【課題】マイクロミラーをマトリックス状に配列したＤＭＤを用いて、感光性ワークに対して主走査方向に走査しながら露光を行なうようにした露光装置および露光方法において、ＤＭＤの各ミラー列の積算光量の均一化を図る。
【解決手段】基板１０上に形成する画像の描画パターンに応じ、露光部分の周囲の漏れ光量をも考慮したミラー選定マップを予め作成しておき、このようなミラー選定マップを用いてＤＭＤ１４を制御することによって、ＤＭＤ１４の各画素列の積算光量を互いに等しくする。 （もっと読む）

【課題】
微少ミラーを２次元配列したミラーデバイスを用いたパターン描画装置において、感光剤の塗布された基体上への投影像をイメージセンサで観察・測定する際に、正確かつ精細に画像データを取得する。
【解決手段】
ミラーデバイス１０３で生成された画像パターンを感光剤の塗布された基体１０７上に投影し、この投影像を撮像光学系１０９とハーフミラー１０５と投影光学系１０６によってイメージセンサ１１０に結像させる。このとき、イメージセンサ１１０の撮像面に結像した微少ミラー像のピッチとイメージセンサ１１０の撮像画素ピッチとが整数比となるような撮像光学系１０９とする。 （もっと読む）

【課題】直列補償によるオープンループ制御を基本とし、モデル化誤差や外乱が発生した場合にのみフィードバック補償を行なうとともに、目標値に対しての行過ぎ量がほぼ皆無であって、しかも外乱に対するドロップ量が少く抑えられるようにした位置制御装置を提供する。
【解決手段】内部モデルフィルタ２４によるオープン制御を行なうようにした内部モデル制御装置において、第２のノミナルモデル２９と外乱オブザーバフィルタ３０とから成る外乱オブザーバ２８をさらに付加し、外乱が生じた場合には制御対象２０と第２のノミナルモデル２９との偏差をコンパレータ３１の出力として取出し、外乱オブザーバフィルタ３０によってフィードバックし、推定外乱として加算器３３によって制御対象２０の入力側に印加し、減算器３４を介して加えられる外乱と相殺する。 （もっと読む）

【課題】 真空環境下で使用される場合でも、堆積物の形成が少なく、位置決め精度や長距離駆動における耐久性が低下しない超音波駆動装置を提供する。
【解決手段】超音波モータ１０は、当接部１０ａを備えており、この当接部１０ａが摺接板４の駆動力伝達面４ａに対して当接した状態で配置されている。摺接板４の駆動力伝達面４ａは、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．５μｍ以下であり、かつ３μｍ径以上のポアが１ｍｍ^２あたり１００００個以下であるセラミックス材料により構成されている。超音波モータ１０の両側には、当接部１０ａを間に挟むように、摺接板４の駆動力伝達面４ａをクリーニングするためのワイピング部材１３，１４が摺接板４の駆動力伝達面４ａに対して当接した状態で配備されている。 （もっと読む）