【課題】不連続的放出パターンを有する荷電粒子エミッタによる荷電粒子装置及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置及び方法。装置は、少なくとも２つの放出ピークを含む放出パターンを有するエミッタ（１０２）と、ガンレンズ（１１９、５１９、９１９）と、ダイヤフラム（１２０）とを含み、ガンレンズは、デフレクタ・ユニット（１１０）を含み、デフレクタ・ユニットは、少なくとも２つの放出ピークのうちの放出ピークをダイヤフラムの開口部に向け、それによって少なくとも２つの放出パターンから放出ピークのうちの放出ピークを選択するようになっている。 （もっと読む）

【課題】エミッタ表面を有する冷陰極電界エミッタを含む荷電粒子ビーム照射デバイス、特に電子ビーム照射デバイスを動作する方法を提供する。
【解決手段】本方法は、（ａ）所与の引き出し電界下で高い初期照射電流と低い安定平均照射電流とを示す冷陰極電界エミッタを真空中に配置する段階と、（ｂ）エミッタ表面から電子を照射するために冷陰極電界エミッタに引き出し電界を印加して、冷陰極電界エミッタの照射電流が安定平均照射電流よりも高くなるようにする段階と、（ｃ）少なくとも１つの加熱パルスを印加してエミッタ表面を温度にまで加熱することにより清浄化処理を行い、清浄化処理は、冷陰極電界エミッタの照射電流が低い安定平均照射値にまで低下する前に行われるようにする段階と、（ｄ）清浄化処理（ｃ）を繰返して、冷陰極電界エミッタの照射電流が安定平均照射値を連続的に上回るように維持する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】不連続的放出パターンを有する荷電粒子エミッタによる荷電粒子装置及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置及び方法。装置は、少なくとも２つの放出ピークを含む放出パターンを有するエミッタ（１０２）と、ガンレンズ（１１９、５１９、９１９）と、ダイヤフラム（１２０）とを含み、ガンレンズは、デフレクタ・ユニット（１１０）を含み、デフレクタ・ユニットは、少なくとも２つの放出ピークのうちの放出ピークをダイヤフラムの開口部に向け、それによって少なくとも２つの放出パターンから放出ピークのうちの放出ピークを選択するようになっている。 （もっと読む）

【課題】エミッタ表面を有する冷陰極電界エミッタを含む荷電粒子ビーム照射デバイス、特に電子ビーム照射デバイスを動作する方法を提供する。
【解決手段】本方法は、（ａ）所与の引き出し電界下で高い初期照射電流と低い安定平均照射電流とを示す冷陰極電界エミッタを真空中に配置する段階と、（ｂ）エミッタ表面から電子を照射するために冷陰極電界エミッタに引き出し電界を印加して、冷陰極電界エミッタの照射電流が安定平均照射電流よりも高くなるようにする段階と、（ｃ）少なくとも１つの加熱パルスを印加してエミッタ表面を温度にまで加熱することにより清浄化処理を行い、清浄化処理は、冷陰極電界エミッタの照射電流が低い安定平均照射値にまで低下する前に行われるようにする段階と、（ｄ）清浄化処理（ｃ）を繰返して、冷陰極電界エミッタの照射電流が安定平均照射値を連続的に上回るように維持する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】電界エミッタ配置、並びに、電界エミッタの放出面を清掃する方法を提供すること。
【解決手段】荷電粒子の一次ビーム（１５）を生成するようになっている、放出面（１１）を有する電界エミッタ・チップ（１０）と、電界エミッタ・チップ（１０）の放出面（１１）に照射するようになっている、少なくとも１つの電子源（２０）と、を備えた電界エミッタ配置（１００）が提供される。 （もっと読む）

【課題】液体金属イオン源又は液体合金イオン源のための改良されたエミッタを提供する。
【解決手段】液体金属イオン源のためのエミッタ（１００）が提供され、該エミッタは、ワイヤ（１１０）を備え、該ワイヤは、ほぼ湾曲した部分（１１５）及び表面（１２０）を有し；ワイヤ表面（１２０）の少なくとも一部分（１２５）がほぼ湾曲した部分（１１５）で先細にされてエミッタ先端を形成する。更に、このようなエミッタの製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】電磁界発生素子及び複数のこのような電磁界発生素子を含む多極素子を提供する。
【解決手段】磁極片（１０）と、磁極片（１０）が取り付けられたヨーク（１２）と、少なくとも１つのコイル（２０）と、この少なくとも１つのコイル（２０）を収容する真空気密容器（２１）と、真空気密容器（２１）が磁極片（１０）及びヨーク（１２）から離間するように真空気密容器（２１）を保持するようになったホルダ（４０、２３）とを含む電磁界発生素子（１）。 （もっと読む）

本発明は、荷電粒子ビーム装置に関する。本装置は、荷電粒子を放出するためのエミッタ（１２）と、放出された荷電粒子を少なくとも２つの独立した荷電粒子ビームに分離するための少なくとも２つのアパーチャ（３６）を有するアパーチャ構成（２６；８６）と、少なくとも２つの独立した荷電粒子ビームを合焦するための対物レンズ（１８）とを備え、独立した荷電粒子ビームが焦点面内の同じ位置上に合焦される。 （もっと読む）

本発明は、荷電粒子ビーム（３）を集束させる荷電粒子レンズ（１；１０００）を有するビーム光学コンポーネントであって、荷電粒子レンズ（１；１０００）は、荷電粒子ビーム（３）を通過伝搬させることができる第１のスペースを画定する第１の開口部（７）を備えた第１の要素（５；１００５）と、荷電粒子ビーム（３）を通過伝搬させることができる第２のスペースを画定する第２の開口部（１１）を備えた第２の要素（９；１００９）と、第１の要素（５；１００５）及び第２の要素（９；１００９）のうちの少なくとも一方に結合されていて、第１の開口部（７）を第２の開口部（１１）に対して整列させる第１の駆動手段（１３）とを有する、ビーム光学コンポーネントに関する。第１の駆動手段により、第１の開口部（７）と第２の開口部（１１）をビーム操作中、互いに整列させてビーム光学コンポーネントの優れた位置合わせ（アライメント）を得ることができ、それにより良好なビーム集束が得られる。本発明は又、荷電粒子ビーム（３）を集束させるために上述のビーム光学コンポーネントを用いる荷電粒子ビーム装置及び第１の開口部（７）と第２の開口部（１１）を互いに対して整列させる方法に関する。 （もっと読む）

本発明は、荷電粒子ビーム（７）を所定のランディング角度（４２；４２′；４２）で試料上に集束させる集束レンズ（１００）に関し、この集束レンズは、荷電粒子ビーム（７）を試料（３）上に集束させる集束電場（１１０）を発生させる第１のアパーチュア（１０６）を備えた少なくとも１つの第１の電極（２６，１０５，１０５ａ）と、試料（３）により引き起こされる集束電場（１１０）のランディング角度依存性ディストーションを補償する湾曲面（１１５）を備えた修正電極とを有する。修正電極の湾曲面（１１５）により、垂直ランディング角度とは異なるランディング角度での荷電粒子ビームの集束具合を向上させることが可能である。 （もっと読む）