説明

フラウンホーファー・ゲゼルシャフト ツア フェルデルンク デア アンゲヴァンテン フォルシュンク エー.ファウ.により出願された特許

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真空チャンバの内部のプログラム可能なパターンジェネレーティング・システムにおける開口を制御するための大量のデータが、ナノ構造化半導体回路を製造するためのマスクレスリソグラフィーシステムで生じる。公知のデータ伝送は、複雑でかつ嵩張った結線によって電気的に行われるが、結線は、接触という観点からいえば機械的な負荷が重くなる。本発明のリソグラフィーシステム(1)によれば、制御信号を生成するために、光学パターンデータを光出射位置(10)から真空チャンバ(4)の内部の光入射位置(12)まで自由ビームによって導くことが可能な強力な電気−光自由ビームコネクションシステム(8)を用いて、データ伝送が行われる。機械的な接触がなくなることにより、パターンジェネレーティング・システム(6)にかかる負荷が激減する。自由ビーム(11)及び粒子ビーム(F)の光路は、自由ビームの進路に影響が出ないように交差させてもよい。能動型のフォトダイオード(19)等の光出射位置(10)は、パターンジェネレーティング・システム(6)内に、直接、空間的に配置されてもよい。また、光出射位置(10)は、例えば、1つに束ねて多極ファイバアレイプラグとすることが可能な受動型の光導波管(20)又は能動型の発光レーザであるが、これらは真空チャンバ(4)の外部に配列されてもよい。自由ビーム(11)は、窓(21)を通って導かれる。
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本発明は人工心臓弁の経血管移用のカテーテルに関し、特に最小限の侵襲で人工心臓弁の移植を可能とする、自己拡張型アンカーサポートからなる。本発明の目的は、移植中の患者のリスクを軽減することにある。これを達成するため、本発明の、アンカーサポートを装着した人工心臓弁は、移植中はカートリッジ型ユニット(4)内に折り畳んだ状態で一時的に格納されている。カートリッジ型ユニットは、大動脈を通してガイド可能な可撓性部分(9)を備えたガイドシステム(1)の近端に固定できる。動作部材(2、3)は中空のガイドシステムを通って進み、該動作部材は、カートリッジ型ユニット部の部分をその長手軸の半径方向、及び/又は近端側に横方向に動かして、アンカーサポートの個別の部分及び、関連する人工心臓弁を続けて開放できる。 (もっと読む)


本発明は、複数の個別のセンサ素子、例えば画素を特色とする放射線センサを提供する。センサ素子の夫々は、電磁放射線の衝突に応答して電流を発生させるよう構成された放射線検出部と、放射線検出部によって発生した電流を増幅させる電流増幅器とを有する。従って、電流増幅器は、放射線センサ自体の夫々の画素内で局所的に実行される。この局所的電流増幅は、放射線センサの感度及び応答性を向上させることを効果的に可能にし、従って、CMOS技術を基に放射線センサの実施を可能にする。電流増幅によって、放射線センサは、別個の入力仕様を特色とする信号処理モジュール及び読取装置による読み取りに適合され得る。更に、画素で実施される電流増幅によって取得されるバイアス電流は、夫々の画素内で再生され、連続する又は隣接して配置されたセンサ素子又は画素へ結合され、それによって、カスケード式のバイアス電流再生及びバイアス電流分配方式を提供する。
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本発明は、測定チャンバに存在するガスについて1種類以上のガス成分を測定する装置に関する。該装置にはその波長領域に関して被検出ガス成分に適合する1種類以上の放射線源、及び該放射線源が発し、該測定チャンバに存在するガスを横断する放射線を捕捉し、該放射線を電気信号に変換する少なくとも1つの放射線検出器を備える。本発明によれば、放射線源が発する波長を変調するために、放射線源に、小型熱電構成要素である小型ペルチェクーラーを利用し、それによりその電源供給を可変に調節可能にしている。 (もっと読む)


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