ１５２０〜１６３０のさらなる反復を容易にするように、可動部分は、その以前の位置に戻るべきである。これは、弾性部材または他のシール要素などを使用して、可動部分を、システムの他の部分に押し付けることによって達成されうる。
【００９７】
好都合には、可動部分は、剛性があり、クリップによってシステムの他の部分に留められる。
図１０は、本発明の実施形態による方法１８００を示す。方法１８００は、物体の6つ
の側面を撮像することを可能にする。方法１６００のステージ１６２０〜１７３０に加えて、方法１８００は、ステージ１８１０、１８２０、１８４０、および１８５０を含む。
【００９８】
図１０は、ステージ１６２０に先行するものとしてステージ１８１０〜１８５０を示すが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。
ステージ１８１０は、複数の物体を側方移送器に提供することを含む。これは、電気物体が、長手方向に、複数のトンネルに沿って伝播することを可能にすること、および、電
気物体を側方移送器に提供するために、これらのトンネルを出て、トンネルの側面に形成された入口から側方移送器まで電気物体を吸引することを含みうる。これは、これらの物体を、１つの物体を別の物体から分離する一定間隔の軌跡を有するバス上に設置することを含みうる。
【００９９】
こうした側方移送器の例は、参照により本明細書に組込まれる、「Ｓｙｓｔｅｍ ａｎｄ ｍｅｔｈｏｄ ｆｏｒ ｉｍａｇｉｎｇ ｏｂｊｅｃｔｓ」という名称のＰＣＴ特許出願ＷＯ２００７／１２９３２２に示される。
【０１００】
ステージ１８１０に続いて、側方移送器の複数のトンネルを通してさらなる撮像領域へ物体を側方に移送するステージ１８２０が起こる。これは、バスが電気物体を別の撮像領域に配置するまで、物体を次々と受取るバスによって達成されうる。
【０１０１】
ステージ１８２０は、物体の２つの対向する側面を撮像することを可能にする傾斜ミラーの対の間で物体を側方に移送することを含みうる。
ステージ１８２０に続いて、４つの撮像領域で撮像される物体の側面と異なる物体の２つの対向する側面の画像を取得するステージ１８３０が起こる。
【０１０２】
好都合には、ステージ１８３０は、（ｉ）物体の対向する側面の方に光を誘導し、かつ、物体の対向する側面から反射されたまたは散乱された光を撮像装置の方へ誘導する少なくとも一対の傾斜ミラーを照明すること、（ｉｉ）複数の角度から物体を照明すること、（ｉｉｉ）異なる波長、異なる偏光、異なる強度などを含みうる、複数の照明方式で物体を照明すること、（ｉｖ）各長手方向移送器について、物体の対向する側面の方に光を誘導し、かつ、物体の対向する側面から反射されたまたは散乱された光を撮像装置の方へ誘導する一対の傾斜ミラーを照明すること、（ｖ）４５°に向けられた複数の傾斜ミラーを照明すること、のうちの少なくとも１つまたはその組合せを含む。
【０１０３】
ステージ１８３０に続いて、第１の長手方向コンベアのトンネルに物体を提供するステージ１８４０が起こる。
ステージ１８４０は、電気物体が第１の長手方向移送器のトンネルの方に伝播させられている間に、バスをその初期位置に移動させることを含みうる。
【０１０４】
ステージ１６３０はまた、ステージ１８３０中に取得される画像に応答しうることに留意する。
方法１８００は、側方移送器の少なくとも１つのトンネルを、清浄できるように露出するため、側方移送器の少なくとも１つの可動部分を移動することを含みうることにさらに留意する。
【０１０５】
図１１は、本発明の実施形態による方法１９００を示す。方法１９００は、方法１６００のステージ１６１０〜１７３０を含むが、物体を電気的に試験するステージ１９１０も含む。ステージ１９１０は、ステージ１６３０に先行する。ステージ１９１０は、ステージ１６２０に続きうるが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。
【０１０６】
ステージ１６３０は、これらの電気試験の結果に応答しうる。
ステージ１９１０は、電気試験結果を得るために、物体の電気的特性を参照物体の電気的特性と比較することによって電気物体を電気的に試験するステージ１９１２を含む。
【０１０７】
物体がキャパシタである場合、ステージ１９１０は、キャパシタのキャパシタンスを参照キャパシタのキャパシタンスと比較することを含みうる。この比較は、特に、絶対容量測定と比較して、非常に短時間で実行されうる。
【０１０８】
ステージ１９１０は、方法１８００に含まれうることに留意する。
電気試験は、その機能に基づいて、物体の一部に対してだけ実行されてもよいことにも留意する。そのため、物体が故障していることを画像解析が示す場合、電気試験は省かれうる。しかし別の実施例の場合、物体が機能していることを画像処理と電気試験が共に示した後にだけ、物体は、機能しているとして分類されうる。
【０１０９】
ステージ１９１０は、画像を生成したシステム内に位置する電気試験点を利用することによって実行されうる。これらの電気試験点は、側方移送器内、長手方向移送器内、ソーティングユニット内、回転モジュール内などに位置しうる。これらの試験点の場所は、電気試験および画像獲得ステージの相対的な順序を決定する。
【０１１０】
さらに、上述した動作の機能間の境界は例に過ぎないことを当業者は認識するであろう。複数の動作の機能は、結合して、１つの動作になってもよく、かつ／または、１つの動作の機能は、さらなる複数の動作に分配されてもよい。さらに、代替の実施形態は、特定の動作の複数のインスタンスを含んでもよく、複数の動作の順序は、種々の他の実施形態において変更されてもよい。
【０１１１】
そのため、本明細書で示すアーキテクチャは、例示に過ぎないこと、および、実際には、同じ機能を達成する多くの他のアーキテクチャが、実施されうることが理解される。抽象的であるが、依然として明確な意味で、同じ機能を達成するコンポーネントの任意の配置構成は、所望の機能が達成されるように事実上「関連する(associated)」。したがって、特定の機能を達成するために本明細書で組合わされる任意の２つのコンポーネントは、アーキテクチャまたは中間コンポーネントによらず、所望の機能が達成されるように互いに「関連する(associated with)」ものとして見られうる。同様に、そのように関連する
任意の２つのコンポーネントはまた、所望の機能を達成するために、互いに「動作可能に接続される(operably connected)」または「動作可能に結合される(operably coupled)」ものと見なされうる。
【０１１２】
さらに、本発明は、プログラマブルでないハードウェアで実施される物理的デバイスまたはユニットに限定されるのではなく、適したプログラムコードに従って作動することによって所望のデバイス機能を実施できるプログラマブルデバイスまたはユニットにおいて適用されうる。さらに、デバイスは、１つのデバイスとして機能的に作動しながら、多数の装置にわたって物理的に分配されてもよい。
【０１１３】
しかし、他の変更、変形、および代替も可能である。したがって、明細書および図面は、制限的な意味ではなく、例証的な意味とみなされる。
言葉「備える(comprising)」は、特許請求の範囲に挙げられる以外の他の要素またはステップの存在を排除しない。さらに、説明および特許請求の範囲内の、用語「前(front)
」、「後(back)」、「上部(top)」、「底部(bottom)」、「の上(over)」、「の下(under)」などは、もしあれば、説明のために使用され、必ずしも永久的な相対的位置を述べるために使用されるわけではない。こうして使用される用語は、適切な環境下で互換可能であるため、本明細書で述べる本発明の実施形態は、たとえば、本明細書で示すかまたはその他の方法で述べる向き以外の向きで作動することが可能であることが理解される。
【０１１４】
さらに、本明細書で使用される数詞を限定しない用語は、１つまたは２つ以上として規定される。同様に、特許請求項における「少なくとも１つの」および「１つまたは複数の」などの導入的成句の使用は、不定冠詞による別の特許請求項の要素の導入が、たとえかかる請求項が導入的成句「１つまたは複数の」または「少なくとも１つの」、および不定冠詞を含むときでも、導入された請求項の要素を含む任意の特定の請求項をこうした要素
１つだけを含む発明に限定することを意味すると考えるべきではない。同じことが、定冠詞の使用について当てはまる。別途述べない限り、「第１の(first)」および「第２の(second)」などの用語は、こうした用語が述べる要素を任意に区別するのに使用される。そ
のため、これらの用語は、こうした要素の一時的なまたは他の優先順序を示すことを必ずしも意図されない。いくつかの対策が互いに異なる特許請求項で再引用されるという事実だけでは、これらの対策の組合せが有利に使用されることができないことを示さない。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気物体などの物体、および特に、限定はしないがキャパシタなどの小型でかつ長尺の電気物体を検査するシステムおよび方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
外観は、被検査物体の画像を参照画像と比較することによって行われる検査方法の１つである。たとえば、ウェハまたはプリント回路板を片面または両面撮像する場合、画像は検査のために、垂直視野から、または、下側視野から取込まれ、これは単純な作業である。
【０００３】
６面物体の場合、手順はより複雑である。多くの製品に対してかかる検査が必要とされるが、そのような製品の一部は、非常に小さいか、または大量になる。たとえば、マイクロエレクトロニクス製品で使用される電気物体（セラミックキャパシタ、チップ、および抵抗器）の全ての側面を検査する必要性が存在する。すなわち、寸法測定、セラミック欠陥、および終端欠陥などの広範囲の欠陥が、自動光検査システムを使用することによって認識されうる。
【０００４】
限定はしないが、小型キャパシタなどの物体は、検査プロセス中かまたは検査プロセス前に損傷を受ける可能性がある。汚れならびに物体片は、検査デバイスを故障させる可能性がある。
【０００５】
キャパシタなどの物体の絶対電気特性の測定は、検査プロセスのスループットを制限する比較的長いプロセスである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
物体を検査する効率的なシステムおよび方法を提供する必要性が増大している。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の実施形態によれば、物体の複数の画像を獲得するシステムが提供される。システムは、（ａ）物体を第１の撮像領域に搬送する第１の長手方向移送器と、（ｂ）物体を第２の撮像領域に搬送する第２の長手方向移送器と、（ｃ）第１および第２の撮像領域のそれぞれに位置する物体の画像を取得する撮像装置と、（ｄ）物体の第１側面が撮像装置に向いている間に第１の長手方向移送器から物体を受取り、物体の第２側面が撮像装置に向くように物体の長手方向軸を中心に各物体を回転させ、物体を第２の長手方向移送器に提供するように構成された回転モジュールと、（ｅ）ガス供給ユニットとを備えてもよく、第１および第２の長手方向移送器の各々は、複数のトンネルを備え、各トンネルは、（ｉ）物体伝播部分および（ｉｉ）物体アクセス防止ガス搬送部分を備え、各トンネルは、物体が、物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させることを防止し、かつ長手方向に物体伝播部分内での物体の伝播を容易にするように形作られ、物体伝播部分はミリメートル幅を有し、ガス供給ユニットは、各トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給するように構成され、ガスの供給は、各トンネルの物体伝播部分内での物体の伝播を補助する。
【０００８】
本発明の実施形態によれば、物体の複数の画像を獲得する方法が提供される。方法は、（ａ）第１の長手方向移送器の複数のトンネルの物体伝播部分を通して第１の撮像領域に物体を長手方向に移送する工程であって、長手方向に移送することは、トンネルの物体ア
クセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含み、各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られ、物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する、工程と、（ｂ）第１の撮像領域において物体の第１側面の画像を取得する工程と、（ｃ）物体の長手方向軸を中心に物体を回転させる第１の回転モジュールによって物体を回転させる工程と、（ｄ）第２の長手方向移送器の複数のトンネルの物体伝播部分を通して第２の撮像領域に物体を長手方向に移送する工程であって、長手方向に移送することは、トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含み、各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られ、物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する、工程と、（ｅ）第２の撮像領域において物体の第２側面の画像を取得する工程とを含んでもよい。
【０００９】
本発明は、本明細書で、添付図面を参照して単に例として述べられる。ここで図面を特に参照すると、示される詳細が、例のためであり、また、本発明の種々の実施形態の例証的な説明のためのものであることが強調される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１ａ】本発明の実施形態による物体を撮像するシステムを示す図である。
【図１ｂ】本発明の実施形態による物体を撮像するシステムを示す図である。
【図２ａ】本発明の種々の実施形態による第１の長手方向移送器の２つのトンネルの断面図である。
【図２ｂ】本発明の種々の実施形態による第１の長手方向移送器の２つのトンネルの断面図である。
【図２ｃ】本発明の種々の実施形態による第１の長手方向移送器の２つのトンネルの断面図である。
【図３ａ】本発明の実施形態による第１の長手方向移送器のトンネルの断面図である。
【図３ｂ】本発明の実施形態による第１の長手方向移送器のトンネルの断面図である。
【図３ｃ】本発明の実施形態による第１の長手方向移送器のトンネルの断面図である。
【図４】本発明の実施形態による２つの長手方向移送器の一部分および複数の停止要素(stopping element)を示す図である。
【図５ａ】本発明の種々の実施形態による、第１および第２の長手方向移送器の部分を示す図である。
【図５ｂ】本発明の種々の実施形態による、第１の回転モジュールの回転要素を示す図である。
【図５ｃ】本発明の種々の実施形態による、第１の回転モジュールの回転要素を示す図である。
【図６】本発明の実施形態によるシステムを示す図である。
【図７ａ】本発明の実施形態によるバスおよびローダのローディング要素を示す図である。
【図７ｂ】本発明の実施形態によるバスおよびを示す図である。
【図８】本発明の実施形態によるバスおよびアンローダのアンローディング要素を示す図である。
【図９ａ】本発明の実施形態による方法を示す図である。
【図９ｂ】本発明の実施形態による方法を示す図である。
【図１０】本発明の実施形態による方法を示す図である。
【図１１】本発明の実施形態による方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下の詳細で、本発明を、本発明の実施形態の特定の実施例を参照して説明する。しかし、種々の修正および変更を、添付特許請求の範囲に記載する本発明のより広い精神および範囲から逸脱することなく、本発明において行われてもよいことが明らかである。
【００１２】
本発明を実施する装置は、ほとんど、当業者に知られている電子物体および回路からなるため、本発明の基礎になる概念の理解および認識のため、また、本発明の教示を曖昧にさせないか、または、教示から注目をそらさせないように、回路細部は、先に示したように、必要と考えられる程度を超えては説明されないであろう。
【００１３】
電気物体、特に、小型で長尺の電気物体などの物体の複数の側面が撮像される。小型で長尺の電気物体の長さは、通常、数ミリメートルを超えない。以下の説明は、こうした物体を参照する。これらの物体は、好都合には、ＰＣＢなどの電気回路の一部を後で形成する、ミリメートルのキャパシタなどの小型で長尺の電気物体であることに留意する。こうしたミリメートルのキャパシタは、０．０６インチ長で０．０３インチ幅である多層セラミックキャパシタ（ＭＬＣＣ）、０．０４インチ長で０．０２インチ幅であるＭＬＣＣ、０．０２インチ長で０．０１インチ幅であるＭＬＣＣ、０．０１インチ長で０．００５インチ幅であるＭＣＬＬ、ならびにミリメートルの抵抗器でありうるが、それに限定されない。
【００１４】
物体の複数の側面（面）が撮像され、これらの画像は、その後、たとえば、これらの物体の機能を決定するために処理される。好都合には、物体の複数の側面を照明し、これらの側面を撮像することによって、１秒当たり多くの物体が撮像されうる。
【００１５】
頑健でかつ高スループットの撮像システムは、物体が内部を通って伝播しうる複数のトンネルを含む。トンネルは、トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分を通してガスを誘導することによって、トンネルを通した物体のスムーズな伝播を容易にするように形作られる。
【００１６】
システム１０の略図である図１ａを参照すると、システム１０は、撮像装置３０、第１の長手方向移送器１１０、第１の回転モジュール２１０、第２の長手方向移送器１２０、第２の回転モジュール２２０、第３の長手方向移送器１３０、第３の回転モジュール２３０、第４の長手方向移送器１４０、遅延要素１５０、ソーティングユニット１７０、およびプロセッサ１６０を含む。
【００１７】
撮像装置３０は、第１の撮像領域５１０、第２の撮像領域５２０、第３の撮像領域５３０、および第４の撮像領域５４０に位置する物体の画像を取得しうる。撮像装置３０は、これらの画像を、直列にまたは並列に取得しうる。
【００１８】
第１の長手方向移送器１１０、第２の長手方向移送器１２０、第３の長手方向移送器１３０、および第４の長手方向移送器１４０のそれぞれ１つは、複数のトンネルを含む。物体は、これらのトンネルを通って、特に、これらのトンネルの物体伝播部分を通って伝播する。物体伝播部分は、物体より少し幅広であるが、物体が伝播中に自身の長手方向軸を中心として回転することを防止するのに十分に狭くてもよい。たとえば、各物体の断面がＴ×Ｔミリメートルである場合、物体伝播部分の幅は、Ｔを超えるが、その断面の対角線（Ｔ×√２）より狭くてもよい。
【００１９】
各トンネルはまた、伝播する物体によって閉塞されず、また、物体の伝播を補助するガスを提供するように形作られた１つまたは複数の物体アクセス防止ガス搬送部分を含む。物体は、物体アクセス防止ガス搬送部分に入ることができないか、またはそうでなければ、物体アクセス防止ガス搬送部分を通るガスの通過を完全に閉塞させることができない。
【００２０】
好都合には、システム１０は、パイプラインで動作する。すなわち、要素のグループは、撮像領域から他の撮像領域に移動し、複数の撮像領域からの画像が、各撮像サイクル中に取得されうる。
【００２１】
表１は、システム１００が動作するパイプラインプロセスの初期化を示す。「サイクル」は、あるステージがその間に発生する検査サイクルを示す。ＬＴＳ１〜ＬＴＳ４は、第１から第４までの長手方向移送器１１０〜１４０であり、「画像」は、どの画像が取得されるかを示す。Ｓｘ（Ｇｙ）は、電気回路のｙ番目のグループのｘ番目の側面の画像を意味する。説明を簡単にするために、電気回路の回転モジュールは示されない。
【００２２】
【表１】
システム１０は、それぞれが、１つまたは複数の撮像領域の上に配置される複数の画像センサを含みうるが、１つの撮像領域から他の撮像領域へと次々と撮像領域からの画像を取得する１つの画像センサ（図１に示す）を含んでもよいことに留意する。
【００２３】
撮像装置３０は、種々の方式で、１つの撮像領域から別の撮像領域へ移動しうる。たとえば、図１ｂに示すように、撮像装置３０は、傾斜部分１２を含む支持要素１１と、傾斜部分１２に結合するレール１３などの少なくとも１つの移動制御コンポーネントと、少なくとも１つの移動制御コンポーネントに沿って移動する可動要素１４との組合せによって、１つの場所から他の場所へ移動しうる。可動要素１４は、撮像装置を支持する。可動要素１４が撮像装置を支持するとき、可動要素１４と撮像装置の組合せの重心は、傾斜部分の上に、または、傾斜部分の付近に配置される。こうした要素の組合せの例は、参照により本明細書に組込まれる「ＭＥＴＨＯＤ ＡＮＤ ＳＹＳＴＥＭ ＦＯＲ ＳＵＰＰＯＲＴＩＮＧ Ａ ＭＯＶＩＮＧ ＯＰＴＩＣＡＬ ＣＯＭＰＯＮＥＮＴ ＯＮ Ａ ＳＬＯＰＥＤ ＰＯＲＴＩＯＮ」という名称のＰＣＴ特許出願ＷＯ２００８／０９０５５９に示される。
【００２４】
図２ａは、本発明の実施形態による、第１の長手方向移送器１１０のトンネル５１０１の断面図である。図２ｂは、本発明の別の実施形態による、第１の長手方向移送器１１０のトンネル５１０１の断面図である。図２ｃは、本発明のさらなる実施形態による、第１の長手方向移送器１１０のトンネル５１０１の断面図である。図２ａ〜２ｃの断面図は、トンネルの長手方向軸に垂直な仮想平面に沿って切断されている。
【００２５】
図２ａは、トンネル５１０１を、Ｔ形状断面を有するものとして示す。トンネル５１０
１は、物体伝播部分５１１１および一対の物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１を含む。一対の物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１は、物体伝播部分５１１１の上側部分の付近に位置する。
【００２６】
トンネル５１０１は、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１を閉塞させないように形作られている。その理由は、物体が部分５１２１および５１３１に入ることができないように、これらの部分（５１２１および５１３１）が、物体より狭く、かつ、物体伝播部分５１１１の両側に位置するからである。
【００２７】
各トンネルは、１つの１つの物体アクセス防止ガス搬送部分か、または、３つ以上の物体アクセス防止ガス搬送部分を有してもよいことに留意する。１つまたは複数の物体アクセス防止ガス搬送部分が、トンネルの底部、トンネルの上部、あるいは、トンネルの１つまたは複数の側面に位置してもよい。
【００２８】
図２ａでは、トンネル５１０１は、底面５１０１（１）、底面５１０１（１）の２つの両端部から延びる２つの垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）、２つの垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）の上端から延びる２つの水平壁５１０１（４）および５１０１（５）、ならびに、２つの垂直壁５１０１（４）および５１０１（５）の先端から延びる２つの垂直壁５１０１（６）および５１０１（７）を含む。トンネル５１０１はまた、上部壁５１０１（１２）を有する。この上部壁は、取外し可能であり、トンネル５１０１の他の壁から取外されてもよい。この壁が、取外され、トンネルが容易に洗浄されてもよい。
【００２９】
壁５１０１（１）、５１０１（２）、および５１０１（３）は、物体伝播部分５１１１を画定し、一方、５１０１（４）〜５１０１（７）は、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１を画定する。物体伝播部分５１１１と、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１との間の仮想境界は、垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）の上側端から延びる破線によって示される。
【００３０】
これらの壁は、９０°とは異なる角度で互いに対して向けられてもよいこと、および、一部の壁（または壁の組合せ）は、湾曲した表面で置換えられてもよいことを当業者は理解する。
【００３１】
図２ａの下の部分は、物体伝播部分５１１１内に位置する物体５を示す。
図２ｂは、トンネル５１０１を、「＋」形状断面を有するものとして示す。一対の物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１は、物体伝播部分５１１１の中心の付近に位置する。
【００３２】
図２ｂでは、トンネル５１０１は、底面５１０１（１）、底面５１０１（１）の２つの両端部から延びる２つの垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）、２つの垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）の上側端から延びる２つの水平壁５１０１（４）および５１０１（５）、２つの水平壁５１０１（４）および５１０１（５）の先端から延びる２つの垂直壁５１０１（６）および５１０１（７）、壁５１０１（６）および５１０１（７）の上側端から延びる２つの水平壁５１０１（８）および５１０１（９）、ならびに、壁５１０１（８）および５１０１（９）の内側端から延びる２つの垂直壁５１０１（１０）および５１０１（１１）を含む。トンネル５１０１はまた、上部壁５１０１（１２）を有する。この上部壁は、取外し可能であり、トンネル５１０１の他の壁から取外されてもよい。この壁が、取外され、トンネルが容易に洗浄されてもよい。
【００３３】
壁５１０１（１）、５１０１（２）、５１０１（３）、５１０１（１０）、および５１
０１（１１）は、物体伝播部分５１１１を画定し、一方、５１０１（４）〜５１０１（９）は、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１を画定する。物体伝播部分５１１１と、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１との間の仮想境界は、壁５１０１（２）と５１０１（１０）との間、および壁５１０１（３）と５１０１（１１）との間の破線によって示される。
【００３４】
図２ｂの下の部分は、物体伝播部分５１１１内に位置する物体５を示す。
図２ｃは、トンネル５１０１を、逆Ｔ形状断面を有するものとして示す。一対の物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１は、物体伝播部分５１１１の底部に位置する。
【００３５】
図２ｃでは、トンネル５１０１は、底面５１０１（１）、底面５１０１（１）の２つの両端部から延びる２つの垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）、２つの垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）の上端から延びる２つの水平壁５１０１（４）および５１０１（５）、ならびに、２つの水平壁５１０１（４）および５１０１（５）の先端から延びる２つの垂直壁５１０１（６）および５１０１（７）を含む。トンネル５１０１はまた、上部壁５１０１（１２）を有する。この上部壁は、取外し可能であり、トンネル５１０１の他の壁から取外されてもよい。この壁が、取外され、トンネルが容易に洗浄されてもよい。
【００３６】
壁５１０１（１）、５１０１（２）、および５１０１（３）は、物体伝播部分５１１１を画定し、一方、５１０１（１）〜５１０１（５）は、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１を画定する。物体伝播部分５１１１と、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１および５１３１との間の仮想境界は、垂直壁５１０１（２）および５１０１（３）の上側端から延びる破線によって示される。
【００３７】
図２ｃの下の部分は、物体伝播部分５１１１内に位置する物体５を示す。
図２ａ〜２ｃは、同じ高さに位置する一対の物体アクセス防止ガス搬送部分を示すが、これは必ずしもそうでなくてもよく、異なる物体アクセス防止ガス搬送部分が、異なる高さに位置してもよいことに留意する。
【００３８】
図３ａは、本発明の実施形態による、第１の長手方向移送器１１０のトンネル５１０１の断面図である。図３ｂは、本発明の別の実施形態による、トンネル５１０１の断面図である。図３ａおよび図３ｂの断面図は、トンネルの長手方向軸に平行な仮想平面に沿って切断される。
【００３９】
図３ａは、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１を、物体伝播部分５１１１全体を通して延びるものとして示す。物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１は、底面５１０１（１）に平行であるものとして示される。
【００４０】
物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１が、底面５１０１（１）に対して向かっていてもよいことを当業者は理解するであろう。
物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１は、湾曲形状を有してもよく、ジグザグ形状を有してもよく、または、直線形状と異なる任意の他の形状を有してもよい。物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１の形状（および／またはサイズ）は、物体アクセス防止ガス搬送部分５１３１の形状（および／またはサイズ）と異なってもよい。
【００４１】
図３ｂは、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１を、物体伝播部分５１１１全体を通して延びるものとして示す。物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１は、一連の開口５１４１を含むものとして示される。これらの開口（アパーチャ）は、同じ形状およびサイズ
を有してもよく、または、形状および／またはサイズが互いに異なってもよい。図３ｂは、開口５１４を、同じ高さに配置されるものとして示すが、必ずしもそうでなくてもよい。開口５１４は物体より小さい。複数の開口が、物体より小さい領域内に位置してもよいが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。破線は、物体アクセス防止ガス搬送部分５１２１の構造を示す。図３ｂはまた、物体アクセス防止ガス搬送部分５１３１の開口５１５１を示す。
【００４２】
図３ｃは、複数のトンネルおよびこれらのトンネルにガスを供給するガス供給要素９２０を示す。
図３ｃでは、各トンネル（５１０１、５１０２、５１０１５、および５１０１６など）は、物体伝播部分（５１１１、５１１２、５１１１５、および５１１１６）および２つの物体アクセス防止ガス搬送部分（５１２１、５１３１、５１２２、５１３２、５１２１５、５１３１５、５１２１６、および５１３１６）を含むものとして示される。
【００４３】
ガス供給要素９２０は、開口９２２を介して、全ての物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを提供する。
ガス供給要素９２０は、各側方移送器の側壁に位置してもよい１つまたは複数のガス入口を含んでもよい。１つまたは複数のガス入口は、システム内に含まれてもよく、各側方移送器は、１つまたは複数の入口を含んでもよい。
【００４４】
ガス供給要素９２０は、第１の長手方向移送器５１０のトンネルの下に位置してもよいが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。ガス供給要素９２０は、１つまたは複数の狭いトンネルとして形成されてもよいが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。ガス供給要素９２０は、種々の形状、種々のサイズを有してもよく、また、値などの種々の成分を含んでもよい。側方移送器の側壁に配置されるガス入口の例は、参照により本明細書に組込まれるＰＣＴ特許出願ＷＯ２００９／０９８６８８に示される。
【００４５】
図４は、停止要素１４８および１４９を示す。１つの要素は、第３の回転モジュール２３０の直後に位置し、他の要素は、遅延ユニット１５０で終るトンネルに向かって、第４の長手方向移送器１４０の対向端に位置する。
【００４６】
これらの停止要素は、上げ下げされうるピンでありうる。すなわち、上げられると、ピンは、物体がトンネルを通過することを防止する。各停止要素の上部部分が、図４で明確に示される。これらの停止要素は、図４に同様に示される凹所内に位置しうる。
【００４７】
下側部分１１２、１２２、１３２、および１４２は、透明であってもよく、下側部分を通して画像を取得することが可能になることに留意する。こうした画像は、長手方向移送器１２０および１３０の上に位置する撮像装置３０によって獲得される画像と並列に獲得されうる。
【００４８】
好都合には、システム１０は、第１、第２、第３、および第４の長手方向移送器１１０、１２０、１３０、および１４０内で、第１、第２、および第３の回転モジュール２１０、２２０、および２３０の付近、かつ遅延ユニット１５０の付近に位置しうる停止要素（図示せず）を含む。これらの停止要素は、トンネル内にポッピングして入り（または、その他の方法で入り）、１つのモジュールから他のモジュールへの物体の伝播を一時的に防止する。これらの停止要素は、弁であってよい。
【００４９】
図５ａは、本発明による、第１の回転モジュール２１０の回転要素２１２（１）〜２１２（１６）ならびに第１および第２の長手方向移送器１１０および１２０の部分を示す。
回転モジュール２１０は、１６個の回転要素２１２（１）〜２１２（１６）−第１の長
手方向移送器１１０の各トンネル当たり１つの回転要素−を含む。トンネル５１０１は、第１の回転要素２１２（１）を介してトンネル５２０１に接続される。トンネル５２０１は、第２の回転要素２１２（２）を介してトンネル５２０２に接続される、などにより、ついには、トンネル５１１６が回転要素２１２（１６）を介してトンネル５２１６に接続される。
【００５０】
図５ｂは、本発明の実施形態による回転要素２１２（１）を示す。
回転要素２１２（１）は、約９０°の回転を実施する螺旋溝２１３（１）を含む。第１の長手方向移送器１１０のトンネルからの物体は、螺旋溝の一端に入り、螺旋溝２１３（１）を出る前に、その長手方向軸の回りに約９０°回転して、第２の長手方向移送器１２０の対応するトンネルに入る。
【００５１】
図５ｃは、本発明の別の実施形態による回転要素２１２'（１）を示す。
回転要素２１２'（１）は、約９０°の回転を実施する物体回転部分２１４（１）を含
む螺旋トンネル２１３'（１）および螺旋トンネル２１３'（１）を通って物体が伝播するように誘導するガスを提供する２つの物体アクセス防止ガス搬送部分２１５（１）を含む。
【００５２】
第１の長手方向移送器１１０のトンネルからの物体は、螺旋溝２１３（１）または螺旋トンネル２１３'（１）の一端に入り、螺旋溝２１３（１）または螺旋トンネル２１３'（１）を出る前に、その長手方向軸の回りに約９０°回転して、第２の長手方向移送器１２０の対応するトンネルに入る。
【００５３】
螺旋トンネル２１３'（１）は、種々の形状を有してもよく、その一部が、図２ａ〜２
ｃおよび３ａ〜３ｂに示される。
図６は、本発明の実施形態によるシステム２０００を示す。
【００５４】
図６のシステム２０００は、側方に、さらなる撮像領域２５０に物体を移送する側方移送器３１０を含む。撮像装置３０は、４つの撮像領域５１０、５２０、５３０、および５４０で撮像される物体の側面と異なる物体の２つの対向する側面の画像を取得するように構成されている。
【００５５】
好都合には、さらなる撮像領域は、傾斜ミラー間に物体が配置されるように配置された照明用傾斜ミラーを含む。物体の対向する側面から散乱するかまたは反射した光は、これらの傾斜ミラーから撮像装置の方に誘導される。
【００５６】
側方移送器３１０は、物体が側方移送器３１０によって移送されている（または、単に支持されている）間に、物体を電気的に試験することができる電気試験器に接続された複数の電気接点を装備してもよい。
【００５７】
システム２０００は、バスと呼ばれる種々のプッシュプルストライプ２０１０、モータ２０２０、マルチクラッチ２０３０、容器２０４０、バスプラットフォーム２０５０、ロードバスなどのロード要素２０６０、さらなる撮像領域５５０、バスアンローダ２０６５、第１の長手方向移送器１１０、第１の回転要素２１０、第２の長手方向移送器１２０、第２の回転要素２２０、第３の長手方向移送器１３０、第１の回転要素２３０、第４の長手方向移送器１４０、遅延ユニット１５０、プロセッサ１６０、およびソーティングユニット１７０を含む。
【００５８】
バスプッシュプルストライプ２０１０は、電気物体を（撮像されるように）右に、次に、（撮像された後に）左に移動させる側方移送器を形成する複数の側方移送器要素であり
、プッシュプルストライプは、これらのバスを左および右に移動させる。これらのバスプッシュプルストライプは、複数の電気接点を装備してもよい。
【００５９】
バスモータ２０２０およびマルチクラッチ２０３０は、ストライプ２０１０を左および右に移動させ、マルチクラッチ２０３０は、バスモータ２０２０の機械的動きを左および右の運動に変換する。容器２０４０は、電気物体を含んだ。バスプラットフォーム２０５０は、複数のバスを含み、各バスは、長いベース部および一連の等間隔の突出部を有し、隣接する突出部の各対は、１つの電気物体を支持しうる空間を画定した。ロードバス２０６０は、電気物体の長手方向軸がバスの移送軸に垂直になるように、電気物体をバスにロードする。バスアンローダ２０６５は、撮像装置３０によって電気物体が撮像された後に電気物体をアンロードし、（９０°だけ）回転させ、第１の長手方向移送器１１０まで（好都合には、第１の撮像領域の下に）移送する。
【００６０】
物体は、さらなる撮像領域５５０に提供され、その後、この撮像前の位置に戻って、アンロードされ、第１の長手方向コンベア１１０まで（好都合には、バスの下に）提供される。
【００６１】
物体の２つの異なる側面は、異なる撮像領域で取得される。たとえば、６つの側面が、側面Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、およびＦと呼ばれると仮定すると、側面ＡおよびＣは、第１の撮像領域で撮像され、側面ＢおよびＤは、第２の撮像領域で撮像され、側面ＥおよびＦは、第３の撮像領域で撮像される。これらの画像は、ボックス３０５および３０６で示され、一方、他の４つの撮像領域５１０〜５４０で取得される画像が、ボックス３０１、３０２、３０３、および３０４で示される。
【００６２】
図７ａ、７ｂ、および８は、本発明の実施形態による、バス８２０、ローダ２０６０のローディング要素、およびアンローダ２０６５のアンローディング要素を示す。
さらなる撮像領域５５０は、バス８２０の右に位置すると仮定する。
【００６３】
図７ａは、撮像が起こる前に物体をバスにロードするローディング要素８１２および８２４を示し、（物体８０２'などの物体をロードされた）バス８２０は、右に移動する。
撮像が終了すると、バス８２０は、その初期位置に戻り（図８に示すように、左に移動し）、アンローディング要素８３２および８３４が、撮像済み物体をバス８２０からアンロードする。
【００６４】
ローディング要素８１２は、容器２０４０の近くで始まるトンネルであり、ローディング要素８２４は、（低ガス圧を導入することによって）要素をバス８２０の方へ吸引する。
【００６５】
アンローディング要素８３２は、第１の長手方向移送器１１０の方に（好ましくは、バス８２０の下に）延びるトンネルである。アンローディング要素８３４は、バス８２０からアンローディング要素８３２の方に物体を押すガスパルスを発生する。
【００６６】
バス８２０は、物体の長手方向軸が、バスの移動に実質的に垂直になるように物体を搬送する。
バス８２０または他の移送要素は、コンベアベルトの一部でありうる、複数のパーティションを含みうる、または、機械、磁気、またはガス圧ベースの手段によって、さらなる撮像領域５５０の方に移動されうる。
【００６７】
本発明の別の実施形態によれば、ローディングおよびアンローディング要素は、撮像される物体をロードしながら、既に撮像した物体をバスから取外すために、並列に動作しう
る。
【００６８】
バス８２０は、物体が内部に配置される複数の空間８２３を画定するための、低部８２１および底部８２１から延びる複数の壁８２２を含む。物体８０２'は、その長手方向軸
が壁８２２に平行になるように所定空間内に配置される。
【００６９】
図７ａおよび７ｂおよび８は、電気接点の種々の構成を示す。たとえば、電気接点９００１および９００２は、バスの底部８２１でかつ境界８２３および８２４の近くに位置するため、空間８２３内に配置される物体８０２'の両端は、電気接点９００１および９０
０２に接触することになる。なお別の実施例の場合、電気接点９００３および９００４が、壁８２２内に位置する（壁８２２に接続される）。
【００７０】
全ての物体の電気試験を容易にするために、全ての空間８２３が、１つまたは複数の電気接点を有してもよいことに留意する。一部の空間８２３だけが、物体をサンプリングするために、電気接点を装備してもよいことに留意する。
【００７１】
電気接点９００１〜９００４は、電気試験器２２２２などの電気試験回路に接続される。図７ｂは、空間のうちの１つの空間内の物体８０２'を示すが、ロードされると、全て
の空間８２３（または、複数の空間）は、物体で部分的に満たされることがさらに留意される。
【００７２】
図９ａおよび９ｂは、本発明の実施形態による方法１５００を示す。方法１５００は、複数の物体を第１の長手方向移送器に提供するステージ１５１０で始まる。
これらの物体は、供給要素の入口に吸引され（または、その他の方法で提供され）、物体が、供給要素の出口を通って第１の長手方向移送器のトンネルの方へ向かうことを可能にする。
【００７３】
ステージ１５１０に続いて、第１の長手方向移送器の複数のトンネルを通って第１の撮像領域まで物体を長手方向に移送するステージ１５２０が起こる。長手方向に移送することは、第１の長手方向移送器のトンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを提供することを含む。各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られる。物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する。物体は、小さ過ぎかつもろ過ぎるため、物体伝播部分に接触し、力を加えることによって移動することができなくてもよい。
【００７４】
好都合には、十分な物体が集められると、ステージ１５２０に続いて、ステージ１５３０が起こりうる。
ステージ１５２０は、物体が第１の回転モジュールに送られることを停止要素が防止するように、第１の長手方向移送器の停止要素を停止位置に配置することを含みうる。この配置に続いて、１つのトンネルについて複数の物体からなる列を形成するように、物体を吸引することが起こる。配置は、これらの停止要素を第１の長手方向移送器のトンネル内に移動させることを含みうる。
【００７５】
ステージ１５３０は、第１の撮像領域において物体の第１側面の画像を取得することを含む。第１の撮像領域は、第１の長手方向移送器全体または第１の長手方向移送器の一部分に相当しうる。したがって、長手方向移送器内に位置する物体の全てまたは一部だけが撮像されうる。
【００７６】
ステージ１５３０は、電気物体の一方の側面を撮像することを含む。ステージ１５３０は、第１の長手方向移送器の透明部分を介して画像を取得することを含む。
ステージ１５３０に続いて、物体の長手方向軸を中心に物体を回転させる第１の回転モジュールによって物体を回転させるステージ１５４０が起こる。
【００７７】
ステージ１５４０は、物体を９０°だけ回転させることを含みうるが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。回転は、９０°小さい角度や９０°よりも大きい角度などだけ回転させることを含みうる。
【００７８】
ステージ１５４０の前に、第１の撮像領域で撮像された物体が、第１の回転モジュールまで移動することを可能にするために、第１の長手方向移送器の停止要素の位置を変更することが起こりうる。この再配置は、これらの停止要素を、第１の長手方向移送器のトンネルから取除くことを含みうる。
【００７９】
ステージ１５４０に続いて、第２の長手方向移送器の複数のトンネルを通して第２の撮像領域まで物体を長手方向に移送するステージ１５５０が起こる。長手方向に移送することは、第２の長手方向移送器のトンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含む。各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られる。物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する。物体は、小さ過ぎかつもろ過ぎるため、物体伝播部分に接触し、力を加えることによって移動することができなくてもよい。
【００８０】
ステージ１５４０は、物体が第２の回転モジュールに送られることを停止要素が防止するように、第２の長手方向移送器の停止要素を停止位置に配置することを含みうる。この配置に続いて、１つのトンネルについて複数の物体からなる列を形成するように、物体を吸引することが起こる。配置は、これらの停止要素を第２の長手方向移送器のトンネル内に移動させることを含みうる。通常、停止要素は、物体が第１の長手方向移送器から送られる前に停止位置に設置される。
【００８１】
ステージ１５５０に続いて、第２の撮像領域において物体の第２側面の画像を取得するステージ１５６０が起こる。
ステージ１５６０に続いて、物体の長手方向軸を中心に物体を回転させる第２の回転モジュールによって物体を回転させるステージ１５７０が起こる。
【００８２】
ステージ１５６０の前に、第２の撮像領域で撮像された物体が、第２の回転モジュールまで移動することを可能にするために、第２の長手方向移送器の停止要素の位置を変更することが起こりうる。この再配置は、これらの停止要素を、第２の長手方向移送器のトンネルから取除くことを含みうる。
【００８３】
ステージ１５７０に続いて、第３の長手方向移送器の複数のトンネルを通して第３の撮像領域まで物体を長手方向に移送するステージ１５８０が起こる。長手方向に移送することは、第３の長手方向移送器のトンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含む。各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られる。物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する。物体は、小さ過ぎかつもろ過ぎるため、物体伝播部分に接触し、力を加えることによって移動することができなくてもよい。
【００８４】
ステージ１５８０は、物体が第３の回転モジュールに送られることを停止要素が防止するように、第３の長手方向移送器の停止要素を停止位置に配置することを含みうる。この配置に続いて、１つのトンネルについて複数の物体からなる列を形成するように、物体を吸引することが起こる。配置は、これらの停止要素を第３の長手方向移送器のトンネル内に移動させることを含みうる。
【００８５】
ステージ１５８０に続いて、第３の撮像領域において物体の第３側面の画像を取得するステージ１５９０が起こる。
ステージ１５９０に続いて、物体の長手方向軸を中心に物体を回転させる第３の回転モジュールによって物体を回転させるステージ１６００が起こる。
【００８６】
ステージ１５９０の前に、第３の撮像領域で撮像された物体が、第３の回転モジュールまで移動することを可能にするために、第３の長手方向移送器の停止要素の位置を変更することが起こりうる。この再配置は、これらの停止要素を、第３の長手方向移送器のトンネルから取除くことを含みうる。
【００８７】
ステージ１６００に続いて、第４の長手方向移送器の複数のトンネルを通して第４の撮像領域まで物体を長手方向に移送するステージ１６１０が起こる。長手方向に移送することは、第４の長手方向移送器のトンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含む。各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られる。物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する。物体は、小さ過ぎかつもろ過ぎるため、物体伝播部分に接触し、力を加えることによって移動することができなくてもよい。
【００８８】
ステージ１６１０は、物体が第４の回転モジュールに送られることを停止要素が防止するように、第４の長手方向移送器の停止要素を停止位置に配置することを含みうる。この配置に続いて、１つのトンネルについて複数の物体からなる列を形成するように、物体を吸引することが起こる。配置は、これらの停止要素を第４の長手方向移送器のトンネル内に移動させることを含みうる。
【００８９】
ステージ１６１０に続いて、第４の撮像領域において物体の第４側面の画像を取得するステージ１６２０が起こる。
ステージ１６２０に続いて、ステージ１６３０および１６４０が起こる。ステージ１６３０は、物体を評価するために、ステージ１５４０、１５７０、および１６２０のうちの少なくとも１つのステージ中に取得された画像を処理することを含む。ステージ１６３０は、目に見える欠陥を探索すること、予想されるサイズまたは形状からの偏差(deviation)を探索することなどを含みうる。ステージ１６３０は、物体の機能を判定すること、お
よび、特に、物体を、限定はしないが、「機能(functional)」、「欠陥(defective)」、
または「疑わしい機能(questionable functionality)」などの機能クラスに分類することを含みうる。この分類は、これらの物体がどのようにソーティングされることになるかを決定することになる。
【００９０】
ステージ１６４０は、物体をソーティングする前に、物体を遅延させることを含む。遅延は、ソーティング決定が行われることを可能にする。
ステージ１６４０および１６３０に続いて、ステージ１６３０の結果を考慮して物体をソーティングするステージ１６５０が起こる。
【００９１】
少なくとも1つの長手方向移送器は、ある位置に設置されると、少なくとも１つのトン
ネルの少なくとも実質的部分を露出させる可動部分を有してもよい。
好都合には、ステージ１５２０、１５４０、１５５０、１５７０、１５８０、および１６１０はそれぞれ、それぞれが実質的に垂直側壁を含む複数のトンネルを通して物体を側方に移送することを含む。
【００９２】
好都合には、ステージ１５２０、１５４０、１５５０、１５７０、１５８０、および１６１０は、４つの撮像領域を形成する４つの長手方向移送器の複数のトンネルを通して物
体を移送することを含み、４つの長手方向移送器はそれぞれ、各回転モジュールよりずっと長い。
【００９３】
好都合には、ステージ１５３０、１５６０、１５９０、および１６２０はそれぞれ、物体の１つの側面の画像を取得することを含み、これらのステージは、撮像装置に向かって物体当たり２つ以上の側面視野を投影するのを補助しうる傾斜ミラーまたは他の光学要素を含まない。
【００９４】
ガス圧の差は、パルス方式で導入されうる。通常、上述したステージは、異なる撮像領域に位置する複数のグループの電気回路の画像の獲得を可能にするために、パイプラインで実行される。これらのガスパルスは、停止要素の動きと同期して適用されうる。
【００９５】
ステージのいずれか１つは、長手方向移送器の透明部分（可動であろうとなかろうと）を介して物体を撮像することを含みうる。
好都合には、上述したステージは、パイプラインで実行される。たとえば、１つのグループの物体が、第１の撮像領域で撮像されている間に、別のグループの物体が、別の撮像領域で撮像される。これらのグループの物体は、第４のグループが遅延ユニットまたはソーティングユニットに送られている間に、（撮像が終了した後）次の撮像領域に移動するべきである。これは、別のグループの物体がその場所を占めうる前に、システムの後のステージに配置されるグループを移動させることを必要とする。好都合には、これは、異なる長手方向移送器の停止要素の配置の間の時間差を維持することによって達成されうる。たとえば、方法１５００は、（ｉ）第４の長手方向移送器の停止要素を非停止位置に設置し、電気要素が、遅延ユニットまたはソーティングユニットの方へ吸引されることを可能にするステージと、（ｉｉ）第４の長手方向移送器の停止要素を停止位置に設置し、第３の長手方向移送器の停止要素を非停止位置に設置し、電気要素が、第３の撮像領域から第４の撮像領域へ吸引されることを可能にするステージと、（ｉｉｉ）第３の長手方向移送器の停止要素を停止位置に設置し、第２の長手方向移送器の停止要素を非停止位置に設置し、電気要素が、第２の撮像領域から第３の撮像領域へ吸引されることを可能にするステージと、（ｉｖ）第２の長手方向移送器の停止要素を停止位置に設置し、第１の長手方向移送器の停止要素を非停止位置に設置し、電気要素が、第１の撮像領域から第２の撮像領域へ吸引されることを可能にするステージと、（ｖ）第１の長手方向移送器の停止要素を停止位置に設置し、電気要素が、第２の撮像領域から第１の撮像領域へ吸引されることを可能にするステージとを含みうる。
【００９６】
１５２０などのステージ中に物体を移送することは、負圧を必要とする場合があり、トンネルは、実質的にシールされるべきである。したがって、ステージ１５２０〜１６３０のさらなる反復を容易にするように、可動部分は、その以前の位置に戻るべきである。これは、弾性部材または他のシール要素などを使用して、可動部分を、システムの他の部分に押し付けることによって達成されうる。
【００９７】
好都合には、可動部分は、剛性があり、クリップによってシステムの他の部分に留められる。
図１０は、本発明の実施形態による方法１８００を示す。方法１８００は、物体の6つ
の側面を撮像することを可能にする。方法１６００のステージ１６２０〜１７３０に加えて、方法１８００は、ステージ１８１０、１８２０、１８４０、および１８５０を含む。
【００９８】
図１０は、ステージ１６２０に先行するものとしてステージ１８１０〜１８５０を示すが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。
ステージ１８１０は、複数の物体を側方移送器に提供することを含む。これは、電気物体が、長手方向に、複数のトンネルに沿って伝播することを可能にすること、および、電
気物体を側方移送器に提供するために、これらのトンネルを出て、トンネルの側面に形成された入口から側方移送器まで電気物体を吸引することを含みうる。これは、これらの物体を、１つの物体を別の物体から分離する一定間隔の軌跡を有するバス上に設置することを含みうる。
【００９９】
こうした側方移送器の例は、参照により本明細書に組込まれる、「Ｓｙｓｔｅｍ ａｎｄ ｍｅｔｈｏｄ ｆｏｒ ｉｍａｇｉｎｇ ｏｂｊｅｃｔｓ」という名称のＰＣＴ特許出願ＷＯ２００７／１２９３２２に示される。
【０１００】
ステージ１８１０に続いて、側方移送器の複数のトンネルを通してさらなる撮像領域へ物体を側方に移送するステージ１８２０が起こる。これは、バスが電気物体を別の撮像領域に配置するまで、物体を次々と受取るバスによって達成されうる。
【０１０１】
ステージ１８２０は、物体の２つの対向する側面を撮像することを可能にする傾斜ミラーの対の間で物体を側方に移送することを含みうる。
ステージ１８２０に続いて、４つの撮像領域で撮像される物体の側面と異なる物体の２つの対向する側面の画像を取得するステージ１８３０が起こる。
【０１０２】
好都合には、ステージ１８３０は、（ｉ）物体の対向する側面の方に光を誘導し、かつ、物体の対向する側面から反射されたまたは散乱された光を撮像装置の方へ誘導する少なくとも一対の傾斜ミラーを照明すること、（ｉｉ）複数の角度から物体を照明すること、（ｉｉｉ）異なる波長、異なる偏光、異なる強度などを含みうる、複数の照明方式で物体を照明すること、（ｉｖ）各長手方向移送器について、物体の対向する側面の方に光を誘導し、かつ、物体の対向する側面から反射されたまたは散乱された光を撮像装置の方へ誘導する一対の傾斜ミラーを照明すること、（ｖ）４５°に向けられた複数の傾斜ミラーを照明すること、のうちの少なくとも１つまたはその組合せを含む。
【０１０３】
ステージ１８３０に続いて、第１の長手方向コンベアのトンネルに物体を提供するステージ１８４０が起こる。
ステージ１８４０は、電気物体が第１の長手方向移送器のトンネルの方に伝播させられている間に、バスをその初期位置に移動させることを含みうる。
【０１０４】
ステージ１６３０はまた、ステージ１８３０中に取得される画像に応答しうることに留意する。
方法１８００は、側方移送器の少なくとも１つのトンネルを、清浄できるように露出するため、側方移送器の少なくとも１つの可動部分を移動することを含みうることにさらに留意する。
【０１０５】
図１１は、本発明の実施形態による方法１９００を示す。方法１９００は、方法１６００のステージ１６１０〜１７３０を含むが、物体を電気的に試験するステージ１９１０も含む。ステージ１９１０は、ステージ１６３０に先行する。ステージ１９１０は、ステージ１６２０に続きうるが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。
【０１０６】
ステージ１６３０は、これらの電気試験の結果に応答しうる。
ステージ１９１０は、電気試験結果を得るために、物体の電気的特性を参照物体の電気的特性と比較することによって電気物体を電気的に試験するステージ１９１２を含む。
【０１０７】
物体がキャパシタである場合、ステージ１９１０は、キャパシタのキャパシタンスを参照キャパシタのキャパシタンスと比較することを含みうる。この比較は、特に、絶対容量測定と比較して、非常に短時間で実行されうる。
【０１０８】
ステージ１９１０は、方法１８００に含まれうることに留意する。
電気試験は、その機能に基づいて、物体の一部に対してだけ実行されてもよいことにも留意する。そのため、物体が故障していることを画像解析が示す場合、電気試験は省かれうる。しかし別の実施例の場合、物体が機能していることを画像処理と電気試験が共に示した後にだけ、物体は、機能しているとして分類されうる。
【０１０９】
ステージ１９１０は、画像を生成したシステム内に位置する電気試験点を利用することによって実行されうる。これらの電気試験点は、側方移送器内、長手方向移送器内、ソーティングユニット内、回転モジュール内などに位置しうる。これらの試験点の場所は、電気試験および画像獲得ステージの相対的な順序を決定する。
【０１１０】
さらに、上述した動作の機能間の境界は例に過ぎないことを当業者は認識するであろう。複数の動作の機能は、結合して、１つの動作になってもよく、かつ／または、１つの動作の機能は、さらなる複数の動作に分配されてもよい。さらに、代替の実施形態は、特定の動作の複数のインスタンスを含んでもよく、複数の動作の順序は、種々の他の実施形態において変更されてもよい。
【０１１１】
そのため、本明細書で示すアーキテクチャは、例示に過ぎないこと、および、実際には、同じ機能を達成する多くの他のアーキテクチャが、実施されうることが理解される。抽象的であるが、依然として明確な意味で、同じ機能を達成するコンポーネントの任意の配置構成は、所望の機能が達成されるように事実上「関連する(associated)」。したがって、特定の機能を達成するために本明細書で組合わされる任意の２つのコンポーネントは、アーキテクチャまたは中間コンポーネントによらず、所望の機能が達成されるように互いに「関連する(associated with)」ものとして見られうる。同様に、そのように関連する
任意の２つのコンポーネントはまた、所望の機能を達成するために、互いに「動作可能に接続される(operably connected)」または「動作可能に結合される(operably coupled)」ものと見なされうる。
【０１１２】
さらに、本発明は、プログラマブルでないハードウェアで実施される物理的デバイスまたはユニットに限定されるのではなく、適したプログラムコードに従って作動することによって所望のデバイス機能を実施できるプログラマブルデバイスまたはユニットにおいて適用されうる。さらに、デバイスは、１つのデバイスとして機能的に作動しながら、多数の装置にわたって物理的に分配されてもよい。
【０１１３】
しかし、他の変更、変形、および代替も可能である。したがって、明細書および図面は、制限的な意味ではなく、例証的な意味とみなされる。
言葉「備える(comprising)」は、特許請求の範囲に挙げられる以外の他の要素またはステップの存在を排除しない。さらに、説明および特許請求の範囲内の、用語「前(front)
」、「後(back)」、「上部(top)」、「底部(bottom)」、「の上(over)」、「の下(under)」などは、もしあれば、説明のために使用され、必ずしも永久的な相対的位置を述べるために使用されるわけではない。こうして使用される用語は、適切な環境下で互換可能であるため、本明細書で述べる本発明の実施形態は、たとえば、本明細書で示すかまたはその他の方法で述べる向き以外の向きで作動することが可能であることが理解される。
【０１１４】
さらに、本明細書で使用される数詞を限定しない用語は、１つまたは２つ以上として規定される。同様に、特許請求項における「少なくとも１つの」および「１つまたは複数の」などの導入的成句の使用は、不定冠詞による別の特許請求項の要素の導入が、たとえかかる請求項が導入的成句「１つまたは複数の」または「少なくとも１つの」、および不定冠詞を含むときでも、導入された請求項の要素を含む任意の特定の請求項をこうした要素
１つだけを含む発明に限定することを意味すると考えるべきではない。同じことが、定冠詞の使用について当てはまる。別途述べない限り、「第１の(first)」および「第２の(second)」などの用語は、こうした用語が述べる要素を任意に区別するのに使用される。そ
のため、これらの用語は、こうした要素の一時的なまたは他の優先順序を示すことを必ずしも意図されない。いくつかの対策が互いに異なる特許請求項で再引用されるという事実だけでは、これらの対策の組合せが有利に使用されることができないことを示さない。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体の複数の画像を獲得するシステムであって、
前記物体を第１の撮像領域に搬送する第１の長手方向移送器と、
前記物体を第２の撮像領域に搬送する第２の長手方向移送器と、
前記第１および第２の撮像領域のそれぞれに位置する物体の画像を取得する撮像装置と、
前記物体の第１側面が撮像装置に向いている間に前記第１の長手方向移送器から前記物体を受取り、前記物体の第２側面が撮像装置に向くように前記物体の長手方向軸を中心に各物体を回転させ、かつ前記物体を前記第２の長手方向移送器に提供するように構成された回転モジュールと、
ガス供給ユニットとを備え、
前記第１および第２の長手方向移送器の各々は、複数のトンネルを備え、
各トンネルは、物体伝播部分および物体アクセス防止ガス搬送部分を備え、
各トンネルは、物体が、前記物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させることを防止し、かつ長手方向への前記物体伝播部分内での物体の伝播を容易にするように形作られ、
前記物体伝播部分はミリメートル幅を有し、
前記ガス供給ユニットは、各トンネルの前記物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給するように構成され、
ガスの供給は、各トンネルの前記物体伝播部分内での前記物体の伝播を補助する、システム。
【請求項２】
前記ガス供給ユニットは、各トンネルの前記物体伝播部分にガスを供給するようにさらに構成される請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記物体アクセス防止ガス搬送部分は、各物体より狭い請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
一対の物体アクセス防止ガス搬送部分が、各物体伝播部分の両側面から延びる請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
一対の物体アクセス防止ガス搬送部分が、前記物体伝播部分の上側部分の付近に位置する請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
一対の物体アクセス防止ガス搬送部分は、前記物体伝播部分の中央の付近に位置する請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
各物体アクセス防止ガス搬送部分は、前記トンネル全体を通して延びる請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
各物体アクセス防止ガス搬送部分は、前記物体伝播部分の壁内に形成された複数の離間した開口によって終わる請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記回転モジュールは、複数の物体アクセス防止ガス搬送部分および複数の物体回転部分を備える請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】
前記物体は、ミリメートルのキャパシタである請求項１に記載のシステム。
【請求項１１】
前記物体を、側方にさらなる撮像領域まで移送する側方移送器をさらに備え、前記撮像装置は、前記第１および第２の撮像領域で撮像される前記物体の側面と異なる、前記物体の２つの対向する側面の画像を取得するように構成される請求項１に記載のシステム。
【請求項１２】
前記側方移送器は、前記側方移送器によって移送されている物体に接触する複数の電気接点を備え、前記複数の電気接点は、前記物体の電気試験を実施する電気試験器に接続されている請求項１０に記載のシステム。
【請求項１３】
物体の複数の画像を獲得する方法であって、
第１の長手方向移送器の複数のトンネルの物体伝播部分を通して第１の撮像領域に物体を長手方向に移送する工程であって、前記長手方向に移送することは、前記トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含み、各トンネルは、物体が前記物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られ、前記物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する、工程と、
前記第１の撮像領域において前記物体の第１側面の画像を取得する工程と、
前記物体の長手方向軸を中心に前記物体を回転させる第１の回転モジュールによって前記物体を回転させる工程と、
第２の長手方向移送器の複数のトンネルの物体伝播部分を通して第２の撮像領域に物体を長手方向に移送する工程であって、前記長手方向に移送することは、前記トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含み、各トンネルは、物体が前記物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させることを防止するに形作られ、前記物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する、工程と、
前記第２の撮像領域において前記物体の第２側面の画像を取得する工程と、
を含む方法。
【請求項１４】
各トンネルの前記物体伝播部分にガスを供給することを含む請求項１２に記載のシステム。
【請求項１】
物体の複数の画像を獲得するシステムであって、
前記物体を第１の撮像領域に搬送する第１の長手方向移送器と、
前記物体を第２の撮像領域に搬送する第２の長手方向移送器と、
前記第１および第２の撮像領域のそれぞれに位置する物体の画像を取得する撮像装置と、
前記物体の第１側面が撮像装置に向いている間に前記第１の長手方向移送器から前記物体を受取り、前記物体の第２側面が撮像装置に向くように前記物体の長手方向軸を中心に各物体を回転させ、かつ前記物体を前記第２の長手方向移送器に提供するように構成された回転モジュールと、
ガス供給ユニットとを備え、
前記第１および第２の長手方向移送器の各々は、複数のトンネルを備え、
各トンネルは、物体伝播部分および物体アクセス防止ガス搬送部分を備え、
各トンネルは、物体が、前記物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させることを防止し、かつ長手方向への前記物体伝播部分内での物体の伝播を容易にするように形作られ、
前記物体伝播部分はミリメートル幅を有し、
前記ガス供給ユニットは、各トンネルの前記物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給するように構成され、
ガスの供給は、各トンネルの前記物体伝播部分内での前記物体の伝播を補助する、システム。
【請求項２】
前記ガス供給ユニットは、各トンネルの前記物体伝播部分にガスを供給するようにさらに構成される請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記物体アクセス防止ガス搬送部分は、各物体より狭い請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
一対の物体アクセス防止ガス搬送部分が、各物体伝播部分の両側面から延びる請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
一対の物体アクセス防止ガス搬送部分が、前記物体伝播部分の上側部分の付近に位置する請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
一対の物体アクセス防止ガス搬送部分は、前記物体伝播部分の中央の付近に位置する請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
各物体アクセス防止ガス搬送部分は、前記トンネル全体を通して延びる請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
各物体アクセス防止ガス搬送部分は、前記物体伝播部分の壁内に形成された複数の離間した開口によって終わる請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記回転モジュールは、複数の物体アクセス防止ガス搬送部分および複数の物体回転部分を備える請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】
前記物体は、ミリメートルのキャパシタである請求項１に記載のシステム。
【請求項１１】
前記物体を、側方にさらなる撮像領域まで移送する側方移送器をさらに備え、前記撮像装置は、前記第１および第２の撮像領域で撮像される前記物体の側面と異なる、前記物体の２つの対向する側面の画像を取得するように構成される請求項１に記載のシステム。
【請求項１２】
前記側方移送器は、前記側方移送器によって移送されている物体に接触する複数の電気接点を備え、前記複数の電気接点は、前記物体の電気試験を実施する電気試験器に接続されている請求項１０に記載のシステム。
【請求項１３】
物体の複数の画像を獲得する方法であって、
第１の長手方向移送器の複数のトンネルの物体伝播部分を通して第１の撮像領域に物体を長手方向に移送する工程であって、前記長手方向に移送することは、前記トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含み、各トンネルは、物体が前記物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られ、前記物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する、工程と、
前記第１の撮像領域において前記物体の第１側面の画像を取得する工程と、
前記物体の長手方向軸を中心に前記物体を回転させる第１の回転モジュールによって前記物体を回転させる工程と、
第２の長手方向移送器の複数のトンネルの物体伝播部分を通して第２の撮像領域に物体を長手方向に移送する工程であって、前記長手方向に移送することは、前記トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含み、各トンネルは、物体が前記物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させることを防止するに形作られ、前記物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する、工程と、
前記第２の撮像領域において前記物体の第２側面の画像を取得する工程と、
を含む方法。
【請求項１４】
各トンネルの前記物体伝播部分にガスを供給することを含む請求項１２に記載のシステム。
【図１ａ】
【図１ｂ】
【図２ａ】
【図２ｂ】
【図２ｃ】
【図３ａ】
【図３ｂ】
【図３ｃ】
【図４】
【図５ａ】
【図５ｂ】
【図５ｃ】
【図６】
【図７ａ】
【図７ｂ】
【図８】
【図９ａ】
【図９ｂ】
【図１０】
【図１１】
【図１ｂ】
【図２ａ】
【図２ｂ】
【図２ｃ】
【図３ａ】
【図３ｂ】
【図３ｃ】
【図４】
【図５ａ】
【図５ｂ】
【図５ｃ】
【図６】
【図７ａ】
【図７ｂ】
【図８】
【図９ａ】
【図９ｂ】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１２−４０４６６（Ｐ２０１２−４０４６６Ａ）
【公開日】平成２４年３月１日（２０１２．３．１）
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願２０１０−１８１４２３（Ｐ２０１０−１８１４２３）
【出願日】平成２２年８月１３日（２０１０．８．１３）
【出願人】（５０４１６４６３１）カムテック エルティーディー． (13)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年３月１日（２０１２．３．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１８１４２３（Ｐ２０１０−１８１４２３）
【出願日】平成２２年８月１３日（２０１０．８．１３）
【出願人】（５０４１６４６３１）カムテック エルティーディー． (13)
【Ｆターム（参考）】
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