具体的には、極紫外放射リソグラフィ（ＥＵＶ）又は測定学のために、電動式放電を用いて極紫外放射又は軟Ｘ線放射を生成する方法であって、生成されるべき放射線を放射するプラズマ（２２）を放電空間（１２）中の少なくとも２つの電極（１４，１６）間のガス状媒体内に点火するステップを含む。ガス状媒体は、金属溶融物（２４）から生成され、金属溶融物は、放電空間（１２）内の表面に塗布され、且つ、エネルギービーム、具体的には、レーザビーム（２０）によって、少なくとも部分的に蒸発させられる。
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