さまざまな異なるタイプの液体流れ測定および制御システムとともに使用される液体の流れの検知および制御のためのシステムならびに方法を提供する。液体流量センサシステムは、センサ導管の中を流れる液体の流量を示す流れ信号を検知し、信号の特徴的な変化を検出することによってセンサ導管の中に気泡が存在するかどうかを判断するために流れ信号を分析する。気泡が存在することをシステムが判断する場合、システムは気泡の存在を示す警告信号を発生させることができる。流量センサをフィードバックソースとして組入れる流れ制御システムは、気泡がセンサ導管を出るまで流れ制御パラメータを一時的にフリーズさせることによって気泡の検出に応答し得る。流れ制御システムは、気泡が詰まったことをシステムが検出する場合にセンサ導管から気泡を取除くための手順を実現できる。
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流量に作用する伝達関数と、少なくとも一つのセンサ特性と、少なくとも一つの流体特性とを有するセンサモデルに係るセンサのキャリブレーション中に、センサの特性関数の少なくとも一つの表現をテスト流体から取得し、特性関数の少なくも一つの表現を採用して、センサの流量を、任意の流体で動作しているセンサを介して判定する方法。
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この発明の一実施例は、一次流量測定システムと、当該一次流量測定システムと流体連通している二次流量測定システムと、一次流量測定システムおよび二次流量測定システムに結合されたコントローラとを含み得る。当該コントローラは、プロセッサと、当該プロセッサがアクセス可能なメモリとを含み得る。当該プロセッサは、第１の動作モードでは、一次流量測定システムを用いて流量を算出し、第２の動作モードでは、二次流量測定システムを用いて流量を算出するよう、当該メモリに記憶されたコンピュータ命令を実行し得る。当該コンピュータ命令はさらに、予め規定されたパラメータに基づいて第１の動作モードと第２の動作モードとを切替えるよう実行可能であり得る。
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ウェハの温度を制御するためのシステムおよび方法を開示する。これらのシステムおよび方法は、１つ以上のプロセスチャンバにおけるウェハの温度を制御するようタンデムに動作可能なサブシステムおよびコントローラを含む裏側ウェハ圧力制御システム（ＢＳＷＰＣ）を用い得る。当該サブシステムは、ウェハの裏側へのガスの流れを制御するための機械的な構成要素を含み得るが、当該コントローラは、これらの機械的な構成要素を制御するのに用いられて、プロセスチャンバにおけるウェハ温度を制御し得る。さらに、これらのシステムおよび方法の実施例はまた、粗い温度制御および細かな温度制御をもたらすよう冷却器とコントローラとを併用してもよい。
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マスフロー調整器のフロー検証および検証のシステムおよび方法が開示される。マスフロー調整器は特定のフローに対して命令され、フロー測定が開始する。間隔の間に、第１の容積内にガスが蓄積され、この容積内で測定が行われる。間隔の間に行われる多様な測定はそこで、フロー速度を計算するのに用いられるであろう。次にフロー速度は、マスフロー調整器の設定点に対する正確さを決定するのに用いられるであろう。
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本発明の実施形態は、姿勢非感応型流量装置のためのシステムおよび方法を提供する。本発明の１実施形態は、プロセッサと、プロセッサによって実行可能なコンピュータ命令セットを格納する、プロセッサによってアクセス可能なコンピュータ可読媒体とを備える流量装置を含み得る。コンピュータ命令は、方位を受け取るように、検知流量を受け取るように、および検知流量と方位とに基づいて流量装置を通る流量を決定するように実行可能な命令を含み得る。
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この発明の実施例は、複数流路バルブ制御のためのシステムおよび方法を提供する。この発明の一実施例は、バルブ制御のシステムを含み、これは、プロセッサ（５０４）と、プロセッサ（５０４）によってアクセス可能なコンピュータ読取可能な媒体（５１８）と、アクチュエータによってバルブに適用されるべき初期力を示す第１の信号を第１の流路（５０６）で出力するため（８０６）、およびバルブに適用されるべき制御力を示す第２の信号を第２の流路（５０８）で出力するため（８１０）にプロセッサによって実行可能なコンピュータ命令（５１６）のセットとを含む。
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超音波流量計は、導管と、第１の超音波トランスデューサと、第２の超音波トランスデューサと、コントローラとを含む。第１の超音波トランスデューサは、第１の超音波信号を伝送するためおよび第２の超音波信号を受取るために、導管の第１の部分の周りの第１の位置に配置される。第２の超音波トランスデューサは、第２の超音波信号を伝送するためおよび第１の超音波信号を受取るために、導管の長さに沿って第１の位置から離れて間隔をあけられた導管の第２の部分の周りの第２の位置に配置される。コントローラは、第１および第２の受取られる超音波信号を相互相関させ、結果として生じる時間領域信号を発生させるように、第１および第２の受取られる超音波信号間の通過時間差を求めるために結果として生じる時間領域信号を分析するように、および求められた差に基づいて導管の中の流体の流量を計算するように構成される。
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この発明の実施例は、基準圧力室の中の１つ以上の検出要素から信号を受取るためのインターフェースプリント回路基板（「ＰＣＢ」）がダイヤフラム圧力ゲージの基準圧力室内に入れられたダイヤフラム圧力ゲージを提供する。検出要素は、たとえば、圧電式ひずみゲージ、圧電抵抗式ひずみゲージ、キャパシタ要素、またはダイヤフラムの反り（撓み）を求めるのに使用される他の要素を含み得る。インターフェースＰＣＢは、基準圧力室のハウジングにおいて貫通する電気的接続部に検出要素を接続するように構成され得る。したがって、信号は検出要素からインターフェース基板を通り、貫通する電気的接続部を介して基準圧力室の外へ伝えられることができる。 （もっと読む）

第１の端および第２の端を有する電気抵抗物質のほぼ平坦な層と、電気抵抗物質のほぼ平坦な層の第１の端に電気的に接続される第１の導電体と、電気抵抗物質のほぼ平坦な層の第２の端に電気的に接続される第２の導電体と、電気抵抗物質のほぼ平坦な層を取り囲み電気抵抗物質のほぼ平坦な層の第１の端を電気抵抗物質のほぼ平坦な層の第２の端から絶縁する電気絶縁物質とを含むヒーターである。ヒーターは流体要素の表面に実装され、流体要素を加熱するのに用いられてよく、ヒーターが電気絶縁物質を通じて延在する開口を含む場合には、ヒーターは流体要素と流体基板の間に配置され、両方を加熱できる。
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